Sistem Lapisan Magnetron Sputtering
Sebuah magnetron sputtering coater memanfaatkan teknologi magnetron sputtering canggih untuk mendepositkan film seragam, padat dengan adhesi yang kuat pada berbagai substrat.Sistem pelapis industri ini sangat cocok untuk hub otomotif, peralatan dapur stainless steel, dan banyak aplikasi lainnya.
Keuntungan Utama
- Membuat film yang seragam, padat dengan perekat yang luar biasa
- Sasaran yang didinginkan air meminimalkan produksi panas radiasi
- Kompatibel dengan hampir semua bahan target logam
- Berkapasitas untuk menyemprotkan bahan tidak konduktif dengan menggunakan daya RF atau MF
- Keseragaman lapisan yang sangat baik dan permukaan pelapis yang halus
Tinjauan Teknologi
Magnetron sputtering adalah proses lapisan plasma di mana ion membom permukaan target dalam ruang vakum yang diisi dengan gas inert (biasanya argon).Plasma yang dihasilkan menyebabkan material target diekskresikan, menciptakan lapisan pelapis yang disemprotkan pada produk yang diposisikan di depan target.
Penyesuaian Warna
Sistem kami menawarkan pelapis dalam berbagai warna logam termasuk emas, emas mawar, perak, baja, nikel, perunggu, anthracite, dan hitam.nitrogen, karbon, oksigen, dan logam lainnya untuk memenuhi kebutuhan pasar khusus Anda.
Aplikasi
Digunakan secara luas untuk gelang jam tangan, casing jam tangan, perhiasan, smartphone, elektronik, peralatan sanitasi, perlengkapan golf, peralatan meja, kosmetik, dan lapisan dekoratif termasuk TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN,dan lapisan AF.
Spesifikasi Teknis
Prinsip Kerja
Lapisan penyemprotan magnetron vakum melibatkan partikel bermuatan yang membombardir permukaan target dalam medan elektromagnetik ortogonal, menyebabkan partikel target melarikan diri dan menumpuk pada benda kerja.
Sifat-sifat inti
- Film kepadatan tinggi dengan adhesi yang kuat
- Kemampuan mengulangi proses yang sangat baik
- Berbagai pilihan bahan target
- Pilihan warna yang kaya
- Aplikasi yang kuat di berbagai bahan
Substrat & Bahan yang Kompatibel
Bekerja dengan plastik, keramik, kaca, baja tahan karat, dan dapat menyimpan berbagai logam, nonmetal, dan oksida.
Jenis Film & Aplikasi
| Jenis film |
Aplikasi Tipikal |
| Film logam & paduan |
Interkoneksi semikonduktor, elektroda perangkat elektronik |
| Film Isolasi |
Kemasan komponen elektronik, substrat perangkat optik |
| Film optik |
Lensa, layar, filter optik |
| Film Dekoratif & Pelindung |
Perhiasan, hardware, alat pemotong dan cetakan |
| Film Komposit Fungsional |
Tampilan elektronik, peralatan medis, produk energi baru |
Fitur Peralatan
Fleksibilitas Parameter Pulsa
Pengaturan frekuensi pulsa yang tepat, siklus kerja, dan daya puncak untuk beradaptasi dengan bahan target dan persyaratan pelapis yang berbeda.
Kompatibilitas Materi
Menangani target logam (Ti, Al) dan target isolasi (Al2O3, TiO2) melalui mode pulsa bidirectional atau AC frekuensi menengah.
Integrasi & Intelijen
Dilengkapi dengan manipulator vakum terintegrasi, pemantauan ketebalan film online, dan sistem penyelarasan otomatis untuk produksi multi-kamar terus menerus.
Keuntungan Kinerja
- Secara signifikan mengurangi cacat lapisan film
- Meningkatkan pemanfaatan bahan target dari 20% menjadi 45%
- Mengurangi konsumsi bahan target sebesar 40%
- Mengurangi biaya logam langka sebesar 30%
- Mencapai kecepatan deposisi hingga 10nm/s
- Mencegah keracunan target selama deposisi film senyawa
Tabel Spesifikasi Teknis
| Model |
IF-12515 |
MAIF-1820 |
MAIF-2323 |
MAT-2345 |
MAT1-2368 |
| Ukuran ruangan (mm) |
D1250 × H1500 |
D1800 × H2000 |
D2300 × H2300 |
D2300-2500 × H4500 |
D2300-2500 × H6800 |
| Arc |
10 |
18 |
22 |
40-42 |
58-62 |
| Kekuatan Arc |
200A |
| Kekuatan bias |
30KW-120KW |
| Gas |
Ar, N2, C2H2, O2 |
| Pendinginan |
Sirkulasi pendingin air dengan menara pendingin industri, pendingin air atau sistem kriogenik |
| Indeks vakum |
Waktu ekstraksi (tidak ada kondisi dingin beban): dari atmosfer hingga 9,9 × 10−3Pa ≤10min |
| Vakum Utama |
Lebih tinggi dari 5,0 × 10−4Pa |
| Tekanan Meningkat |
Tingkat kebocoran udara pada mesin baru pada kondisi dingin ≤ 0,5Pa/jam |
| Pekerjaan |
10 |
15 |
18 |
50 |
75 |
Catatan:Semua konfigurasi dan ukuran dibuat sesuai dengan kebutuhan pelanggan dan kebutuhan pengolahan produk tertentu.