보석 시계 액세서리 진공 마그네트론 스프터링 플래팅 Pvd 스프터링 기계 스테인리스 스틸 Pvd 기계

마그네트론 스프터링

기술 개요

작동 원칙

• 플라즈마 생성: 고전압 전기장이 아르곤 가스를 이온화하여 Ar+ 이온과 전자를 생성합니다.
• 자기적 격리: 자기장 (전기장과 정사각형) 은 표적 표면 근처에 있는 전자를 포착하여 이온화 효율과 플라스마 밀도를 향상시킵니다.
• 스프터링 과정: 가속된 Ar+ 이온이 표적을 공격하여 기질로 이동하고 얇은 필름을 형성하는 원자를 제거합니다. 자기장은 기질에 대한 전자 폭격을 최소화하여 열 손상을 줄입니다..

주요 이점

1. 통일성 및 집착성: 고에너지 이온 폭격으로 인해 두께 균일성 (± 5%) 과 강한 기판 접착력을 가진 필름을 생산합니다.
2. 물질적 다양성: 금속 (예: Ti, Cu), 세라믹 (예: SiO2, Al2O3) 및 반도체와 호환된다.
3. 낮은 온도 의 퇴적: 플라스틱과 폴리머와 같은 열에 민감한 재료에 적합합니다.
4. 프로세스 제어: 플라즈마 매개 변수를 통해 필름 속성 (예를 들어, 전도성, 강도) 의 정확한 조정이 가능합니다.
5. 다중 구성요소 코팅: 합금이나 경사층 생산을 위한 여러 목표물의 공동 스프터링을 지원합니다.

응용 산업

• 전자제품: IC 패키지, 디스플레이 패널 및 태양 전지 전지.
• 광학: 반사 방지 코팅, 거울, 광적 필터
• 도구: 절단 도구와 폼을 위한 마모 저항성 코팅
• 자동차: 장식 및 부품의 부착 및 부품에 대한 부식 저항성 마감.
• 의학적: 임플란트와 악기용 생물 호환성 코팅.

코팅 효과와 색상

• 표면 가공: 금속 광택, 매트 질감 또는 질감 패턴.
• 색상 범위: 은, 금, 검은색, 파란색, 반응 스프터링을 통해 사용자 정의 색조 (예를 들어, 금과 같은 마무리을위한 TiN).

구조 유형

• 평면 자석: 넓은 면적 (예를 들어 유리 또는 패널) 의 퇴적에 이상적입니다.
• 로터리 마그네트론: 실린더 또는 곡선 기판의 목표 활용 및 퇴적 비율을 향상시킵니다.
• 불균형 자석: 밀도가 높고 붙는 필름을 위해 높은 이온 밀도를 가진 플라스마를 생성합니다.

기판 소재

• 플라스틱 (ABS, PET, PC), 유리, 세라믹, 금속, 복합재.

코팅 소재

• 금속: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au
• 세라믹: SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4
• 합금: NiCr, TiAl, 슈퍼 합금

지원 생산 라인

• 이 제품과포스트 코팅 프로세스자외선 완화나 플라즈마 치료 등이 기능성을 향상시킵니다.

소모품

• 대상 재료 (금속/세라믹), 아르곤 가스, 스프터링 전원 공급 장치.

신청서

• 광학: 반사력이 높은 거울과 반사 방지 코팅.
• 전자제품: 터치 스크린용 투명 전도성 산화물 (ITO)
• 항공우주: 터빈 블레이드 온도 차단 코팅.
• 건축 유리: 에너지 효율을 위한 저출력 (low-E) 코팅.

사용자 정의