Magnetron Püskürtme Kaplama Sistemi
Bir magnetron püskürtmeli kaplayıcı, çeşitli alt tabakalara güçlü yapışma ile tekdüze, yoğun filmleri biriktirmek için gelişmiş magnetron püskürtme teknolojisini kullanır. Bu endüstriyel kaplama sistemi otomotiv göbekleri, paslanmaz çelik mutfak eşyaları ve diğer birçok uygulama için idealdir.
Teknik Özellikler Tablosu
| Modeli |
Aslan-12515 |
Aslan-1820 |
Aslan-2323 |
Aslan-2345 |
Aslan-2368 |
| Hazne Boyutu (mm) |
D1250×H1500 |
D1800×H2000 |
D2300×H2300 |
D2300-2500×H4500 |
D2300-2500×H6800 |
| Yay |
10 |
18 |
22 |
40-42 |
58-62 |
| Ark Gücü |
200A |
| Önyargı Gücü |
30KW--120KW |
| Gaz |
Ar, N₂, C₂H₂, O₂ |
| Soğutma |
Endüstriyel soğutma kulesi, su soğutucu veya kriyojenik sistem ile su soğutma sirkülasyonu |
| Vakum Endeksi |
Ekstraksiyon süresi (yüksüz soğuk durum): atmosferden 9,9×10⁻³Pa ≤10 dakikaya kadar |
| Üstün Vakum |
5,0×10⁻⁴Pa'dan üstün |
| Basınç Yükseliyor |
Yeni makine soğuk durum hava sızıntısı oranı ≤0.5Pa/h |
| Meslek |
10 |
15 |
18 |
50 |
75 |
Not:Tüm konfigürasyonlar ve boyutlar, müşteri gereksinimlerine ve özel ürün işleme ihtiyaçlarına göre özel olarak üretilir.
Temel Avantajlar
- Olağanüstü yapışma özelliğine sahip, düzgün, yoğun filmler üretir
- Su soğutmalı hedef, radyasyon ısısı oluşumunu en aza indirir
- Neredeyse tüm metalik hedef malzemelerle uyumlu
- RF veya MF gücü kullanarak iletken olmayan malzemeleri püskürtme yeteneği
- Mükemmel katman bütünlüğü ve pürüzsüz kaplama yüzeyleri
Teknolojiye Genel Bakış
Magnetron püskürtme, iyonların hedef yüzeyi inert gazla (tipik olarak argon) dolu bir vakum odasında bombaladığı bir plazma kaplama işlemidir. Ortaya çıkan plazma, hedef malzemenin fırlatılmasına neden olarak hedefin önüne yerleştirilen ürünler üzerinde püskürtmeli bir kaplama tabakası oluşturur.
Renk Özelleştirme
Sistemimiz altın, gül altın, gümüş, çelik, nikel, bronz, antrasit ve siyah gibi çeşitli metal renklerinde kaplamalar sunmaktadır. Renk kompozisyonunda, spesifik pazar gereksinimlerinizi karşılamak üzere zirkonyum, titanyum, nitrojen, karbon, oksijen ve diğer metaller kullanılarak ince ayar yapılabilir.
Uygulamalar
Saat kayışları, saat kasaları, mücevherler, akıllı telefonlar, elektronik cihazlar, sıhhi tesisat, golf malzemeleri, sofra takımları, kozmetik ürünleri ve TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN ve AF kaplamalar dahil olmak üzere dekoratif kaplamalar için yaygın olarak kullanılır.
Teknik Özellikler
Film Türleri ve Uygulamaları
| Film Türü |
Tipik Uygulamalar |
| Metal ve Alaşım Filmleri |
Yarı iletken ara bağlantılar, elektronik cihaz elektrotları |
| Yalıtım Filmleri |
Elektronik bileşen ambalajı, optik cihaz yüzeyleri |
| Optik Filmler |
Lensler, ekranlar, optik filtreler |
| Dekoratif & Koruyucu Filmler |
Takı, hırdavat, kesici aletler ve kalıplar |
| Fonksiyonel Kompozit Filmler |
Elektronik ekranlar, tıbbi cihazlar, yeni enerji ürünleri |
Ekipman Özellikleri
Darbe Parametresi Esnekliği
Farklı hedef malzemelere ve kaplama gereksinimlerine uyum sağlamak için darbe frekansının, görev döngüsünün ve tepe gücünün hassas şekilde ayarlanması. Üst düzey modeller 150 kHz'e kadar darbe frekanslarına ulaşır.
Malzeme Uyumluluğu
Çift yönlü darbe veya orta frekanslı AC modları aracılığıyla metal hedefleri (Ti, Al) ve yalıtım hedeflerini (Al₂O₃, TiO₂) yönetir. Düşük sıcaklık proses tasarımı, ısıya duyarlı alt tabakaları barındırır.
Entegrasyon ve İstihbarat
Sürekli çok bölmeli üretim için entegre vakum manipülatörleri, çevrimiçi film kalınlığı izleme ve otomatik hizalama sistemleriyle donatılmıştır.
Performans Avantajları
- Film tabakası kusurlarını önemli ölçüde azaltır
- Hedef malzeme kullanımını %20'den %45'e çıkarır
- Hedef malzeme tüketimini %40 azaltır
- Nadir metal maliyetlerini %30 azaltır
- 10 nm/s'ye kadar biriktirme hızlarına ulaşır
- Bileşik film biriktirme sırasında hedef zehirlenmesini önler