マグネトロンスプッティングコーティングシステム
マグネトロンスプッターコーティングは,高度なマグネトロンスプッター技術を用いて,様々な基板に固執力のある均質で密度の高いフィルムを堆積する.この産業用コーティングシステムは,自動車ハブに最適ですステンレス鋼のキッチン用具など
技術仕様表
| モデル |
ライオン-12515 |
ライオン1820年 |
ライオン2323 |
ライオン2345 |
ライオン2368 |
| 部屋の大きさ (mm) |
D1250×H1500 |
D1800×H2000 |
D2300×H2300 |
D2300-2500 × H4500 |
D2300-2500 × H6800 |
| アーク |
10 |
18 |
22 |
40から42 |
58から62 |
| アークパワー |
200A |
| バイアスパワー |
30KW~120KW |
| ガス |
Ar,N2,C2H2,O2 |
| 冷却 |
産業用冷却塔,水冷却機,または冷凍システムによる冷却水循環 |
| バキューム インデックス |
抽出時間 (負荷なし冷たい状態):大気から9.9×10−3Pa ≤10分 |
| 究極の真空 |
5.0×10−4Pa以上 |
| 圧力 が 増える |
新しい機械の冷却状態の空気の漏れ率 ≤0.5Pa/h |
| 職業 |
10 |
15 |
18 |
50 |
75 |
注記:すべての構成とサイズは,顧客の要求や特定の製品加工ニーズに応じてカスタム製です.
主要 な 利点
- 均質で密度の高いフィルムを 特殊な粘着性で作る
- 水冷却対象は放射線熱発生を最小限に抑える
- ほぼすべての金属標的材料と互換性がある
- RFまたはMF電力を使って非伝導性物質を噴射する能力
- 優れた層均一性と滑らかなコーティング表面
テクノロジーの概要
マグネトロン噴射は,イオンが惰性ガス (典型的にはアルゴン) で満たされた真空室で標的表面を爆撃するプラズマコーティングプロセスである.結果として生成されるプラズマは 標的物質の噴射を引き起こします標的の前に置かれた製品にスプッターされたコーティング層を作成します.
カラー カスタマイズ
金,バラゴールド,銀,鋼,ニッケル,青銅,炭酸塩,黒など様々な金属色のコーティングを提供しています.窒素炭素,酸素,その他の金属を 特定の市場ニーズを満たすために
申請
腕時計帯,腕時計ケース,宝石,スマートフォン,電子機器,衛生用品,ゴルフ用具,食器,化粧品,TiN,TiC,TiCN,TiAlN,CrNを含む装飾用コーティングに使用されています.AFコーティング.
テクニカル仕様
フィルムの種類と用途
| フィルムタイプ |
典型的な用途 |
| メタル&合金フィルム |
半導体相互接続,電子装置の電極 |
| 隔熱フィルム |
電子部品のパッケージ,光学装置の基板 |
| オプティカルフィルム |
レンズ,ディスプレイ,光学フィルター |
| 装飾 保護 フィルム |
宝石,硬貨,切削道具,模具 |
| 機能的な複合フィルム |
電子ディスプレイ,医療機器,新しいエネルギー製品 |
設備の特徴
パルスパラメータの柔軟性
パルス周波数,作業サイクル,ピーク電力の正確な調整により,異なるターゲット材料とコーティング要件に適応します.ハイエンドモデルは150kHzまでのパルス周波数を達成します.
物質的相容性
金属標的 (Ti,Al) と隔熱標的 (Al2O3,TiO2) を両方向パルスまたは中周波ACモードで処理する.低温プロセスの設計は熱感受性のある基板に対応する.
統合とインテリジェンス
統合された真空操作器,オンラインフィルム厚さのモニタリング, 連続多室生産のための自動アライナメントシステムで装備されています
パフォーマンス・アドバンテージ
- フィルム層の欠陥を大幅に減らす
- ターゲット材料の利用率を20%から45%に増加させる
- 目標材料の消費量を40%削減する
- 希少金属のコストを30%削減
- 10nm/s までの堆積速度を達成する
- 複合フィルム堆積中に標的中毒を防ぐ