Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
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品質 ジュエリー 時計 アクセサリー 真空マグネトロンスパッタリングめっき PVDスパッタリングマシン ステンレス鋼 PVDマシン 工場
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ジュエリー 時計 アクセサリー 真空マグネトロンスパッタリングめっき PVDスパッタリングマシン ステンレス鋼 PVDマシン

ジュエリー 時計 アクセサリー 真空マグネトロンスパッタリングめっき PVDスパッタリングマシン ステンレス鋼 PVDマシン
原産地:広東省肇慶市
ブランド名:Zhongda
認証:CE
最低注文数量:1
納期:20
タグ:

マグネトロン スパッタリング コーティング マシン

マグネトロンスパッタ真空蒸着システム

マグネトロンスパッタ真空コーター
製品の詳細
ハイライト:

自動マグネトロンスパッタ真空コーティング機

,

ジュエリー用マグネトロンコーティング機

,

ジュエリーマグネトロンスパッタコーティング機
Application: 光学的、装飾的、機能的
Coating Product: ガラス、金属、プラスチック、セラミックなど
Coating Color: 金、銀、黒、青、緑など。
Target Size: カスタマイズ可能
Target Material: 金属、合金、セラミック
Coating Technology: マグネトロンスパッタリング
Coatings: Tin、Tic、Ticn、Tialn、Crn、Cu、Au、DLC
Material: ステンレス鋼
Coating Colors: 黒/青/赤
Machine Size: カスタマイズ
Coating Thickness: 0.01-10ミクロン
Vacuum System: 高真空
Coating Uniformity: ±5%以下
Coating Process: マグネトロンスパッタリング
Power Supply: DC/RF/AC
Substrate Material: ガラス、金属、セラミック、プラスチック
Substrate Size: カスタマイズ可能
Coating Structure: 単層、多層、勾配など。
Control System: PLC、タッチスクリーン、マニュアル
Coating Equipment Size: カスタマイズ可能
Coating Material: 金属、合金、セラミック、複合材料
Coating Method: マグネトロンスパッタリング
製品説明
詳細な仕様と特徴

マグネトロンスパッタリング

技術概要

マグネトロンスパッタリングは、様々な基板上に高品質な薄膜を成膜するために広く使用されている汎用性の高い物理気相成膜（PVD）技術です。高真空チャンバー（圧力 < 10⁻³ Torr）内で貴ガス（例：アルゴン）をイオン化し、プラズマを生成します。プラズマからの高エネルギーイオンがターゲット材料を衝突し、原子を飛散させ、それが基板上に均一で密着性の高い膜として堆積します。この方法は、金属、合金、セラミックス、化合物材料に特に適しており、膜の組成と厚さを精密に制御できます。モデル
Lion-0710 H1500 H1600 チャンバー径（mm）
1400 1500 1600 最大ウェブ径（mm）
600 水 700-750 ボート（個）
12 12～16 12～16 ウェブ幅（mm）
600～1250 1050～1800 1050～1800 ワイヤー供給速度（m/min）
0～5 ワーキングパワー（Kw） ワーキングパワー（Kw） ワーキングパワー（Kw）
80～150 90～180 100～200 巻取り速度（m/min）
100～400 100～500 占有面積（m） 占有面積（m）
10*8*4.6 10*8*4.8 10*8*4.8 動作原理

プラズマ生成

  • ：高電圧電界によりアルゴンガスをイオン化し、Ar⁺イオンと電子を生成します。磁場閉じ込め
  • ：磁場（電界と直交）がターゲット表面近傍の電子を閉じ込め、イオン化効率とプラズマ密度を高めます。スパッタリングプロセス
  • ：加速されたAr⁺イオンがターゲットに衝突し、原子を飛散させ、基板に到達して薄膜を形成します。磁場は基板への電子衝突を最小限に抑え、熱ダメージを低減します。主な利点

均一性と密着性

  1. ：高エネルギーイオン衝突により、優れた膜厚均一性（±5%）と高い基板密着性を実現します。材料の汎用性
  2. ：金属（例：Ti、Cu）、セラミックス（例：SiO₂、Al₂O₃）、半導体に対応します。低温成膜
  3. ：プラスチックやポリマーなどの熱に弱い材料に適しています。プロセス制御
  4. ：プラズマパラメータにより、膜特性（例：導電率、硬度）を精密に調整できます。多成分コーティング
  5. ：合金やグラデーション層の製造のために、複数のターゲットの同時スパッタリングをサポートします。応用産業

エレクトロニクス

  • ：タッチスクリーンのための透明導電性酸化物（ITO）。光学
  • ：高反射ミラーおよび反射防止コーティング。工具
  • ：切削工具や金型用の耐摩耗性コーティング。自動車
  • ：トリムや部品の装飾用および耐食性仕上げ。医療
  • ：インプラントや医療機器用の生体適合性コーティング。コーティング効果と色

表面仕上げ

  • ：金属光沢、マットな質感、またはテクスチャ加工。色範囲
  • ：銀、金、黒、青、および反応性スパッタリングによるカスタム色合い（例：金色の仕上げのためのTiN）。構造タイプ

平面マグネトロン

  • ：大面積成膜（例：ガラスまたはパネル）に最適です。回転マグネトロン
  • ：円筒形または湾曲した基板のターゲット利用率と成膜速度を向上させます。非平衡マグネトロン
  • ：高密度の密着性のある膜のために、高イオン密度のプラズマを生成します。基板材料

プラスチック（ABS、PET、PC）、ガラス、セラミックス、金属、複合材料。

  • コーティング材料

金属：Ti、Cr、Ag、Al、Cu、Au。

  • セラミックス：SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、Si₃N₄。
  • 合金：NiCr、TiAl、超合金。
  • 生産ラインサポート

UV硬化やプラズマ処理などの

  • 後処理と統合し、機能性を向上させます。消耗品

ターゲット材料（金属/セラミック）、アルゴンガス、スパッタリング電源。

  • 用途

光学

  • ：高反射ミラーおよび反射防止コーティング。エレクトロニクス
  • ：タッチスクリーンのための透明導電性酸化物（ITO）。航空宇宙
  • ：タービンブレードの熱障壁コーティング。建築用ガラス
  • ：エネルギー効率のための低放射率（low-E）コーティング。カスタマイズ

当社のシステムは、特定の成膜要件を満たすために、構成可能なマグネトロンアレイ、真空ポンプシステム、プロセス制御ソフトウェアを備えたモジュラー設計を提供します。

マグネトロンコーティング装置モデル（高さ≤1.3m）



モデル
Lion-0710
Lion-1012
φ1400×H1200mmLion-1412
φ1400×H1200mmLion-1813
φ1400×H1200mmφ700×H1000mm
φ1400×H1200mmφ1200×H1200mm
φ1400×H1200mmφ1600×H1200mm
φ1800×H1300mm
用途
時計業界、3C業界、衛生陶器業界、宝飾品業界
時計部品、携帯電話アクセサリー、メガネフレーム、衣類、装飾照明、衛生陶器、ハードウェアスーツケース、ガラス、セラミックおよびプラスチックなど
コーティング膜
Ti-ゴールド、ローズゴールド、シャンパンゴールド、日本ゴールド、ブライトシルバー、レインボー、ジュエリーブルー、ローズレッド、ブラックなど
真空
垂直ドア構造、エアポンプシステムと水冷システムを装備
真空システム
維持ポンプ＋メカニカルポンプ＋ルーツポンプ＋拡散ポンプ
または分子ポンプ（顧客の要件に応じた特定モデル）
真空計
バイアス電源
供給タイプ
DC電源、MF電源、パルス電源（バイアス電源、アーク電源）
到達真空度
1.0-6.0×10⁻⁴Pa、非ロード冷却
バイアス電源
20KW/1セット
20KW/1セット
20KW/1セット
30KW/1セット
40KW/1セット






60KW/1セット
1-2セット
1-2セット
1-2セット
2-3セット
2-3セット
3-4セット
3-4セット
多軸プラネタリー（周波数制御付き）（制御・調整可能）
多軸プラネタリー（周波数制御付き）（制御・調整可能）
温度
温度
～450℃
～450℃
～600℃（PID温度制御）
ガス
3または4系統のワーキングガス流量制御および表示システム、自動ガス供給システムと連動
Ar、N₂、O₂、C₂H₂など
冷却0.5-0.8MPa水冷循環、工業用冷却塔または工業用水チラー（冷凍機）、またはクライオシステムを装備（顧客提供）≤25℃ ≥0.2MPa手動、半自動、自動、タッチスクリーン操作、PLCまたはコンピュータ制御≤25℃ ≥0.2MPa 0.5-0.8MPa水≤25℃ ≥0.2MPa警告
水不足、過電圧、断線などの異常発生時に警報システムが作動し、関連する保護を行います
総電力
25～65KW占有面積65～105KW占有面積95～125KW100～130KW占有面積電圧380V、周波数50Hz（顧客の国の電力基準に合わせて装備）占有面積15～50m²
15～50m²
25～55m²
25～55m²
35～55m²
35～55m²
備考
顧客の要求に応じて特殊機械を設計・製造可能、マグネトロンスパッタリングターゲット、MFツインターゲットなどを追加可能。
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