Sistema di rivestimento con sputtering magnetronico
Un rivestimento a sputtering magnetron utilizza una tecnologia avanzata di sputtering magnetron per depositare film densi e uniformi con una forte adesione su vari substrati.Questo sistema di rivestimento industriale è ideale per i nodi automobilistici, utensili da cucina in acciaio inossidabile e numerose altre applicazioni.
Tabella delle specifiche tecniche
| Modello |
Leone-12515 |
Leone-1820 |
Leone-2323 |
Leone-2345 |
Leone-2368 |
| Dimensione della camera (mm) |
D1250 × H1500 |
D1800×H2000 |
D2300 × H2300 |
D2300-2500 × H4500 |
D2300-2500×H6800 |
| Arco |
10 |
18 |
22 |
40-42 |
58-62 |
| Potenza di arco |
200A |
| Potenza di Bias |
30 kW-120 kW |
| Gas |
Ar, N2, C2H2, O2 |
| Frigorifero |
Circolazione dell'acqua di raffreddamento con torre di raffreddamento industriale, frigorifero o sistema criogenico |
| Indice di vuoto |
Tempo di estrazione (stato freddo senza carico): dall'atmosfera a 9,9×10−3Pa ≤10min |
| Il vuoto finale |
Superiore a 5,0 × 10−4 Pa |
| Cresce la pressione |
Tasso di perdita di aria allo stato freddo della nuova macchina ≤ 0,5 Pa/h |
| Occupazione |
10 |
15 |
18 |
50 |
75 |
Nota:Tutte le configurazioni e le dimensioni sono realizzate su misura in base alle esigenze del cliente e alle esigenze specifiche di lavorazione del prodotto.
Principali vantaggi
- Produce pellicole uniformi e dense con un'aderenza eccezionale
- Il bersaglio raffreddato ad acqua riduce al minimo la generazione di calore da radiazioni
- Compattibile con praticamente tutti i materiali metallici bersaglio
- Capaci di sputtere materiali non conduttivi utilizzando potenza RF o MF
- Eccellente uniformità dello strato e superfici lisce
Visualizzazione della tecnologia
Lo sputtering magnetron è un processo di rivestimento plasmatico in cui gli ioni bombardano la superficie bersaglio in una camera vuoto piena di gas inerte (tipicamente argon).Il plasma risultante causa l' espulsione del materiale bersaglio., creando uno strato di rivestimento sputterato sui prodotti posizionati di fronte al bersaglio.
Personalizzazione del colore
Il nostro sistema offre rivestimenti in vari colori metallici tra cui oro, oro rosa, argento, acciaio, nichel, bronzo, antracita e nero.azoto, carbonio, ossigeno e altri metalli per soddisfare le esigenze specifiche del mercato.
Applicazioni
Ampiamente utilizzato per cinturini, custodie, gioielli, smartphone, elettronica, articoli igienici, attrezzature per il golf, stoviglie, cosmetici e rivestimenti decorativi tra cui TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN,e rivestimenti AF.
Specifiche tecniche
Tipi di pellicola e applicazioni
| Tipo di film |
Applicazioni tipiche |
| Film di metalli e leghe |
Altri apparecchi per la trasmissione elettronica |
| Film isolanti |
Imballaggi di componenti elettronici, substrati di dispositivi ottici |
| Filmi ottici |
Lenti, schermi, filtri ottici |
| Film decorativi e protettivi |
Gioielli, ferramenta, utensili da taglio e stampi |
| Film compositi funzionali |
Display elettronici, dispositivi medici, nuovi prodotti energetici |
Caratteristiche dell'attrezzatura
Flessibilità del parametro di impulso
Regolazione precisa della frequenza d'impulso, del ciclo di lavoro e della potenza di picco per adattarsi a diversi materiali bersaglio e requisiti di rivestimento.
Compatibilità materiale
Gestisce bersagli metallici (Ti, Al) e bersagli isolanti (Al2O3, TiO2) tramite impulsi bidirezionali o modalità AC a media frequenza.
Integrazione e intelligenza
Equipaggiato con manipolatori di vuoto integrati, monitoraggio online dello spessore della pellicola e sistemi di allineamento automatico per la produzione continua multi-camera.
Vantaggi di prestazione
- Riduce significativamente i difetti dello strato di pellicola
- Aumenta l'utilizzo del materiale bersaglio dal 20% al 45%
- Riduce del 40% il consumo di materiali bersaglio
- Riduce i costi dei metalli rari del 30%
- Raggiunge velocità di deposizione fino a 10nm/s
- Previene l' avvelenamento del bersaglio durante la deposizione del film composto