Machines de revêtement sous vide pvd à radiofréquence multi-arc avec système de commande PLC

Composants de base:

Le système d'alimentation RF, l'assemblage de la cible d'arc, le système de vide, l'alimentation et le système de contrôle du biais de la pièce à usiner.

Principe de fonctionnement:

Dans une chambre à vide, le champ électrique à haute fréquence excité par l'alimentation à radiofréquence ionne le gaz de travail (comme l'azote ou l'argon) pour former un plasma à haute densité.l'arc électrique agit sur le matériau cibleLes atomes du matériau cible sont ionisés et activés dans l'environnement du plasma,et éventuellement déposer sur la surface de la pièce sous l'action de la tension de biais négatif pour former un film haute performance.

• Les performances plasmatiques sont supérieures:La décharge par radiofréquence améliore considérablement la densité et l'activité du plasma, avec un taux d'ionisation allant jusqu'à 80% à 95%.
• La qualité du film est plus raffinée:L'uniformité du plasma est forte, l'évaporation du matériau cible est plus stable, les défauts de gouttelettes sont considérablement réduits,et la douceur et la densité de la surface de la couche de film sont considérablement améliorées.
• Température de revêtement contrôlable:La caractéristique de basse température de la décharge par radiofréquence permet à la température de dépôt de la pièce de travail d'être inférieure de 50 à 100 degrés Celsius à celle du type CC,le rendant adapté à des substrats plus sensibles à la chaleur.
• La gamme de compatibilité des matériaux cibles est large:Il est compatible avec divers matériaux cibles tels que les métaux purs, les alliages et les céramiques, et peut être utilisé pour préparer des couches de film simples ou composites, avec une forte flexibilité de processus.

• La couche de film a une performance complète exceptionnelle:Il a une dureté plus élevée (HV2000~3500), une résistance à l'usure et à la corrosion plus élevée et une rugosité de surface, une fonctionnalité d'équilibrage et une décoration plus faibles.
• L'efficacité du dépôt est équilibrée par une qualité élevée:La vitesse de dépôt est maintenue à 8 à 80 μm/h, ce qui est légèrement inférieur à celui du type CC mais bien supérieur à celui du pulvérisation par magnétron,réalisation d'un équilibre entre "efficacité élevée + qualité élevée".
• Adaptabilité plus large du substrat:La fonction de dépôt à basse température peut gérer certaines pièces sensibles aux températures élevées, telles que les composants électroniques de précision et les pièces métalliques à paroi mince, élargissant les scénarios d'application.
• Bonne homogénéité de la couche de film:Le plasma a une large gamme de couverture et peut s'adapter avec précision à des surfaces courbes complexes et à de petites pièces, assurant ainsi la cohérence du revêtement global.
• Une forte stabilité du processus:La sortie de l'alimentation RF est stable, réduisant les défauts de couche de film causés par un arc instable, et le taux de qualification des produits produits en série est plus élevé.

• Industrie des outils et moules de précision:Coupeuses de fraisage de haute précision, micro perceuses, moules optiques, moules par injection, etc., recouvertes de revêtements durs de haute qualité tels que le TiAlN et l'AlCrN pour améliorer la précision du traitement et la durée de vie.
• Décoration haut de gamme et industrie 3C:les cadres de téléphones portables, les coquilles de ordinateurs portables, les bijoux haut de gamme, les pièces de matériel de marque de luxe, etc. Préparer des couches de film décoratif très brillant et exempt de particules (comme l'or rose, le gris pistolet, le noir),d'une épaisseur n'excédant pas 1 mm,.
• Dans l'industrie électronique et des semi-conducteurs:Les cadres de plomb des puces à semi-conducteurs, les connecteurs électroniques, les capteurs de précision, etc., sont recouverts de conducteur,couches de films fonctionnels résistantes à l'usure et à la corrosion pour assurer la stabilité des composants.
• Composants haut de gamme pour l'aérospatiale et les automobiles:les lames des moteurs d'avions, les turbocompresseurs automobiles, les roulements haut de gamme, etc., sont revêtues de revêtements de haute performance résistant aux températures élevées et à la fatigue,adapté à des conditions de travail extrêmes.
• Dans l'industrie des dispositifs médicaux:les instruments chirurgicaux, les dispositifs médicaux implantables (tels que les vis orthopédiques), etc., sont recouverts d'un matériau biocompatible,films résistants à l'usure et anticorrosifs pour améliorer la sécurité et la durée de vie des dispositifs.