DC 마그네트론 스퍼터링 장비 - 진공 PVD 코팅 시스템
이 고정밀 DC 마그네트론 스퍼터링 장비는 금속 및 유리 기판에 대한 우수한 진공 PVD 코팅 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 합리적인 구조 설계, 균일한 코팅 분포, 우수한 품질 출력, 빠른 펌핑 속도, 짧은 사이클 시간, 높은 효율성, 쉬운 작동, 낮은 에너지 소비 및 안정적인 성능을 특징으로 합니다.
응용 분야
자동차, 오디오 장비, 소형 가전, 컴퓨터, 시계, 장난감, 휴대폰, 반사 컵, 화장품 및 다양한 소비재를 포함한 여러 산업 분야에서 널리 사용됩니다.
기판 호환성
플라스틱, 유리, 금속, 세라믹 등 다양한 기판에 직접 스퍼터링 코팅하기에 적합합니다.
기술 사양
| 구성 모델 |
Lion-700-ION |
Lion-1012-ION |
Lion-1416-ION |
Lion-1618-ION |
Lion-1820-ION |
Lion-2335-ION |
Lion-2450-ION |
| 챔버 크기 (MM) |
D700*H700 |
D1000*H1200 |
D1400*H1600 |
D1600*H1800 |
D1800*H2000 |
D2300*H3500 |
D2400*H5000 |
| 진공 시스템 |
확산 펌프/분자 펌프 + 로츠 펌프 + 2단 직접 구동 로터리 펌프 + 홀딩 펌프 + 극저온 펌프 (옵션) 중국산 또는 독일산 진공 펌프 |
| 아크 전원 공급 장치 |
8세대 4세트 |
8세대 8세트 |
8세대 14세트 |
8세대 20세트 |
8세대 22세트 |
8세대 36세트 |
8세대 52세트 |
| 아크 음극 |
8세대 4세트 |
8세대 8세트 |
8세대 14세트 |
8세대 20세트 |
8세대 22세트 |
8세대 36세트 |
8세대 52세트 |
| 바이어스 전원 공급 장치 |
12kw |
20kw |
30kw |
40kw |
60kw |
80kw |
100kw |
| 가스 MFC 시스템 |
모든 모델에 4방향 흡입 시스템 |
| 베이킹 시스템 |
모든 모델에 최대 300°C |
| 제어 시스템 |
IPC + PLC + HMI 완전 자동 + 원격 제어 시스템 (옵션) |
| 최종 진공 |
모든 모델에 5.0×10⁻⁴ Pa |
| 코팅 사이클 시간 |
사이클당 약 15~50분 (코팅 필름 층 및 제품 요구 사항에 따라 다름) |
| 배송 컨테이너 크기 |
1세트 20GP |
1세트 20GP |
1세트 40GP |
1세트 40HQ |
1세트 40HQ + 1세트 20GP |
1세트 20FR + 1세트 40GP |
1세트 20FR + 2세트 40HQ |
| 장비 설치 시간 |
7일 (엔지니어 1명) |
7일 (엔지니어 1명) |
7일 (엔지니어 1명) |
10일 (엔지니어 2명) |
10일 (엔지니어 2명) |
15일 (엔지니어 2명) |
20일 (엔지니어 2명) |
요청 시 맞춤형 크기 가능
산업 응용 분야
장식 코팅
다중 아크 이온 코팅 장비는 스테인리스 스틸 디스플레이 스탠드, 샤워 헤드, 손잡이, 배관 하드웨어, 시계, 식탁 용품, 휴대폰 금속 쉘, 유리 크리스탈 장식품 등 다양한 제품 코팅에 광범위하게 사용됩니다. 이 시스템은 티타늄 골드, 로즈 골드, 라이트 건, 커피 색상, 샴페인 골드, 건 블랙, 다크 블랙, 보석 라벤더 및 멀티 컬러 마감과 같은 다양한 색상의 장식 레이어를 적용하여 미적 매력과 시장 경쟁력을 향상시킵니다.
공구 및 산업 코팅
이 장비는 드릴, 탭, 고속 인서트 및 내마모성 베어링을 포함한 공구 응용 분야에서 중요한 역할을 합니다. 초경질 코팅을 적용함으로써 공구 표면 경도, 내마모성 및 내열성이 크게 향상되는 동시에 마찰 계수가 감소합니다. 이는 공구 수명을 연장하고, 가공 정밀도 및 효율성을 향상시키며, 생산 비용을 절감합니다.
사용 가능한 예비 부품 및 액세서리
- 진공 펌프
- DC 스퍼터링 음극 및 전원 공급 장치
- 비평형 스퍼터링 음극 및 전원 공급 장치
- O 링
- 진공 게이지/센서
- 바이어스 전원 공급 장치
- 솔레노이드 밸브
- MFC (질량 유량 제어기)
- 타겟 재료
- 맞춤형 지그