الرذاذ المغناطيسي هو وسيلة متعددة الأدواتترسب البخار الفيزيائي (PVD)تقنية تستخدم على نطاق واسع لإيداع أفلام رقيقة عالية الجودة على مختلف الأساسات. تعمل عن طريق تقنين غاز نبيل (على سبيل المثال ، الأرجون) في غرفة فراغ عالية (الضغط < 10-3 تور) ، مما يخلق البلازما.الأيونات الطاقية من البلازما تهاجم المادة المستهدفة، طرد الذرات التي تبقى بعد ذلك على الركيزة كفيلم موحد متماسك. هذه الطريقة مناسبة بشكل خاص للمعادن والسبائك والسيراميك والمواد المركبة ،يقدم التحكم الدقيق في تكوين الفيلم وسمكها.
مبدأ العمل
توليد البلازما: مجال كهربائي عالي الجهد ييقن غاز الأرغون، ينتج أيونات Ar + والإلكترونات.
الحبس المغناطيسي: مجال مغناطيسي (متوازي مع المجال الكهربائي) يحتجز الإلكترونات بالقرب من سطح الهدف ، مما يعزز كفاءة التأين وكثافة البلازما.
عملية التنقيط: يضرب أيونات Ar + المتسارعة الهدف ، مما يزيل الذرات التي تسافر إلى الروك وتشكل فيلمًا رقيقًا. يقلل المجال المغناطيسي من قصف الإلكترونات للروك ، مما يقلل من الضرر الحراري..
المزايا الرئيسية
التوحيد والانضمام: تنتج أفلام ذات تكافؤ سميك استثنائي (± 5 ٪) وارتباط قوي للجزء الرئيسي بسبب قصف الأيونات عالي الطاقة.
التنوع المادي: متوافق مع المعادن (مثل Ti، Cu) ، السيراميك (مثل SiO2، Al2O3) ، وشرائح الموصلات.
ترسب في درجة حرارة منخفضة: مناسبة للمواد الحساسة للحرارة مثل البلاستيك والبوليمرات.
التحكم في العملية: يمكنه ضبط خصائص الفيلم بدقة (مثل التوصيل والصلابة) عن طريق معايير البلازما.
طلاء متعدد المكونات: يدعم الرذاذ المشترك لأهداف متعددة لإنتاج السبائك أو طبقة التدرج.