Otomatik Magnetron Püskürtme Vakum Kaplama Makinesi
,
Mücevherat İçin Magnetron Kaplama Makinesi
,
Mücevher Magnetron Püskürtme Kaplama Makinesi
Ödeme ve Kargo Koşulları
Min sipariş miktarı
1
Teslim süresi
20
Ürün Açıklaması
Magnetron Sputtering
Teknoloji Genel Görünümü
Magnetron püskürtmesi çok yönlü bir yöntemdir.Fiziksel Buhar Depozisyonu (PVD)Yüksek kaliteli ince filmlerin çeşitli substratlara depolanması için yaygın olarak kullanılan teknik. Yüksek vakumlu bir odada (basınç < 10−3 Torr) soylu bir gazı (örneğin, argon) iyonlaştırarak plazma oluşturarak çalışır.Plazmadan gelen enerjik iyonlar hedef maddeyi bombalar.Bu yöntem özellikle metaller, alaşımlar, seramik ve bileşik malzemeler için uygundur.Filmin bileşimi ve kalınlığı üzerinde hassas bir kontrol sağlar.
Çalışma prensibi
Plazma üretimi: Yüksek voltajlı bir elektrik alanı argon gazını iyonlaştırır ve Ar+ iyonları ve elektronlar üretir.
Mıknatıslı kilit: Manyetik alan (elektrik alanına ortogonal) hedef yüzeyinin yakınında elektronları tuzağa düşürür, iyonlaşma verimliliğini ve plazma yoğunluğunu arttırır.
Sputtering Süreci: Hızlandırılmış Ar+ iyonları hedefe çarparak, substratın üzerine hareket eden atomları yerinden çıkarıp ince bir film oluşturur. Manyetik alan, substratın elektron bombardımanını en aza indirir ve ısı hasarını azaltır..
Ana Avantajları
Uyumluluk ve Bağlantı: Yüksek enerjili iyon bombardımanından dolayı olağanüstü kalınlık tekdüzeliği (±5%) ve güçlü alt katman yapışması ile filmler üretir.
Malzemelerin Çeşitliliği: Metallerle (örneğin Ti, Cu), seramiklerle (örneğin SiO2, Al2O3) ve yarı iletkenlerle uyumludur.
Düşük Sıcaklıkta Depozisyon: Plastik ve polimer gibi ısıya duyarlı malzemeler için uygundur.
Süreç Kontrolü: Plasma parametreleri aracılığıyla film özelliklerinin (örneğin iletkenlik, sertlik) hassas ayarlanmasını sağlar.
Çok bileşenli kaplamalar: Alaşım veya gradient katman üretimi için birden fazla hedefin birlikte püskürtülmesini destekler.
Uygulamalı Sanayi
Elektronik: IC ambalajı, ekran panelleri ve fotovoltaik hücreler.
Optik: Yansıtma karşıtı kaplamalar, aynalar ve optik filtreler.
Aletler: Kesme aletleri ve kalıplar için aşınmaya dayanıklı kaplamalar.
Otomotiv: Dekoratif ve korozyona karşı dayanıklı bitirme ve parçalar.
Tıbbiİmplantlar ve aletler için biyolojik uyumlu kaplamalar.
Kaplama Etkileri ve Renkler
Yüzeyleri bitiriyor: Metallik parlaklık, mat dokular veya dokulanmış desenler.
Renk aralığı: Gümüş, altın, siyah, mavi ve reaktif püskürtme yoluyla özel tonlar (örneğin, altın benzeri finişler için TiN).
Yapı Tipleri
Yassı Mıknatron: Büyük alanlardaki (örneğin cam veya paneller) çökme için idealdir.
Rotary Magnetron: Silindirli veya kavisli substratlar için hedef kullanımı ve çökme oranını arttırır.
Denge dışı manyetron: yoğun, yapışkan filmler için yüksek iyon yoğunluğunda plazma üretir.
Altyapı Malzemeleri
Plastik (ABS, PET, PC), cam, seramik, metal ve kompozit.
Kaplama malzemeleri
Metaller: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
Seramik: SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4.
Alaşımlar: NiCr, TiAl ve süper alaşımlar.
Üretim Hatlarını Destekle
BirleştiriyorKaplama sonrası işlemlerDaha iyi işlevsellik için UV sertleştirme veya plazma tedavisi gibi.
Tüketim malzemeleri
Hedef malzemeler (metal / seramik), argon gazı ve püskürtme güç kaynakları.
Başvurular
Optik: Yüksek yansıtıcılık aynaları ve parlaklığa karşı kaplamalar.
Elektronik: Dokunmatik ekranlar için şeffaf iletken oksitler (ITO).
Mimarlık Camı: Enerji verimliliği için düşük emisyonlu (düşük E) kaplamalar.
Kişiselleştirme
Sistemlerimiz, yapılandırılabilir magnetron dizaynları, vakum pompalama sistemleri ve spesifik çökme gereksinimlerini karşılamak için süreç kontrol yazılımı ile modüler tasarımlar sunar.
Magnetron kaplama ekipmanı modeli (yüksekliği ≤ 1,3m)
Model
Aslan-0710
Aslan-1012
Aslan-1212
Aslan-1412
Aslan- 1612
Aslan- 1813
Vakum odası
F700×H1000mm
F1000×H1200mm
F1200×H1200mm
F1400×H1200mm
F1600×H1200mm
F1800×H1300mm
Uygulama
saat endüstrisi, 3C endüstrisi, sanitasyon cihazı endüstrisi, mücevher endüstrisi
Saat aksesuarları, cep telefonu aksesuarları, gözlük çerçevesi, giysi, dekoratif aydınlatma, sanitasyon malzemeleri, donanım çantası, cam, seramik ve plastik vb.
Kaplama filmi
Ti Altın, Gül Altın, Şampanya Altın, Japon Altın, Parlak Gümüş, Gökkuşağı, Mücevher Mavi, Gül Kırmızı, Siyah, vb.
Vakum
Dikey kapı yapısı, hava pompalama sistemi ve su soğutma sistemi ile donatılmıştır
veya Molekül Pompası (Müşterilerin gereksinimlerine göre özel model)
Vakum
1 set pirani, 1 set soğuk katot, 1 set diyafram ölçer
Tedarik Türü
DC gücü, MF gücü, darbeler gücü ((bias gücü, ark gücü)
En son
1.0- 6.0×10-4Pa, yüklemeden soğutma
Önyargı Gücü
20KW/1 set
20KW/1 set
20KW/1 set
30KW/1 set
40KW/1 set
60KW/1 set
Magnetron Güç kaynağı
1-2 set
1-2 set
2-3 set
2-3 set
3-4 set
3-4 set
Dönüşüm
Çeşitli eksenli frekans kontrolü ile gezegen (kontrol edilebilir ve ayarlanabilir)
Yemek pişirmek
Sıcaklık
Normal sıcaklık- Evet.300°C450'e kadar°C- Evet.600°CKontrol edilebilir ve ayarlanabilir ((PID sıcaklık kontrolü)
Gaz
Otomatik gaz ekleme sistemi ile eşleşen 3 veya 4 yönlü gaz akışı kontrolü ve görüntüleme sistemi
Ar, N2O.2,C2H2, vb.
Soğutma
Yöntem
Su soğutma dolaşımı, endüstriyel soğutma kulesi veya endüstriyel su soğutma makinesi ((soğutma makinesi) veya kriyojenik sistemle donatılır. ((müşteriler sağlar)
Kontrol etmek
El, yarı otomatik, otomatik, dokunmatik ekran işletim, PLC veya bilgisayar kontrollü
Hava basıncı
0.5-0.8MPa
Su
≤25°C ≥0.2MPa
Uyarı
Alarm sistemi, hidropeni, aşırı voltaj, devre kesilmesi gibi anormal bir durum olduğunda çalışır ve ilgili korumaları gerçekleştirir.
Toplam Güç
25 ~ 65KW
45 ~ 85KW
65 ~ 105KW
85 ~ 115KW
95~125KW
100~130KW
Çıkış
Voltaj 380V,frekans 50Hz ((Müşterilerin ulusal elektrik standardı olarak donatmak)
Mesleği
15~50m2
15~50m2
25~55m2
25~55m2
35~55m2
35~55m2
Not:
Müşterilerin gereksinimlerine göre özel makine tasarlayıp üretebilir, magnetron püskürtme hedefi, MF ikiz hedefi vb. ekleyebilir.