Industrielle Magnetron-Sputter-Vakuum-Beschichtungsanlage mit hoher Abscheidungsrate und überlegener Filmqualität für breite Materialkompatibilität
Reaction Sputtering Vacuum Coater
,Industrial Grade Sputtering Vacuum Coater
,Hardware Fittings Sputtering Vacuum Coater
| Produkttyp | PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine |
| Primäre Anwendungen | High-End-Hardware und Edelstahlteile |
| Konstruktionsmaterial | Edelstahl |
| Maschinentyp | Industrielle Beschichtungsmaschine, Metallbeschichtungsmaschine |
| Gewichtsbereich | 5-10 Tonnen |
| Beschichtungskopf-Typ | Andere |
| Beschichtungsbreite | Kundenspezifisch |
- Hohe Abscheidungsrate: Magnetfeld erhöht die Plasmazusammensetzung für schnelleres Sputtern und löst Probleme mit geringer Effizienz bei der traditionellen Dioden-Sputterung
- Überlegene Filmqualität: Erzeugt hochdichte Filme mit ausgezeichneter Haftung auf Substraten und außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit
- Breite Materialkompatibilität: Funktioniert mit Metallen, Legierungen, Halbleitern, Isolatoren und hochschmelzenden Materialien
- Präzise Prozesskontrolle: Passt Filmdicke, Zusammensetzung und Mikrostruktur durch Abstimmung von Leistung, Gasfluss, Druck und Substrattemperatur an
- Geringe Kontamination: Vakuumumgebung und physikalischer Abscheidungsprozess minimieren chemische Verunreinigungen in Filmen
- Vakuumsystem: Enthält mechanische Pumpe, Turbomolekularpumpe und Vakuummeter zur Aufrechterhaltung eines Hochvakuumzustands und zur Vermeidung von Filmkontamination
- Target-Baugruppe: Besteht aus Target und Magnetbaugruppe zur Erzeugung des Magnetfelds
- Stromversorgung: Liefert Energie für die Plasmaerzeugung mit gängigen Typen wie DC, RF und gepulstem DC
- Substrathalter: Fixiert und heizt/kühlt Substrate mit optionaler Rotationsfunktion zur Verbesserung der Filmgleichmäßigkeit
- Gasregelsystem: Verwendet Massendurchflussregler zur präzisen Steuerung von Inert- oder reaktiven Gasflüssen
- Filmdickenmonitor: In-situ-Monitore verfolgen die Filmdicke in Echtzeit, um die Prozessgenauigkeit zu gewährleisten
Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage für Mobiltelefon-Hardwareteile, kundenspezifisch für Kundenbedürfnisse, PVD-Beschichtungsmaschine
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