Radyo frekanslı çoklu yaylı iyon kaplama makinesi PLC kontrol sistemi ile pvd vakum kaplama ekipmanı

Temel bileşenler:

RF güç kaynağı sistemi, ark hedef düzeneği, vakum sistemi, iş parçası önyargı güç kaynağı ve kontrol sistemi. Teknik karmaşıklık DC tipinden daha yüksektir.

Çalışma prensibi:

 Bir vakum odasında, radyo frekanslı güç kaynağı tarafından uyarılan yüksek frekanslı elektrik alanı, yüksek yoğunluklu plazma oluşturmak için çalışma gazını (nitrojen veya argon gibi) iyonize eder. Aynı zamanda, elektrik arkı hedef malzeme üzerinde etki ederek buharlaşmasına neden olur. Hedef malzemenin atomları plazma ortamında daha da iyonize olur ve aktive olur ve sonuçta negatif önyargı voltajının etkisi altında yüksek performanslı bir film oluşturmak için iş parçasının yüzeyine birikir.

• Plazma performansı üstündür:Radyo frekans deşarjı, plazmanın yoğunluğunu ve aktivitesini önemli ölçüde artırır, %80 ila %95'e varan bir iyonizasyon oranıyla.
• Film tabakasının kalitesi daha rafine:Plazma homojenliği güçlüdür, hedef malzemenin buharlaşması daha kararlıdır, damlacık kusurları önemli ölçüde azalır ve film tabakası yüzeyinin pürüzsüzlüğü ve yoğunluğu önemli ölçüde iyileşir.
• Kontrol edilebilir kaplama sıcaklığı:Radyo frekans deşarjının düşük sıcaklık özelliği, iş parçasının biriktirme sıcaklığının DC tipine göre 50 ila 100 santigrat derece daha düşük olmasını sağlar ve bu da onu daha ısıya duyarlı alt tabakalar için uygun hale getirir.
• Hedef malzeme uyumluluk aralığı geniştir:Saf metaller, alaşımlar ve seramikler gibi çeşitli hedef malzemelerle uyumludur ve güçlü proses esnekliği ile tek veya kompozit film katmanları hazırlamak için kullanılabilir.

• Film tabakası olağanüstü kapsamlı performansa sahiptir:Daha yüksek bir sertliğe (HV2000~3500), daha güçlü aşınma direncine ve korozyon direncine ve daha düşük bir yüzey pürüzlülüğüne sahiptir, işlevsellik ve dekorasyonu dengeler.
• Biriktirme verimliliği yüksek kalitede dengelenmiştir:Biriktirme hızı 8 ila 80μm/saat'te tutulur, bu da DC tipinden biraz daha düşüktür ancak magnetron püskürtmeden çok daha yüksektir ve "yüksek verimlilik + yüksek kalite" dengesi sağlanır.
• Daha geniş alt tabaka uyarlanabilirliği:Düşük sıcaklıkta biriktirme özelliği, hassas elektronik bileşenler ve ince cidarlı metal parçalar gibi bazı yüksek sıcaklığa duyarlı iş parçalarını işleyebilir ve uygulama senaryolarını genişletir.
• Film tabakasının iyi homojenliği:Plazma geniş bir kapsama alanına sahiptir ve karmaşık kavisli yüzeylere ve küçük parçalara hassas bir şekilde uyum sağlayarak genel kaplamanın tutarlılığını sağlar.
• Güçlü proses kararlılığı:RF güç kaynağının çıkışı kararlıdır, kararsız arkın neden olduğu film tabakası kusurlarını azaltır ve seri üretilen ürünlerin uygunluk oranı daha yüksektir.

• Hassas aletler ve kalıp endüstrisi:Yüksek hassasiyetli freze kesiciler, mikro matkaplar, optik kalıplar, enjeksiyon kalıpları vb., işleme hassasiyetini ve hizmet ömrünü artırmak için TiAlN ve AlCrN gibi üst düzey sert kaplamalarla kaplanmıştır.
• Üst düzey dekorasyon ve 3C endüstrisi:cep telefonu çerçeveleri, dizüstü bilgisayar kabukları, üst düzey mücevherler, lüks marka donanım parçaları vb. Yüksek parlaklıkta, partikül içermeyen dekoratif film katmanları (gül altın, silah grisi, siyah gibi) hazırlayın, üst düzey elektrokaplamaya benzer bir dokuya sahip.
• Elektronik ve yarı iletken endüstrisinde:Yarı iletken çip kurşun çerçeveleri, elektronik konektörler, hassas sensörler vb., bileşenlerin kararlılığını sağlamak için iletken, aşınmaya dayanıklı ve korozyona dayanıklı fonksiyonel film katmanları ile kaplanmıştır.
• Havacılık ve otomotiv için üst düzey bileşenler:uçak motoru kanatları, otomotiv turboşarjları, üst düzey rulmanlar vb., aşırı çalışma koşullarına uygun, yüksek sıcaklığa ve yorulmaya dayanıklı yüksek performanslı kaplamalarla kaplanmıştır.
• Tıbbi cihaz endüstrisinde:cerrahi aletler, implante edilebilir tıbbi cihazlar (ortopedik vidalar gibi) vb., cihazların güvenliğini ve hizmet ömrünü artırmak için biyouyumlu, aşınmaya dayanıklı ve korozyon önleyici filmlerle kaplanmıştır.