magnetron sputtering vacuum coating machine
,multi-arc ion sputtering vacuum chamber
,deposition magnetron sputtering machine
- إنشاء بيئة فراغ: يتم استخدام مجموعة مضخات فراغ لخفض الضغط داخل غرفة الطلاء إلى حالة فراغ عالية (عادة ≤10-3Pa) ،منع جزيئات الهواء من التدخل في ترسب الفيلم.
- إثارة البلازما: يتم إدخال غاز خامل (مثل الأرجون) إلى الغرفة ، ويتم تطبيق حقل كهربائي عالي الجهد بين الهدف (مواد الطلاء ، على سبيل المثال ، الألومنيوم ، التيتانيوم ،ITO) والركن لتأين غاز الأرجون وتوليد البلازما.
- ترسب الرذاذ المغناطيسي: يستخدم المجال المغناطيسي للحد من مسار حركة الإلكترون ، مما يعزز كفاءة الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الأرجون.هذا يسبب آيونات الأرجون لتقصف سطح الهدف بسرعة عالية؛ يتم "تفريغ" الذرات المستهدفة ، وتحركها في خط مستقيم ، وتودعها على سطح الروك لتشكيل فيلم موحد.
- جودة الفيلم العالية: يحتوي الفيلم على توحيد جيد (يمكن السيطرة على الانحراف في حدود ± 5٪) وارتباط قوي بالرصيف ، مما يقلل من احتمال نزعها أو تشققها.
- كفاءة عالية في الطلاء: تصميم استخدام مجال مغناطيسي للقيود على الإلكترونات يحسن بشكل كبير من معدل الرذاذ. يمكن أن يصل معدل ترسب الهدف الواحد إلى 0.1-10μm / min ، مناسبة للإنتاج الضخم.
- قابلية التكيف مع المواد: تتضمن مواد الطلاء المطبقة المعادن (الألومنيوم والنحاس والفضة) والسبائك (الصلب المقاوم للصدأ ، سبائك التيتانيوم) والمركبات (ITO ، SiO2 ، Al2O3) التي تلبي متطلبات وظيفية مختلفة.
- الصداقة للبيئة وعدم التلوث: لا توجد عمليات تصريف للنفايات الكيميائية السائلة أو الغازات الضارة، وتستخدم الغازات الخاملة والهدف الصلب فقط، بما يتماشى مع معايير حماية البيئة الصناعية الحديثة.
| صناعة التطبيقات | أمثلة على الاستخدامات المحددة | المتطلبات الأساسية |
|---|---|---|
| صناعة المعلومات الإلكترونية | طلاء الكترودات الشريحة، شاشة فيلم ITO الموصل، فيلم الرأس المغناطيسي | التوصيل العالي، توحيد الفيلم، التحكم الدقيق |
| المجال البصري | فيلم مضاد للانعكاس للنظارات، فيلم تصفية لعدسات الكاميرا، عدسات الليزر | انعكاسية منخفضة، انتقالات ضوئية عالية، مقاومة للارتداء |
| الطلاء الزخرفي والوظيفي | أفلام الزخرفة للأجهزة (مثل ذهب التيتانيوم، ذهب الزركونيوم) ، أفلام مقاومة للاستخدام لأدوات القطع | جماليات، مقاومة للتآكل، صلابة عالية |
| صناعة الطاقة الجديدة | طلاء قطعة قطب بطارية الليثيوم، فيلم مضاد للانعكاس للزجاج الكهروضوئي | التماسك العالي، كفاءة الإنتاج الضخم، التكلفة المنخفضة |
- درجة الفراغ: الفراغ النهائي ≤5*10−5Pa، فراغ العمل 1*10−3 - 5*10−1Pa
- تكوين الهدف: الهدف الواحد أو الهدف المزدوج أو الهدف المتعدد (دعم DC و RF و mid-frequency sputtering) ، حجم الهدف Φ50-300mm
- حجم القالب: قابلة للتخصيص؛ الأحجام التقليدية تغطي مواد الورق (100 * 100mm - 1000 * 1000mm) والمواد الملفوفة (عرض ≤ 1600mm)
- معدل الترسب: 0.5-10μm/min للأفلام المعدنية، 0.1-2μm/min لأفلام الأكسيد
- درجة حرارة تسخين الركيزة: درجة حرارة الغرفة - 500 درجة مئوية (يمكن التحكم بدقة في درجة الحرارة، فرق درجة الحرارة ± 2 درجة مئوية)
معدات طلاء الغطاء المغناطيسي لقطع أجهزة الهواتف المحمولة المخصصة لاحتياجات العملاء
I. Core Structure The magnetron sputtering coating equipment for mobile phone hardware parts is a dedicated device designed for small hardware parts such as mobile phone frames, keys, and camera decorative rings. Its core structure is divided into five major modules: vacuum system, sputtering system...
آلة رش مغنطروني DC عالية الدقة بحجم قابل للتخصيص وطلاء متعدد الطبقات للمعادن والزجاج
DC Magnetron Sputtering Machine - Vacuum PVD Coating System This high-precision DC Magnetron Sputtering Machine is designed for superior vacuum PVD coating applications on metal and glass substrates. The equipment features rational structure design, uniform coating distribution, excellent quality ...
آلة طلاء الفراغ المزروعة بالمغناطيس مع تكنولوجيا الأيونات متعددة القوس ، وحجم الغرفة المخصص ، وكثافة الطلاء العالية ≥ 99.9٪ للتطبيقات الزخرفية والوظيفية
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine Professional PVD vacuum coating magnetron sputtering machine specifically designed for cutlery and tableware applications, including knives. Working Principle Vacuum magnetron sputtering coating utilizes an orthogonal electromagnetic field where charged ...
آلة طلاء الفراغ المزروعة بالمغناطيس من الدرجة الصناعية مع معدل ترسب عالية وجودة فيلم متفوقة للتوافق المادي الواسع
Industrial Grade Reaction Magnetron Sputtering Vacuum Coater Machine Professional PVD vacuum coating system designed for high-end hardware and stainless steel parts with advanced magnetron sputtering technology. Product Specifications Product Type PVD Vacuum Coating Machine Primary Applications High...
