Radiofrequentie multi-boog Ion Plating Machine pvd vacuüm coating apparatuur met PLC besturingssysteem

Kerncomponenten:

RF-stroomvoorziening, boogdoelstelling, vacuümsysteem, werkstuk bias stroomvoorziening en besturingssysteem.

Werkingsbeginsel:

In een vacuümkamer ioniseert het werkgas (zoals stikstof of argon) door het door de radiofrequente voeding geprikkelde hoogfrequente elektrische veld tot een plasma met een hoge dichtheid.de elektrische boog werkt op het doelmateriaalDe atomen van het doelmateriaal worden verder geïoniseerd en geactiveerd in de plasmaomgeving.en uiteindelijk op het oppervlak van het werkstuk onder invloed van negatieve biasspanning een hoogwaardige film vormen.

• Plasma prestaties zijn superieur:Radiofrequente ontlading verhoogt de dichtheid en activiteit van plasma aanzienlijk, met een ioniseringsgraad van maximaal 80% tot 95%.
• De kwaliteit van de filmlaag is verfijnder:De plasma-eenvormigheid is sterk, de verdamping van het doelmateriaal is stabieler, de druppeldefecten worden aanzienlijk verminderd,en de gladheid en dichtheid van het filmlaagoppervlak worden aanzienlijk verbeterd.
• Beheersbare coatingtemperatuur:Het lage temperatuurkenmerk van de radiofrequente ontlading maakt het mogelijk dat de afzettingstemperatuur van het werkstuk 50 tot 100 graden Celsius lager is dan die van het gelijkstroomtype.met een vermogen van meer dan 10 W.
• Het compatibiliteitsbereik van de beoogde materialen is breed:Het is compatibel met verschillende doelmaterialen, zoals zuivere metalen, legeringen en keramiek, en kan worden gebruikt om eenvoudige of samengestelde filmlagen voor te bereiden, met een sterke flexibiliteit van het proces.

• De filmlaag heeft een uitstekende alomvattende prestaties:het heeft een hogere hardheid (HV2000~3500), een sterkere slijtvastheid en corrosiebestendigheid, en een lagere oppervlakkrapheid, balancerende functionaliteit en decoratie.
• De afzettingsefficiëntie wordt in evenwicht gebracht met een hoge kwaliteit:De afzetting wordt gehandhaafd op 8 tot 80 μm/h, wat iets lager is dan bij gelijkstroom, maar veel hoger is dan bij magnetronsputtering.het bereiken van een evenwicht tussen "hoge efficiëntie + hoge kwaliteit".
• Een grotere aanpassingsvermogen van het substraat:De laagtemperatuurdepositiefunctie kan sommige hoogtemperatuurgevoelige werkstukken behandelen, zoals precisie-elektronische componenten en dunwandige metalen onderdelen, waardoor de toepassingsscenario's worden uitgebreid.
• Goed evenwicht van de filmlaag:Het plasma heeft een breed dekkingsbereik en kan zich nauwkeurig aanpassen aan complexe gebogen oppervlakken en kleine onderdelen, waardoor de samenhang van de totale coating wordt gewaarborgd.
• Sterke processtabiliteit:De uitslag van de RF-stroomtoevoer is stabiel, waardoor de folielaagdefecten die worden veroorzaakt door onstabiele boog worden verminderd, en de kwalificatiegraad van massa geproduceerde producten is hoger.

• Precision tools and molds industrie:High-precision freesmachines, micro-boormachines, optische vormen, spuitvormen, enz., bekleed met hoogwaardige harde coatings zoals TiAlN en AlCrN om de precisie en levensduur van de verwerking te verbeteren.
• High-end decoratie en 3C-industrie:mobiele telefoonframes, notebookshells, high-end sieraden, hardwareonderdelen van luxe merken, enz. Bereid hoogglanzende, deeltjesvrije decoratieve filmlagen voor (zoals rozengoud, pistoolgrijz, zwart),met een textuur vergelijkbaar met hoogwaardige galvanisering.
• In de elektronica- en halfgeleiderindustrie:met een vermogen van niet meer dan 50 W,slijtage- en corrosiebestendige functionele folielagen om de stabiliteit van de onderdelen te garanderen.
• High-end componenten voor de lucht- en ruimtevaartindustrie en de automobielindustrie:de motorbladen van vliegtuigen, turboladers voor auto's, hoogwaardige lagers enz. zijn bekleed met hoogwaardige coatings die bestand zijn tegen hoge temperaturen en vermoeidheid,geschikt voor extreme arbeidsomstandigheden.
• In de medische apparatuurindustrie:chirurgische instrumenten, implanteerbare medische hulpmiddelen (zoals orthopedische schroeven) enz. zijn bekleed met biocompatibel,slijtagebestendige en anti-corrosieve films om de veiligheid en levensduur van de apparaten te verbeteren.