Hubei Lion King Vacuum Technology Co., Ltd.
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ジュエリー 時計 アクセサリー 真空マグネトロンスパッタリングめっき PVDスパッタリングマシン ステンレス鋼 PVDマシン
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ジュエリー 時計 アクセサリー 真空マグネトロンスパッタリングめっき PVDスパッタリングマシン ステンレス鋼 PVDマシン

起源の場所 広東
ブランド名 Lion King
証明 CE
製品の詳細
応用:
光学的、装飾的、機能的
コーティング製品:
ガラス、金属、プラスチック、セラミックなど
コーティングの色:
金、銀、黒、青、緑など。
ターゲットサイズ:
カスタマイズ可能
ターゲット素材:
金属、合金、セラミック
コーティング技術:
マグネトロンスパッタリング
コーティング:
Tin、Tic、Ticn、Tialn、Crn、Cu、Au、DLC
材料:
ステンレス鋼
色のコーティング:
黒/青/赤
機械のサイズ:
カスタマイズ
コーティングの厚さ:
0.01-10ミクロン
真空システム:
高い真空
コーティングの均一性:
≤±5%
コーティングプロセス:
マグネトロンスパッタリング
電源:
DC/RF/AC
基板材料:
ガラス、金属、セラミック、プラスチック
基板サイズ:
カスタマイズ可能
コーティング構造:
単層、多層、勾配など。
制御システム:
PLC、タッチスクリーン、マニュアル
コーティング機器のサイズ:
カスタマイズ可能
コーティング材料:
金属、合金、セラミック、複合材料
コーティング方法:
マグネトロンスパッタリング
ハイライト: 

自動マグネトロンスパッタ真空コーティング機

,

ジュエリー用マグネトロンコーティング機

,

ジュエリーマグネトロンスパッタコーティング機

支払いと配送条件
最小注文数量
1
受渡し時間
20
製品説明

マグネトロンスパッタリング

技術概要

マグネトロンスパッタリングは、物理蒸着(PVD)技術であり、様々な基板に高品質な薄膜を成膜するために広く使用されています。これは、高真空チャンバー(圧力< 10⁻³ Torr)内で希ガス(例:アルゴン)をイオン化し、プラズマを生成することによって機能します。プラズマからの高エネルギーイオンがターゲット材料を衝撃し、原子を放出させ、それが基板上に均一で密着性の高い膜として堆積します。この方法は、金属、合金、セラミックス、複合材料に特に適しており、膜の組成と厚さを精密に制御できます。

動作原理

  • プラズマ生成: 高電圧電界がアルゴンガスをイオン化し、Ar⁺イオンと電子を生成します。
  • 磁気閉じ込め: 磁場(電界と直交)がターゲット表面付近の電子を閉じ込め、イオン化効率とプラズマ密度を高めます。
  • スパッタリングプロセス: 加速されたAr⁺イオンがターゲットに衝突し、原子をはじき出し、それが基板に移動して薄膜を形成します。磁場は、基板への電子の衝突を最小限に抑え、熱による損傷を軽減します。

主な利点

  1. 均一性と密着性: 高エネルギーイオン衝撃により、優れた膜厚均一性(±5%)と強力な基板密着性を実現します。
  2. 材料の多様性: 金属(例:Ti、Cu)、セラミックス(例:SiO₂、Al₂O₃)、半導体に対応しています。
  3. 低温成膜: プラスチックやポリマーなど、熱に弱い材料に適しています。
  4. プロセス制御: プラズマパラメータを介して、膜特性(例:導電性、硬度)を精密に調整できます。
  5. 多成分コーティング: 合金またはグラデーション層の生成のために、複数のターゲットの共スパッタリングをサポートします。

適用産業

  • エレクトロニクス: ICパッケージング、ディスプレイパネル、太陽電池。
  • 光学: 反射防止コーティング、ミラー、光学フィルター。
  • 工具: 切削工具や金型の耐摩耗性コーティング。
  • 自動車: トリムやコンポーネントの装飾および耐食性仕上げ。
  • 医療: インプラントや器具の生体適合性コーティング。

コーティング効果と色

  • 表面仕上げ: 金属光沢、マットテクスチャ、またはテクスチャパターン。
  • 色の範囲: 銀、金、黒、青、および反応性スパッタリングによるカスタム色合い(例:金色の仕上がりのTiN)。

構造タイプ

  • 平面マグネトロン: 大面積成膜に最適(例:ガラスまたはパネル)。
  • 回転マグネトロン: 円筒形または湾曲した基板のターゲット利用率と成膜速度を向上させます。
  • アンバランスマグネトロン: 高イオン密度のプラズマを生成し、高密度で密着性の高い膜を実現します。

基板材料

  • プラスチック(ABS、PET、PC)、ガラス、セラミックス、金属、複合材料。

コーティング材料

  • 金属:Ti、Cr、Ag、Al、Cu、Au。
  • セラミックス:SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、Si₃N₄。
  • 合金:NiCr、TiAl、および超合金。

サポートする生産ライン

  • UV硬化やプラズマ処理などの後処理プロセスと統合して、機能性を向上させます。

消耗品

  • ターゲット材料(金属/セラミック)、アルゴンガス、およびスパッタリング電源。

アプリケーション

  • 光学: 高反射ミラーと反射防止コーティング。
  • エレクトロニクス: タッチスクリーン用の透明導電性酸化物(ITO)。
  • 航空宇宙: タービンブレードの熱障壁コーティング。
  • 建築用ガラス: 省エネのための低放射率(low-E)コーティング。

カスタマイズ

当社のシステムは、特定の成膜要件を満たすために、構成可能なマグネトロンアレイ、真空ポンプシステム、およびプロセス制御ソフトウェアを備えたモジュール設計を提供しています。

 

 

マグネトロンコーティング装置モデル(高さ≤1.3m)
モデル
Lion-0710
Lion-1012
Lion-1212
Lion-1412
Lion-1612
Lion-1813
真空チャンバー
Φ700×H1000mm
Φ1000×H1200mm
Φ1200×H1200mm
Φ1400×H1200mm
Φ1600×H1200mm
Φ1800×H1300mm
アプリケーション
時計業界、3C業界、衛生器具業界、ジュエリー業界
時計アクセサリー、携帯電話アクセサリー、メガネフレーム、衣類、装飾照明、衛生陶器、ハードウェアスーツケース、ガラス、セラミック、プラスチックなど。
コーティング膜
Ti-Gold、ローズゴールド、シャンパンゴールド、ジャパニーズゴールド、ブライトシルバー、レインボー、ジュエリーブルー、ローズレッド、ブラックなど。
真空
垂直ドア構造、エアポンプシステムと水冷システムを装備
真空システム
サステイニングポンプ+メカニカルポンプ+ルーツポンプ+拡散ポンプ
または分子ポンプ(お客様の要件に応じた特定のモデル)
真空
1セットピラニ、1セット冷陰極、1セットダイヤフラムゲージ
供給タイプ
DC電源、MF電源、パルス電源(バイアス電源、アーク電源)
究極
1.0-6.0×10-4Pa、非負荷冷却
           
バイアス電源
20KW/1セット
20KW/1セット
20KW/1セット
30KW/1セット
40KW/1セット
60KW/1セット
マグネトロン電源
1〜2セット
1〜2セット
2〜3セット
2〜3セット
3〜4セット
3〜4セット
回転
周波数制御付き多軸プラネタリ(制御および調整可能)
ベーキング
温度
常温300から450 600制御および調整可能(PID温度制御)
ガス
3または4方向の作動ガス流量制御および表示システム、自動ガス添加システムと一致
Ar、N2、O2C2H2など。
冷却
方法
水冷循環、工業用冷却塔または工業用チラー(冷凍機)を装備、または極低温システム。(お客様が提供)
制御
手動、半自動、自動、タッチスクリーン操作、PLCまたはコンピュータ制御
空気圧
0.5-0.8MPa
≤25℃≥0.2MPa
警告
水不足、過電圧、回路の断線などの異常事態が発生した場合、警報システムが作動し、関連する保護を実行します。
総電力
25〜65KW
45〜85KW
65〜105KW
85〜115KW
95〜125KW
100〜130KW
出力
電圧380V、周波数50Hz(お客様の国の電気規格に準拠)
占有面積
15〜50m²
15〜50m²
25〜55m²
25〜55m²
35〜55m²
35〜55m²
備考
お客様の要件に応じて特殊な機械を設計および製造し、マグネトンスパッタリングターゲット、MFツインターゲットなどを追加できます。

いつでもお問い合わせください

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