ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং একটি বহুমুখীফিজিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (PVD) কৌশল যা বিভিন্ন সাবস্ট্রেটের উপর উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এটি একটি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম চেম্বারে (চাপ < 10⁻³ Torr), একটি নিষ্ক্রিয় গ্যাস (যেমন, আর্গন) আয়নিত করে প্লাজমা তৈরি করে কাজ করে। প্লাজমা থেকে আসা শক্তিশালী আয়নগুলি একটি লক্ষ্যবস্তুকে আঘাত করে, পরমাণুগুলিকে বিচ্ছিন্ন করে যা তখন সাবস্ট্রেটের উপর একটি অভিন্ন, লেগে থাকা ফিল্ম হিসাবে জমা হয়। এই পদ্ধতিটি বিশেষত ধাতু, সংকর ধাতু, সিরামিক এবং যৌগিক পদার্থের জন্য উপযুক্ত, যা ফিল্মের গঠন এবং পুরুত্বের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ সরবরাহ করে।
মডেল
H1400
H1500
H1600
চেম্বার ব্যাস (মিমি)
1400
1500
1600
সর্বোচ্চ ওয়েব ব্যাস (মিমি)
600
700
700-750
বোট (পিস)
12
12
12~16
ওয়েব প্রস্থ (মিমি)
600~1250
600~1250
1050~1800
তার খাওয়ানোর গতি (মি/মিনিট)
0~5
0~5
0~5
কার্যকরী শক্তি (কিলোওয়াট)
80~150
90~180
100~200
উইন্ডিং গতি (মি/মিনিট)
100~400
100~500
100~500
অধিকৃত এলাকা (মি)
10*8*4.6
10*8*4.6
10*8*4.8
কার্যপ্রণালী
প্লাজমা তৈরি: একটি উচ্চ-ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র আর্গন গ্যাসকে আয়নিত করে, Ar⁺ আয়ন এবং ইলেকট্রন তৈরি করে।
চৌম্বকীয় সংযোজন: একটি চৌম্বক ক্ষেত্র (বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের লম্ব) লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠের কাছাকাছি ইলেকট্রনগুলিকে আটকে রাখে, আয়নাইজেশন দক্ষতা এবং প্লাজমা ঘনত্ব বৃদ্ধি করে।
স্পাটারিং প্রক্রিয়া: ত্বরান্বিত Ar⁺ আয়ন লক্ষ্যবস্তুকে আঘাত করে, পরমাণুগুলিকে বিচ্ছিন্ন করে যা সাবস্ট্রেটের দিকে ভ্রমণ করে এবং একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে। চৌম্বক ক্ষেত্র সাবস্ট্রেটের উপর ইলেকট্রন বোমাবর্ষণ কমিয়ে দেয়, তাপের ক্ষতি হ্রাস করে।
মূল সুবিধা
অভিন্নতা ও আনুগত্য: উচ্চ-শক্তি আয়ন বোমাবর্ষণের কারণে ব্যতিক্রমী পুরুত্বের অভিন্নতা (±5%) এবং শক্তিশালী সাবস্ট্রেট আনুগত্য সহ ফিল্ম তৈরি করে।
উপাদানের বহুমুখিতা: ধাতু (যেমন, Ti, Cu), সিরামিক (যেমন, SiO₂, Al₂O₃), এবং অর্ধপরিবাহীগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
নিম্ন-তাপমাত্রার জমা: প্লাস্টিক এবং পলিমারের মতো তাপ-সংবেদনশীল পদার্থের জন্য উপযুক্ত।
প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ: প্লাজমা প্যারামিটারের মাধ্যমে ফিল্মের বৈশিষ্ট্যগুলি (যেমন, পরিবাহিতা, কঠোরতা) সুনির্দিষ্টভাবে টিউন করার অনুমতি দেয়।
বহু-উপাদান আবরণ: সংকর ধাতু বা গ্রেডিয়েন্ট-স্তর উৎপাদনের জন্য একাধিক লক্ষ্যবস্তুর সহ-স্পাটারিং সমর্থন করে।
প্রয়োগ শিল্প
ইলেকট্রনিক্স: আইসি প্যাকেজিং, ডিসপ্লে প্যানেল এবং ফটোভোলটাইক সেল।
অপটিক্স: অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ কোটিং, আয়না এবং অপটিক্যাল ফিল্টার।
টুলিং: কাটিং টুল এবং ছাঁচের জন্য পরিধান-প্রতিরোধী আবরণ।
অটোমোটিভ: ট্রিম এবং উপাদানগুলিতে আলংকারিক এবং ক্ষয়-প্রতিরোধী ফিনিস।
চিকিৎসা: ইমপ্লান্ট এবং যন্ত্রপাতির জন্য বায়োকম্প্যাটিবল আবরণ।
আবরণ প্রভাব ও রঙ
পৃষ্ঠ ফিনিস: ধাতব দীপ্তি, ম্যাট টেক্সচার, বা টেক্সচার্ড প্যাটার্ন।
রঙের পরিসীমা: রূপালী, সোনালী, কালো, নীল এবং প্রতিক্রিয়াশীল স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে কাস্টম রঙ (যেমন, সোনালী ফিনিসের জন্য TiN)।
কাঠামোর প্রকারভেদ
প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন: বড়-ক্ষেত্রের জমা করার জন্য আদর্শ (যেমন, কাচ বা প্যানেল)।
রোটারি ম্যাগনেট্রন: নলাকার বা বাঁকা সাবস্ট্রেটের জন্য লক্ষ্যবস্তুর ব্যবহার এবং জমা করার হার বৃদ্ধি করে।
অसंतুলিত ম্যাগনেট্রন: ঘন, লেগে থাকা ফিল্মের জন্য উচ্চ আয়ন ঘনত্ব সহ প্লাজমা তৈরি করে।
সাবস্ট্রেট উপকরণ
প্লাস্টিক (ABS, PET, PC), কাচ, সিরামিক, ধাতু এবং কম্পোজিট।
আবরণ উপকরণ
ধাতু: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au।
সিরামিক: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄।
সংকর ধাতু: NiCr, TiAl, এবং সুপারঅ্যালয়।
সহায়ক উৎপাদন লাইন
এর সাথে একীভূত হয় পোস্ট-কোটিং প্রক্রিয়াযেমন ইউভি কিউরিং বা প্লাজমা ট্রিটমেন্ট উন্নত কার্যকারিতার জন্য।
ভোক্তা সামগ্রী
লক্ষ্যবস্তু উপকরণ (ধাতব/সিরামিক), আর্গন গ্যাস, এবং স্পাটারিং পাওয়ার সাপ্লাই।
অ্যাপ্লিকেশন
অপটিক্স: উচ্চ-প্রতিফলিত আয়না এবং অ্যান্টি-গ্লেয়ার কোটিং।
ইলেকট্রনিক্স: টাচস্ক্রিনের জন্য স্বচ্ছ পরিবাহী অক্সাইড (ITO)।
মহাকাশ: টারবাইন ব্লেডে তাপীয় বাধা আবরণ।
স্থাপত্য কাচ: শক্তি দক্ষতার জন্য লো-এমিটিভিটি (লো-ই) কোটিং।
কাস্টমাইজেশন
আমাদের সিস্টেমগুলি নির্দিষ্ট জমা করার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য কনফিগারযোগ্য ম্যাগনেট্রন অ্যারে, ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম এবং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ সফ্টওয়্যার সহ মডুলার ডিজাইন সরবরাহ করে।
ম্যাগনেট্রন কোটিং সরঞ্জাম মডেল (উচ্চতা ≤ 1.3 মি)
মডেল
Lion-0710
Lion-1012
Lion-1212
Lion-1412
Lion-1612
Lion-1813
ভ্যাকুয়াম চেম্বার
φ700×H1000mm
φ1000×H1200mm
φ1200×H1200mm
φ1400×H1200mm
φ1600×H1200mm
φ1800×H1300mm
অ্যাপ্লিকেশন
ঘড়ি শিল্প, 3C শিল্প, স্যানিটারি অ্যাপ্লায়েন্স শিল্প, গহনা শিল্প
ঘড়ির আনুষাঙ্গিক, মোবাইল ফোনের আনুষাঙ্গিক, চশমার ফ্রেম, পোশাক, আলংকারিক আলো, স্যানিটারি ওয়্যার, হার্ডওয়্যার স্যুটকেস, কাচ, সিরামিক এবং প্লাস্টিক, ইত্যাদি।