Mesin Pelapisan Ion Multi-arc Frekuensi Radio peralatan pelapisan vakum pvd dengan sistem kontrol PLC

Komponen inti:

Sistem pasokan listrik RF, perakitan target busur, sistem vakum, pasokan listrik bias workpiece dan sistem kontrol.

Prinsip kerja:

Dalam ruang vakum, medan listrik frekuensi tinggi yang dipicu oleh catu daya frekuensi radio mengionkan gas kerja (seperti nitrogen atau argon) untuk membentuk plasma kepadatan tinggi.busur listrik bertindak pada bahan target, menyebabkannya menguap. atom dari bahan target lebih lanjut terionisasi dan diaktifkan di lingkungan plasma,dan akhirnya deposit di permukaan benda kerja di bawah tindakan tegangan bias negatif untuk membentuk film berkinerja tinggi.

• Kinerja plasma lebih baik:Pelepasan frekuensi radio secara signifikan meningkatkan kepadatan dan aktivitas plasma, dengan tingkat ionisasi hingga 80% sampai 95%.
• Kualitas lapisan film lebih halus:Persamaan plasma yang kuat, penguapan bahan target lebih stabil, cacat tetes berkurang secara signifikan,dan kelancaran dan kepadatan permukaan lapisan film meningkat secara signifikan.
• Suhu pelapis yang dapat dikontrol:Karakteristik suhu rendah dari pelepasan frekuensi radio memungkinkan suhu deposisi benda kerja menjadi 50 sampai 100 derajat Celsius lebih rendah daripada tipe DC,membuatnya cocok untuk substrat yang lebih sensitif terhadap panas.
• Jangkauan kompatibilitas bahan target sangat luas:Ini kompatibel dengan berbagai bahan target seperti logam murni, paduan, dan keramik, dan dapat digunakan untuk mempersiapkan lapisan film tunggal atau komposit, dengan fleksibilitas proses yang kuat.

• Lapisan film memiliki kinerja komprehensif yang luar biasa:memiliki kekerasan yang lebih tinggi (HV2000~3500), ketahanan haus dan korosi yang lebih kuat, dan keruwetan permukaan yang lebih rendah, fungsi keseimbangan dan dekorasi.
• Efisiensi deposisi seimbang dengan kualitas tinggi:Kecepatan deposisi dipertahankan pada 8 sampai 80μm/jam, yang sedikit lebih rendah dari tipe DC tetapi jauh melebihi magnetron sputtering,mencapai keseimbangan "efisiensi tinggi + kualitas tinggi".
• Adaptifitas substrat yang lebih luas:Fitur deposisi suhu rendah dapat menangani beberapa benda kerja sensitif suhu tinggi, seperti komponen elektronik presisi dan bagian logam ber dinding tipis, memperluas skenario aplikasi.
• Keseragaman lapisan film yang baik:Plasma memiliki jangkauan cakupan yang luas dan dapat menyesuaikan dengan tepat dengan permukaan melengkung yang kompleks dan bagian-bagian kecil, memastikan konsistensi lapisan keseluruhan.
• Stabilitas proses yang kuat:Output dari catu daya RF stabil, mengurangi cacat lapisan film yang disebabkan oleh busur yang tidak stabil, dan tingkat kualifikasi produk produksi massal lebih tinggi.

• Industri alat dan cetakan presisi:Pemotong penggilingan presisi tinggi, micro drill, cetakan optik, cetakan injeksi, dll, dilapisi dengan lapisan keras kelas atas seperti TiAlN dan AlCrN untuk meningkatkan akurasi pemrosesan dan umur pakai.
• Dekorasi kelas atas dan industri 3C:rangka ponsel, cangkang notebook, perhiasan kelas atas, suku cadang perangkat keras merek mewah, dll. Siapkan lapisan film dekoratif berkilau tinggi, bebas partikel (seperti emas mawar, abu-abu pistol, hitam),dengan tekstur yang sebanding dengan galvanisasi kelas atas.
• Dalam industri elektronik dan semikonduktor:Kerangka chip semikonduktor, konektor elektronik, sensor presisi, dll, dilapisi dengan konduktif,lapisan film fungsional tahan haus dan tahan korosi untuk memastikan stabilitas komponen.
• Komponen high-end untuk aeroangkasa dan mobil:pisau mesin pesawat terbang, turbocharger otomotif, bantalan kelas atas, dll, dilapisi dengan pelapis berkinerja tinggi yang tahan terhadap suhu tinggi dan kelelahan,cocok untuk kondisi kerja yang ekstrim.
• Dalam industri peralatan medis:instrumen bedah, perangkat medis implan (seperti sekrup ortopedi), dll, dilapisi dengan biocompatible,film tahan aus dan anti korosif untuk meningkatkan keselamatan dan umur pakai perangkat.