高精度DCマグネトロンスパッタリング装置、カスタマイズ可能なサイズと金属・ガラス用多層コーティング
DCマグネトロンスパッタ真空コーティングマシン
,マグネトロンスパッタコーティングマシン 高精度
,マグネトロンスパッタコーティングマシン 金属用
| 構成モデル | Lion-700-ION | Lion-1012-ION | Lion-1416-ION | Lion-1618-ION | Lion-1820-ION | Lion-2335-ION | Lion-2450-ION |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| チャンバーサイズ（MM） | D700*H700 | D1000*H1200 | D1400*H1600 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2300*H3500 | D2400*H5000 |
| 真空システム | 拡散ポンプ/分子ポンプ + ルーツポンプ + 二段直結ロータリーポンプ + 保圧ポンプ + クライオポンプ（オプション） 中国製真空ポンプまたはドイツ製真空ポンプ |
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| アーク電源 | 第8世代 4セット | 第8世代 8セット | 第8世代 14セット | 第8世代 20セット | 第8世代 22セット | 第8世代 36セット | 第8世代 52セット |
| アークカソード | 第8世代 4セット | 第8世代 8セット | 第8世代 14セット | 第8世代 20セット | 第8世代 22セット | 第8世代 36セット | 第8世代 52セット |
| バイアス電源 | 12kw | 20kw | 30kw | 40kw | 60kw | 80kw | 100kw |
| ガスMFCシステム | 全モデル共通 4ウェイ吸気システム | ||||||
| ベーキングシステム | 全モデル共通 最大300℃ | ||||||
| 制御システム | IPC + PLC + HMI フルオートメーション + リモート制御システム（オプション） | ||||||
| 到達真空度 | 全モデル共通 5.0×10⁻⁴ Pa | ||||||
| コーティングサイクルタイム | 約15～50分/サイクル（コーティング膜層数および製品要件による） | ||||||
| 配送コンテナサイズ | 1セット 20GP | 1セット 20GP | 1セット 40GP | 1セット 40HQ | 1セット 40HQ + 1セット 20GP | 1セット 20FR + 1セット 40GP | 1セット 20FR + 2セット 40HQ |
| 機械設置時間 | 7日間（エンジニア1名） | 7日間（エンジニア1名） | 7日間（エンジニア1名） | 10日間（エンジニア2名） | 10日間（エンジニア2名） | 15日間（エンジニア2名） | 20日間（エンジニア2名） |
- 真空ポンプ
- DCスパッタリングカソード（電源付き）
- アンバランススパッタリングカソード（電源付き）
- Oリング
- 真空計（ゲージ/センサー付き）
- バイアス電源
- 電磁弁
- MFC（マスフローコントローラー）
- ターゲット材
- カスタム治具
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