Radio Frequency Multi-arc Ion Plating Machine pvd 진공 코팅 장비 PLC 제어 시스템

핵심 부품:

RF 전원 공급 시스템, 활 타겟 조립, 진공 시스템, 작업 조각 편향 전원 공급 및 제어 시스템. 기술적 복잡성은 DC 유형보다 높습니다.

작동 원리:

진공 챔버에서, 전파 전원 공급에 의해 흥분되는 고주파 전기장은 고밀도 플라즈마를 형성하기 위해 작업 가스를 (질소 또는 아르곤과 같은) 이온화합니다.전기 활은 표적 물질에 작용합니다.표적 물질의 원자는 플라즈마 환경에서 더 이상 이온화되고 활성화됩니다.그리고 최종적으로 높은 성능의 필름을 형성하기 위해 부정적인 편향 전압의 작용으로 작업 조각의 표면에 퇴적.

• 플라즈마 성능이 우수합니다.전파 방출은 플라즈마의 밀도와 활동을 크게 향상시킵니다. 이온화율은 80%에서 95%까지입니다.
• 필름 레이어의 품질은 더 정제됩니다.플라즈마 균일성이 강하고 표적 물질의 증발이 더 안정적이며 방울 결함이 크게 감소합니다.그리고 필름 층 표면의 매끄럽고 밀도가 크게 향상됩니다..
• 제어 가능한 코팅 온도:방사선 주파수 배열의 낮은 온도 특성으로 인해 작업 조각의 퇴적 온도는 DC 유형보다 50 ~ 100 °C 낮습니다.더 많은 열에 민감한 기판에 적합하게 만드는.
• 대상 재료의 호환 범위는 넓습니다.그것은 순수한 금속, 합금 및 세라믹과 같은 다양한 목표 재료와 호환되며, 강력한 공정 유연성을 갖춘 단일 또는 복합 필름 층을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.

• 필름 레이어는 탁월한 종합 성능을 가지고 있습니다.더 높은 강도 (HV2000~3500), 더 강한 마모 저항성 및 부식 저항성, 더 낮은 표면 거칠성, 균형 기능 및 장식.
• 퇴적 효율은 높은 품질과 균형을 이루고 있습니다.퇴적 속도는 8~80μm/h로 유지되며, DC 타입의 속도보다 약간 낮지만 마그네트론 스프터링의 속도보다 훨씬 높습니다."고속 효율성 + 고품질"의 균형.
• 더 넓은 기판 적응력:저온 퇴적 기능은 정밀 전자 부품 및 얇은 벽돌 금속 부품과 같은 고온 민감한 작업 조각을 처리 할 수 있으며 응용 시나리오를 확장합니다.
• 필름 층의 좋은 균일성:플라즈마는 광범위한 커버리지 범위를 가지고 있으며 복잡한 곡선 표면과 작은 부분에 정확하게 적응하여 전체 코팅의 일관성을 보장합니다.
• 강력한 공정 안정성:RF 전원 공급의 출력은 안정적이며 불안정한 활로 인해 발생하는 필름 층 결함을 줄이고 대량 생산 제품의 자격률이 높습니다.

• 정밀 도구 및 곰팡이 산업:고 정밀 프레싱 커터, 마이크로 드롤, 광학 폼, 주사 폼 등, 고품질의 단단한 코팅으로 코팅된 TiAlN 및 AlCrN, 가공 정확성과 수명 향상을 위해.
• 고급 장식과 3C 산업:휴대 전화 프레임, 노트북 껍질, 고급 보석, 고급 브랜드 하드웨어 부품 등을 준비합니다. 고방광, 입자 없는 장식 필름 층 (로즈 골드, 총 회색, 검은색 등) 을 준비하십시오.고품질 가전화와 비교할 수 있는 질감.
• 전자 및 반도체 산업에서:반도체 칩 리드 프레임, 전자 커넥터, 정밀 센서 등이 전도성,부품의 안정성을 보장하기 위해 마모 저항성 및 진열 저항성 기능 필름 층.
• 항공 및 자동차용 고급 부품:항공기 엔진 블레이드, 자동차 터보 충전기, 고급 베어링 등은 고온과 피로에 저항하는 고성능 코팅으로 코팅됩니다.극한의 작업 조건에 적합합니다..
• 의료기기 산업에서:수술용 기기, 임플란테블 의료기기 (정형건강구조 나사 등) 는 바이오 호환성으로 코팅됩니다.착용 저항성 및 부식 방지 필름으로 장치의 안전성 및 서비스 수명을 향상시킵니다..