고증착율 및 우수한 박막 품질을 갖춘 산업용 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 장비 (광범위한 재료 호환성)
Reaction Sputtering Vacuum Coater
,Industrial Grade Sputtering Vacuum Coater
,Hardware Fittings Sputtering Vacuum Coater
| 제품 종류 | PVD 진공 코팅 기계 |
| 주요 용도 | 고급 하드웨어 및 스테인리스 스틸 부품 |
| 건축물 | 스테인리스 스틸 |
| 기계 종류 | 산업용 코팅 머신, 금속 코팅 머신 |
| 무게 범위 | 5~10톤 |
| 코팅 헤드 타입 | 다른 것 |
| 코팅 너비 | 맞춤형 |
- 높은 퇴적율:자기장은 더 빠른 스프터링을 위해 플라즈마 밀도를 증가시켜 전통적인 다이오드 스프터링의 저효율 문제를 해결합니다.
- 영화 품질:고밀도 필름을 생산하고 기질에 뛰어난 접착력과 예외적인 균일성을 제공합니다.
- 광범위한 재료 호환성:금속, 합금, 반도체, 단열물질 및 높은 녹는점의 재료로 작업
- 정밀 프로세스 제어:튜닝 힘, 가스 흐름, 압력, 기판 온도 등을 통해 필름 두께, 구성 및 미세 구조를 조정
- 낮은 오염:진공 환경 및 물리적 퇴적 과정은 필름의 화학 불순물을 최소화합니다.
- 진공 시스템:기계 펌프, 터보 분자 펌프 및 높은 진공을 유지하고 필름 오염을 방지하기 위해 진공 측정기를 포함합니다.
- 목표 집합:표적과 자기장을 생성하는 자기 집합으로 구성됩니다.
- 전원 공급:DC, RF 및 펄스 DC를 포함한 일반적인 유형으로 플라즈마 발생에 에너지를 제공합니다.
- 기판 보유자:필름의 균일성을 향상시키기 위해 선택적 회전 기능을 갖춘 고정 및 가열/냉각 기판
- 가스 제어 시스템:무활성 또는 반응성 가스 흐름 속도를 정확하게 조절하기 위해 질량 흐름 조절기를 사용합니다.
- 필름 두께 모니터:인시투 모니터로 필름 두께를 실시간으로 추적하여 공정 정확성을 보장합니다.
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