دستگاه راديو فرکانس Multi-arc Ion Plating Machine pvd تجهیزات پوشش خلاء با سیستم کنترل PLC

اجزای اصلی:

سیستم تغذیه RF، مجموعه هدف قوس، سیستم خلاء، منبع تغذیه و سیستم کنترل بی طرفی قطعه کار. پیچیدگی فنی بالاتر از نوع DC است.

اصل کار:

در یک اتاق خلاء، میدان الکتریکی با فرکانس بالا که توسط منبع برق فرکانس رادیویی تحریک می شود، گاز کار (مانند نیتروژن یا آرگون) را برای تشکیل پلاسما با تراکم بالا یونیزه می کند.قوس الکتریکی بر روی مواد هدف عمل می کندو باعث تبخیر آن می شود. اتم های ماده هدف در محیط پلاسما بیشتر یونیزه و فعال می شوند.و در نهایت در سطح قطعه کار تحت تأثیر ولتاژ تعصب منفی قرار می گیرد تا یک فیلم با عملکرد بالا را تشکیل دهد.

• کارايي پلازما بهترهتخلیه فرکانس رادیویی به طور قابل توجهی تراکم و فعالیت پلاسما را با نرخ یونیزاسیون تا 80 تا 95٪ افزایش می دهد.
• کیفیت لایه فیلم بهتر است:یکسانی پلاسمای قوی است، تبخیر مواد هدف پایدارتر است، نقایص قطره به طور قابل توجهی کاهش می یابد،و صافی و تراکم سطح لایه فیلم به طور قابل توجهی بهبود می یابد.
• دمای پوشش قابل کنترل:ویژگی دمای پایین تخلیه فرکانس رادیویی اجازه می دهد دمای رسوب قطعه کار 50 تا 100 درجه سانتیگراد پایین تر از نوع DC باشد.که آن را برای زیربناهای حساس تر به گرما مناسب می کند.
• محدوده سازگاری مواد مورد نظر گسترده است:آن با مواد مختلف هدف مانند فلزات خالص، آلیاژ ها و سرامیک ها سازگار است و می تواند برای آماده سازی لایه های فیلم تک یا ترکیبی با انعطاف پذیری فرآیند قوی استفاده شود.

• لایه فیلم دارای عملکرد جامع فوق العاده ای است:آن دارای سختی بالاتر (HV2000 ~ 3500) ، مقاومت بیشتر در برابر فرسایش و مقاومت در برابر خوردگی، و خشکی سطح پایین تر، عملکرد تعادل و تزئین است.
• کارایی رسوب با کیفیت بالا متعادل است:سرعت رسوب در 8 تا 80μm/h حفظ می شود که کمی کمتر از نوع DC است اما بسیار بیشتر از اسپتر کردن ماگنترون است.دستیابی به تعادل "کارایی بالا + کیفیت بالا".
• سازگاری گسترده تر با بستر:ویژگی رسوب دمای پایین می تواند برخی از قطعات حساس به دمای بالا مانند قطعات الکترونیکی دقیق و قطعات فلزی دارای دیواره نازک را اداره کند و سناریوهای کاربرد را گسترش دهد.
• یکسانی خوب لایه فیلم:پلاسما دارای طیف گسترده ای از پوشش است و می تواند با دقت به سطوح پیچیده منحنی و قطعات کوچک سازگار شود و ثبات پوشش کلی را تضمین کند.
• ثبات فرآیند قوی:خروجی منبع برق RF پایدار است و نقص های لایه فیلم ناشی از قوس ناپایدار را کاهش می دهد و میزان صلاحیت محصولات تولید انبوه بالاتر است.

• صنعت ابزار و قالب های دقیق:ماشین های برش فرنیری با دقت بالا، میکرو درل ها، قالب های نوری، قالب های تزریقی و غیره که با پوشش های سخت پیشرفته مانند TiAlN و AlCrN پوشش داده شده اند تا دقت پردازش و عمر خدمت را افزایش دهند.
• دکوراسیون و صنعت 3C:قاب های تلفن همراه، پوسته های لپ تاپ، جواهرات با کیفیت بالا، قطعات سخت افزاری مارک های لوکس و غیره. لایه های فلمی تزئینی بسیار درخشان و بدون ذرات (مانند طلایی رز، خاکستری اسلحه، سیاه) را آماده کنید.با بافت قابل مقایسه با الکترواستات پیشرفته.
• در صنعت الکترونیک و نیمه هادی:فریم های سرب تراشه های نیمه هادی، کانکتورهای الکترونیکی، سنسورهای دقیق و غیره با هادی،لایه های فلزی مقاوم در برابر فرسایش و خوردگی برای اطمینان از ثبات قطعات.
• قطعات پیشرفته برای هوافضا و خودرو:تیغه های موتور هواپیما، توربو شارژرهای خودرو، لاغرهای پیشرفته و غیره با پوشش های با عملکرد بالا که در برابر دماهای بالا و خستگی مقاوم هستند، پوشانده می شوند.مناسب برای شرایط سخت کاری.
• در صنعت دستگاه های پزشکی:ابزارهای جراحی، دستگاه های پزشکی قابل کاشت (مانند پیچ های ارتوپدیک) و غیره، با مواد زیست سازگار پوشانده می شوند.فیلم های مقاوم به فرسایش و ضد خوردگی برای افزایش ایمنی و عمر دستگاه.