magnetron sputtering vacuum coating machine
,multi-arc ion sputtering vacuum chamber
,deposition magnetron sputtering machine
- Utworzenie środowiska próżniowego: Zestaw pomp próżniowych służy do obniżenia ciśnienia w komorze powlekania do stanu wysokiej próżni (zazwyczaj ≤10⁻³Pa), zapobiegając zakłócaniu osadzania filmu przez cząsteczki powietrza.
- Wzbudzenie plazmy: Do komory wprowadza się gaz obojętny (np. argon), a między celem (materiał powlekający, np. aluminium, tytan, ITO) a podłożem przykłada się pole elektryczne o wysokim napięciu, aby zjonizować gaz argonowy i wytworzyć plazmę.
- Osadzanie metodą rozpylania magnetronowego: Pole magnetyczne służy do ograniczania trajektorii ruchu elektronów, zwiększając efektywność zderzeń między elektronami a cząsteczkami argonu. Powoduje to bombardowanie powierzchni celu przez jony argonu z dużą prędkością; atomy celu są "rozpylane", poruszają się po linii prostej i osadzają się na powierzchni podłoża, tworząc jednolity film.
- Wysoka jakość filmu: Film charakteryzuje się dobrą jednorodnością (odchylenie można kontrolować w granicach ±5%) i silnym przyleganiem do podłoża, co zmniejsza ryzyko łuszczenia się lub pękania.
- Wysoka wydajność powlekania: Konstrukcja wykorzystująca pole magnetyczne do ograniczania elektronów znacznie poprawia szybkość rozpylania. Szybkość osadzania z pojedynczego celu może osiągnąć 0,1-10 μm/min, co nadaje się do produkcji masowej.
- Szeroka adaptowalność materiałowa: Stosowane materiały powlekające obejmują metale (aluminium, miedź, srebro), stopy (stal nierdzewna, stop tytanu) i związki (ITO, SiO₂, Al₂O₃), spełniając różne wymagania funkcjonalne.
- Przyjazność dla środowiska i brak zanieczyszczeń: Cały proces nie generuje odprowadzania płynnych odpadów chemicznych ani szkodliwych gazów, a jedynie wykorzystuje gazy obojętne i cele stałe, zgodnie z nowoczesnymi standardami ochrony środowiska przemysłowego.
| Branża zastosowań | Przykłady konkretnych zastosowań | Kluczowe wymagania |
|---|---|---|
| Przemysł elektroniczny i informacyjny | Powlekanie elektrod chipów, przewodzące filmy ITO do wyświetlaczy, filmy do głowic magnetycznych | Wysoka przewodność, jednorodność filmu, precyzyjna kontrola |
| Dziedzina optyczna | Filmy antyrefleksyjne do okularów, filmy filtracyjne do obiektywów aparatów fotograficznych, soczewki laserowe | Niska refleksyjność, wysoka przepuszczalność światła, odporność na ścieranie |
| Powłoki dekoracyjne i funkcjonalne | Filmy dekoracyjne do okuć (np. złoto tytanowe, złoto cyrkonowe), filmy odporne na ścieranie do narzędzi skrawających | Estetyka, odporność na korozję, wysoka twardość |
| Nowa branża energetyczna | Powlekanie elektrod biegunowych baterii litowych, filmy antyrefleksyjne do szkła fotowoltaicznego | Wysoka przyczepność, wydajność produkcji masowej, niski koszt |
- Stopień próżni: Próżnia końcowa ≤5*10⁻⁵Pa, próżnia robocza 1*10⁻³ - 5*10⁻¹Pa
- Konfiguracja celu: Pojedynczy cel, podwójny cel lub wielocelowy (obsługujący rozpylanie DC, RF i średniej częstotliwości), rozmiar celu Φ50-300mm
- Rozmiar podłoża: Możliwość dostosowania; konwencjonalne rozmiary obejmują materiały arkuszowe (100*100mm - 1000*1000mm) i materiały zwojowe (szerokość ≤1600mm)
- Szybkość osadzania: 0,5-10 μm/min dla filmów metalowych, 0,1-2 μm/min dla filmów tlenkowych
- Temperatura ogrzewania podłoża: Temperatura pokojowa - 500℃ (dostępna precyzyjna kontrola temperatury, różnica temperatur ±2℃)
Urządzenia do powlekania metodą rozpylania magnetronowego dla części sprzętowych telefonów komórkowych, dostosowane do potrzeb klienta, maszyna do powlekania PVD
I. Core Structure The magnetron sputtering coating equipment for mobile phone hardware parts is a dedicated device designed for small hardware parts such as mobile phone frames, keys, and camera decorative rings. Its core structure is divided into five major modules: vacuum system, sputtering system...
Wysokiej precyzji maszyna do rozpylania magnetronów stałego prądu z dostosowalnymi rozmiarami i wielowarstwową powłoką do metalu i szkła
DC Magnetron Sputtering Machine - Vacuum PVD Coating System This high-precision DC Magnetron Sputtering Machine is designed for superior vacuum PVD coating applications on metal and glass substrates. The equipment features rational structure design, uniform coating distribution, excellent quality ...
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine z technologią wielołukowych jonów, dostosowaną wielkość komory i wysoką gęstością powłoki ≥ 99,9% dla zastosowań dekoracyjnych i funkcjonalnych
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine Professional PVD vacuum coating magnetron sputtering machine specifically designed for cutlery and tableware applications, including knives. Working Principle Vacuum magnetron sputtering coating utilizes an orthogonal electromagnetic field where charged ...
Przemysłowa maszyna do powlekania próżniowego magnetronowego z wysoką szybkością osadzenia i wyższą jakością folii dla szerokiej kompatybilności materiału
Industrial Grade Reaction Magnetron Sputtering Vacuum Coater Machine Professional PVD vacuum coating system designed for high-end hardware and stainless steel parts with advanced magnetron sputtering technology. Product Specifications Product Type PVD Vacuum Coating Machine Primary Applications High...
