Μηχανή επίστρωσης ιόντων πολλαπλών τόξων ραδιοσυχνοτήτων, εξοπλισμός επίστρωσης κενού pvd με σύστημα ελέγχου PLC

Βασικά στοιχεία:

Σύστημα τροφοδοσίας ραδιοσυχνοτήτων, συναρμολόγηση στόχου τόξου, σύστημα κενού, τροφοδοσία και σύστημα ελέγχου παραμερισμού εργαστηρίου.

Αρχή λειτουργίας:

Σε έναν κενό θάλαμο, το ηλεκτρικό πεδίο υψηλής συχνότητας που διεγείρεται από την τροφοδοσία ενέργειας ραδιοσυχνοτήτων ιονίζει το εργασιακό αέριο (όπως το άζωτο ή το άργον) για να σχηματίσει πλάσμα υψηλής πυκνότητας.το ηλεκτρικό τόξο ενεργεί στο στόχο υλικόΤα άτομα του υλικού-στόχου ιονίζονται περαιτέρω και ενεργοποιούνται στο περιβάλλον του πλάσματος.και τελικά κατάθεση στην επιφάνεια του εργαστηρίου υπό την επίδραση της αρνητικής τάσης προκατάληψης για να σχηματίσουν ένα φιλμ υψηλών επιδόσεων.

• Η απόδοση του πλάσματος είναι ανώτερη.Η εκκένωση ραδιοσυχνοτήτων αυξάνει σημαντικά την πυκνότητα και τη δραστηριότητα του πλάσματος, με ποσοστό ιονισμού έως 80% έως 95%.
• Η ποιότητα του στρώματος της ταινίας είναι πιο εκλεπτυσμένη:Η ομοιομορφία του πλάσματος είναι ισχυρή, η εξάτμιση του υλικού-στόχου είναι πιο σταθερή, τα ελαττώματα στα σταγονίδια μειώνονται σημαντικά,και η ομαλότητα και η πυκνότητα της επιφάνειας της στρώσης φιλμ βελτιώνονται σημαντικά.
• Ελεγχόμενη θερμοκρασία επικάλυψης:Το χαρακτηριστικό χαμηλής θερμοκρασίας της εκφόρτωσης ραδιοσυχνοτήτων επιτρέπει στην θερμοκρασία αποθέματος του εργαστηρίου να είναι 50 έως 100 βαθμούς Κελσίου χαμηλότερη από εκείνη του τύπου συνεχούς ρεύματος,που το καθιστά κατάλληλο για υποστρώματα πιο θερμοευαίσθητα.
• Το εύρος συμβατότητας του υλικού-στόχου είναι ευρύ:Είναι συμβατό με διάφορα υλικά-στόχους, όπως τα καθαρά μέταλλα, τα κράματα και τα κεραμικά, και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία μεμονωμένων ή σύνθετων στρωμάτων φιλμ, με ισχυρή ευελιξία της διαδικασίας.

• Το στρώμα φιλμ έχει εξαιρετικές συνολικές επιδόσεις:έχει υψηλότερη σκληρότητα (HV2000~3500), ισχυρότερη αντοχή στην φθορά και τη διάβρωση, και χαμηλότερη τραχύτητα της επιφάνειας, ισορροπητική λειτουργικότητα και διακόσμηση.
• Η απόδοση αποθέματος ισορροπείται με υψηλή ποιότητα:Ο ρυθμός αποθέσεως διατηρείται σε 8 έως 80 μm/h, ο οποίος είναι ελαφρώς χαμηλότερος από αυτόν του τύπου DC, αλλά υπερβαίνει κατά πολύ αυτόν της ψεκασμού με μαγνητρόνιο,επίτευξη ισορροπίας "υψηλής απόδοσης + υψηλής ποιότητας".
• Ευρύτερη προσαρμοστικότητα υποστρώματος:Το χαρακτηριστικό αποθήκευσης χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να χειριστεί ορισμένα ευαίσθητα σε υψηλές θερμοκρασίες εργασιακά κομμάτια, όπως ηλεκτρονικά εξαρτήματα ακριβείας και μεταλλικά εξαρτήματα λεπτών τοιχωμάτων, διευρύνοντας τα σενάρια εφαρμογής.
• Καλή ομοιομορφία του στρώματος του φιλμ:Το πλάσμα έχει ευρύ εύρος κάλυψης και μπορεί να προσαρμοστεί με ακρίβεια σε περίπλοκες καμπυλωτές επιφάνειες και μικρά μέρη, εξασφαλίζοντας τη συνοχή της συνολικής επικάλυψης.
• Ισχυρή σταθερότητα της διαδικασίας:Η έξοδος της τροφοδοσίας ισχύος ραδιοσυχνοτήτων είναι σταθερή, μειώνοντας τα ελαττώματα της στρώσης φιλμ που προκαλούνται από ασταθές τόξο και το ποσοστό προσόντων των μαζικά παραγόμενων προϊόντων είναι υψηλότερο.

• Βιομηχανία εργαλείων και καλούπιων ακριβείας:Μεταλλουργήματα υψηλής ακρίβειας, μικροτρυπές, οπτικά καλούπια, καλούπια ένεσης κ.λπ., επικαλυμμένα με σκληρές επικαλύψεις υψηλής ποιότητας, όπως TiAlN και AlCrN, για τη βελτίωση της ακρίβειας επεξεργασίας και της διάρκειας ζωής.
• Υψηλής ποιότητας διακόσμηση και βιομηχανία 3C:πλαίσια κινητών τηλεφώνων, περιβλήματα φορητών υπολογιστών, κοσμήματα υψηλής ποιότητας, εξαρτήματα υλικού πολυτελών εμπορικών σημάτων κλπ. Προετοιμάστε υψηλής λάμψης, χωρίς σωματίδια, διακοσμητικά στρώματα φιλμ (όπως ροζ χρυσό, γκρι, μαύρο),με υφή συγκρίσιμη με την υψηλής ποιότητας ηλεκτρική επικάλυψη.
• Στην βιομηχανία ηλεκτρονικών και ημιαγωγών:Ηλεκτρονικοί συνδετήρες, αισθητήρες ακρίβειας κ.λπ.ανθεκτικά στην φθορά και αντιδρούντα στη διάβρωση λειτουργικά στρώματα ταινιών για τη διασφάλιση της σταθερότητας των κατασκευαστικών στοιχείων.
• Συσκευές υψηλού επιπέδου για αεροδιαστημικά και αυτοκίνητα:οι λεπίδες κινητήρων αεροσκαφών, οι υπερσυμπιεστές αυτοκινήτων, τα ελαστικά υψηλής τεχνολογίας κ.λπ., είναι επικαλυμμένα με επικαλύψεις υψηλών επιδόσεων ανθεκτικές σε υψηλές θερμοκρασίες και κόπωση,κατάλληλο για ακραίες συνθήκες εργασίας.
• Στην βιομηχανία ιατροτεχνολογικών προϊόντων:τα χειρουργικά όργανα, οι εμφυτεύσιμες ιατρικές συσκευές (όπως ορθοπεδικές βίδες) κ.λπ., καλύπτονται με βιοσυμβατό,ανθεκτικές στην φθορά και αντιβροχυντικές ταινίες για τη βελτίωση της ασφάλειας και της ζωής των συσκευών.