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मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग

प्रौद्योगिकी अवलोकन

कार्य सिद्धांत

• प्लाज्मा जनरेशन: एक उच्च-वोल्टेज विद्युत क्षेत्र आर्गन गैस को आयनित करता है, जिससे Ar⁺ आयन और इलेक्ट्रॉन उत्पन्न होते हैं।
• चुंबकीय परिरक्षण: एक चुंबकीय क्षेत्र (विद्युत क्षेत्र के लंबवत) लक्ष्य सतह के पास इलेक्ट्रॉनों को फँसाता है, जिससे आयनीकरण दक्षता और प्लाज्मा घनत्व बढ़ता है।
• स्पटरिंग प्रक्रिया: त्वरित Ar⁺ आयन लक्ष्य पर प्रहार करते हैं, जिससे परमाणु अलग हो जाते हैं जो सब्सट्रेट तक जाते हैं और एक पतली फिल्म बनाते हैं। चुंबकीय क्षेत्र सब्सट्रेट के इलेक्ट्रॉन बमबारी को कम करता है, जिससे गर्मी का नुकसान कम होता है।

मुख्य लाभ

1. एकरूपता और आसंजन: उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी के कारण असाधारण मोटाई एकरूपता (±5%) और मजबूत सब्सट्रेट आसंजन के साथ फिल्में बनाता है।
2. सामग्री बहुमुखी प्रतिभा: धातु (जैसे, Ti, Cu), सिरेमिक (जैसे, SiO₂, Al₂O₃) और अर्धचालक के साथ संगत।
3. कम तापमान जमाव: प्लास्टिक और पॉलिमर जैसी गर्मी के प्रति संवेदनशील सामग्रियों के लिए उपयुक्त।
4. प्रक्रिया नियंत्रण: प्लाज्मा मापदंडों के माध्यम से फिल्म गुणों (जैसे, चालकता, कठोरता) का सटीक ट्यूनिंग सक्षम करता है।
5. बहु-घटक कोटिंग्स: मिश्र धातु या ग्रेडिएंट-लेयर उत्पादन के लिए कई लक्ष्यों का सह-स्पटरिंग समर्थन करता है।

अनुप्रयुक्त उद्योग

• इलेक्ट्रॉनिक्स: आईसी पैकेजिंग, डिस्प्ले पैनल और फोटोवोल्टिक सेल।
• ऑप्टिक्स: एंटी-रिफ्लेक्टिव कोटिंग्स, दर्पण और ऑप्टिकल फिल्टर।
• टूलिंग: कटिंग टूल्स और मोल्ड के लिए पहनने के प्रतिरोधी कोटिंग्स।
• ऑटोमोटिव: ट्रिम और घटकों पर सजावटी और संक्षारण-प्रतिरोधी फिनिश।
• चिकित्सा: प्रत्यारोपण और उपकरणों के लिए बायोकोम्पैटिबल कोटिंग्स।

कोटिंग प्रभाव और रंग

• सतह खत्म: धातुई चमक, मैट बनावट, या बनावट वाले पैटर्न।
• रंग सीमा: चांदी, सोना, काला, नीला, और प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग के माध्यम से कस्टम रंग (जैसे, सोने जैसी फिनिश के लिए TiN)।

संरचना प्रकार

• प्लेनर मैग्नेट्रॉन: बड़े क्षेत्र जमाव (जैसे, कांच या पैनल) के लिए आदर्श।
• रोटरी मैग्नेट्रॉन: बेलनाकार या घुमावदार सब्सट्रेट के लिए लक्ष्य उपयोग और जमाव दर को बढ़ाता है।
• असंतुलित मैग्नेट्रॉन: घने, आसंजक फिल्मों के लिए उच्च आयन घनत्व के साथ प्लाज्मा उत्पन्न करता है।

सब्सट्रेट सामग्री

• प्लास्टिक (ABS, PET, PC), कांच, सिरेमिक, धातु और कंपोजिट।

कोटिंग सामग्री

• धातु: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au।
• सिरेमिक: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄।
• मिश्र धातु: NiCr, TiAl, और सुपरअलॉय।

उत्पादन लाइनों का समर्थन

• के साथ एकीकृत करता है पोस्ट-कोटिंग प्रक्रियाएंजैसे कि बेहतर कार्यक्षमता के लिए यूवी इलाज या प्लाज्मा उपचार।

उपभोग्य वस्तुएं

• लक्ष्य सामग्री (धात्विक/सिरेमिक), आर्गन गैस और स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति।

अनुप्रयोग

• ऑप्टिक्स: उच्च-परावर्तन दर्पण और एंटी-ग्लेयर कोटिंग्स।
• इलेक्ट्रॉनिक्स: टचस्क्रीन के लिए पारदर्शी प्रवाहकीय ऑक्साइड (ITO)।
• एयरोस्पेस: टरबाइन ब्लेड पर थर्मल बैरियर कोटिंग्स।
• आर्किटेक्चरल ग्लास: ऊर्जा दक्षता के लिए कम-उत्सर्जन (कम-ई) कोटिंग्स।

अनुकूलन