Macchine di rivestimento a vuoto pvd a radiofrequenza multi-arco con sistema di controllo PLC

Componenti principali:

Sistema di alimentazione a RF, sistema di montaggio di bersaglio di arco, sistema a vuoto, sistema di alimentazione e di controllo del bias del pezzo di lavoro.

Principio di funzionamento:

In una camera a vuoto, il campo elettrico ad alta frequenza eccitato dall'alimentazione a radiofrequenza iona il gas di lavoro (come azoto o argon) per formare plasma ad alta densità.l'arco elettrico agisce sul materiale bersaglioGli atomi del materiale bersaglio vengono ulteriormente ionizzati e attivati nell'ambiente plasmatico.e infine deposita sulla superficie del pezzo sotto l'azione di tensione di bias negativo per formare un film ad alte prestazioni.

• Le prestazioni del plasma sono superiori:La scarica a radiofrequenza aumenta significativamente la densità e l'attività del plasma, con un tasso di ionizzazione fino all'80%-95%.
• La qualità dello strato di pellicola è più raffinata:L'uniformità del plasma è forte, l'evaporazione del materiale bersaglio è più stabile, i difetti delle goccioline sono significativamente ridotti,e la liscezza e la densità della superficie dello strato di pellicola sono significativamente migliorate.
• Temperatura di rivestimento controllabile:La caratteristica a bassa temperatura della scarica a radiofrequenza consente di ridurre la temperatura di deposizione del pezzo da lavorare di 50-100°C rispetto a quella del tipo DC.che lo rende adatto a substrati più sensibili al calore.
• L'intervallo di compatibilità del materiale di destinazione è ampio:È compatibile con vari materiali bersaglio come metalli puri, leghe e ceramiche e può essere utilizzato per preparare strati di film singoli o compositi, con una forte flessibilità di processo.

• Lo strato di pellicola ha prestazioni eccezionali:ha una maggiore durezza (HV2000~3500), una maggiore resistenza all'usura e alla corrosione e una minore rugosità superficiale, funzionalità di bilanciamento e decorazione.
• L'efficienza della deposizione è bilanciata con un'elevata qualità:La velocità di deposizione è mantenuta tra 8 e 80 μm/h, che è leggermente inferiore a quella del tipo DC ma molto superiore a quella dello sputtering magnetronico,raggiungere un equilibrio tra "alta efficienza + alta qualità".
• Una maggiore adattabilità al substrato:La funzione di deposizione a bassa temperatura può gestire alcuni pezzi sensibili alle alte temperature, come componenti elettronici di precisione e parti metalliche a pareti sottili, espandendo gli scenari di applicazione.
• Buona uniformità dello strato di film:Il plasma ha un'ampia gamma di copertura e può adattarsi con precisione a superfici curve complesse e piccole parti, garantendo la consistenza del rivestimento complessivo.
• Forte stabilità del processo:L'uscita dell'alimentazione RF è stabile, riducendo i difetti del strato di pellicola causati da arco instabile e il tasso di qualificazione dei prodotti prodotti in serie è superiore.

• Industria degli utensili e degli stampi di precisione:Tagliatrici di fresatura ad alta precisione, micro trapano, stampi ottici, stampi a iniezione, ecc., rivestite con rivestimenti duri di alta qualità come TiAlN e AlCrN per migliorare la precisione della lavorazione e la durata di vita.
• Decorazione di alta gamma e industria 3C:cornici per telefoni cellulari, conchiglie per notebook, gioielli di lusso, componenti di marchi di lusso, ecc. Preparare strati di pellicole decorative ad alto lucido e prive di particelle (come oro rosa, grigio pistola, nero),con una consistenza paragonabile a quella dell'elettroplatazione di fascia alta.
• Nel settore dell'elettronica e dei semiconduttoricon un'intensità di potenza di potenza superiore a 50 W/cm3strati di pellicole funzionali resistenti all'usura e alla corrosione per garantire la stabilità dei componenti.
• Componenti di fascia alta per l'aerospaziale e l'automobile:le pale dei motori degli aeromobili, i turbocompressori automobilistici, i cuscinetti di fascia alta, ecc., sono rivestiti con rivestimenti ad alte prestazioni resistenti alle alte temperature e alla fatica,adatti a condizioni di lavoro estreme.
• Nell'industria dei dispositivi medici:gli strumenti chirurgici, i dispositivi medici impiantabili (come le viti ortopediche), ecc., sono rivestiti di biocompatibile,pellicole resistenti all'usura e anticorrosive per migliorare la sicurezza e la durata dei dispositivi.