मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग सिस्टम
एक मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटर विभिन्न सब्सट्रेट पर मजबूत आसंजन के साथ समान, घनी फिल्मों को जमा करने के लिए उन्नत मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक का उपयोग करता है।यह औद्योगिक कोटिंग प्रणाली ऑटोमोबाइल हब के लिए आदर्श है, स्टेनलेस स्टील रसोई के बर्तन, और कई अन्य अनुप्रयोगों.
तकनीकी विनिर्देश तालिका
| मॉडल |
शेर-12515 |
शेर-1820 |
शेर-2323 |
शेर-2345 |
शेर-2368 |
| कक्ष का आकार (मिमी) |
D1250×H1500 |
D1800×H2000 |
D2300×H2300 |
D2300-2500×H4500 |
D2300-2500×H6800 |
| आर्क |
10 |
18 |
22 |
40-42 |
५८-६२ |
| आर्क पावर |
200A |
| पूर्वाग्रह शक्ति |
30KW--120KW |
| गैस |
Ar, N2, C2H2, O2 |
| शीतलन |
औद्योगिक शीतलन टॉवर, पानी के शीतलक या क्रायोजेनिक प्रणाली के साथ पानी शीतलन परिसंचरण |
| वैक्यूम सूचकांक |
निकालने का समय (बिना भार के ठंडी अवस्था में): वायुमंडल से 9.9×10−3Pa ≤10 मिनट तक |
| परम वैक्यूम |
5.0×10−4Pa से अधिक |
| दबाव बढ़ रहा है |
नई मशीन के लिए ठंडी स्थिति में हवा के रिसाव की दर ≤0.5Pa/h |
| व्यवसाय |
10 |
15 |
18 |
50 |
75 |
नोटःसभी विन्यास और आकार ग्राहक आवश्यकताओं और विशिष्ट उत्पाद प्रसंस्करण आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किए जाते हैं।
मुख्य लाभ
- असाधारण आसंजन के साथ समान, घनी फिल्मों का उत्पादन करता है
- पानी से ठंडा लक्ष्य विकिरण गर्मी उत्पादन को कम करता है
- वस्तुतः किसी भी धातु लक्ष्य सामग्री के साथ संगत
- आरएफ या एमएफ शक्ति का उपयोग करके गैर-चालक सामग्री को स्पटर करने में सक्षम
- उत्कृष्ट परत एकरूपता और चिकनी कोटिंग सतहें
प्रौद्योगिकी का अवलोकन
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग एक प्लाज्मा कोटिंग प्रक्रिया है जहां आयन निष्क्रिय गैस (आमतौर पर आर्गन) से भरे एक वैक्यूम कक्ष में लक्ष्य सतह पर बमबारी करते हैं।परिणामी प्लाज्मा लक्ष्य सामग्री के निष्कासन का कारण बनता है, लक्ष्य के सामने स्थित उत्पादों पर एक स्पटरित कोटिंग परत बनाने के लिए।
रंग अनुकूलन
हमारी प्रणाली सोने, गुलाब सोने, चांदी, इस्पात, निकल, कांस्य, एंथ्रासाइट और काले सहित विभिन्न धातु रंगों में कोटिंग प्रदान करती है। रंग संरचना जिरकोनियम, टाइटेनियम,नाइट्रोजन, कार्बन, ऑक्सीजन और अन्य धातुओं को अपने विशिष्ट बाजार की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए।
आवेदन
व्यापक रूप से घड़ी बैंड, घड़ी के मामले, गहने, स्मार्टफोन, इलेक्ट्रॉनिक्स, स्वच्छता उपकरण, गोल्फ हार्डवेयर, टेबलवेयर, सौंदर्य प्रसाधन और सजावटी कोटिंग्स के लिए उपयोग किया जाता है जिसमें TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN,और एफ कोटिंग्स.
तकनीकी विनिर्देश
फिल्म के प्रकार और अनुप्रयोग
| फिल्म प्रकार |
विशिष्ट अनुप्रयोग |
| धातु और मिश्र धातु फिल्म |
अर्धचालक इंटरकनेक्शन, इलेक्ट्रॉनिक उपकरण इलेक्ट्रोड |
| इन्सुलेटिंग फिल्म्स |
इलेक्ट्रॉनिक घटक पैकेजिंग, ऑप्टिकल उपकरण सब्सट्रेट |
| ऑप्टिकल फिल्म |
लेंस, डिस्प्ले, ऑप्टिकल फिल्टर |
| सजावटी एवं सुरक्षात्मक फिल्म |
आभूषण, हार्डवेयर, काटने के औजार और मोल्ड |
| कार्यात्मक कम्पोजिट फिल्म |
इलेक्ट्रॉनिक डिस्प्ले, चिकित्सा उपकरण, नई ऊर्जा उत्पाद |
उपकरण की विशेषताएं
पल्स पैरामीटर लचीलापन
विभिन्न लक्ष्य सामग्री और कोटिंग आवश्यकताओं के अनुकूल होने के लिए पल्स आवृत्ति, कार्य चक्र और पीक शक्ति का सटीक समायोजन। उच्च अंत मॉडल 150kHz तक पल्स आवृत्तियों को प्राप्त करते हैं।
सामग्री संगतता
धातु के लक्ष्यों (Ti, Al) और अछूता लक्ष्यों (Al2O3, TiO2) को द्विदिश पल्स या मध्यम आवृत्ति एसी मोड के माध्यम से संभालता है। निम्न तापमान प्रक्रिया डिजाइन गर्मी-संवेदनशील सब्सट्रेट को समायोजित करता है।
एकीकरण और खुफिया
एकीकृत वैक्यूम मैनिपुलेटर, ऑनलाइन फिल्म मोटाई निगरानी और निरंतर बहु-कक्ष उत्पादन के लिए स्वचालित संरेखण प्रणालियों से लैस।
प्रदर्शन लाभ
- फिल्म परत दोषों को काफी कम करता है
- लक्ष्य सामग्री का उपयोग 20% से 45% तक बढ़ाता है
- लक्ष्य सामग्री की खपत को 40% तक कम करता है
- दुर्लभ धातुओं की लागत में 30% की कमी
- 10nm/s तक की जमाव दर प्राप्त करता है
- यौगिक फिल्म जमाव के दौरान लक्ष्य विषाक्तता को रोकता है