उन्नत कोटिंग प्रणाली, जो प्लाज्मा बमबारी को बढ़ाने और विभिन्न सब्सट्रेट सामग्रियों में बेहतर फिल्म एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए चुंबकीय क्षेत्र की बाधाओं का उपयोग करती है।
प्रौद्योगिकी का अवलोकन
आरएफ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण आरएफ बिजली आपूर्ति (आमतौर पर 13.56MHz) के साथ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग तकनीक का उपयोग करता है।प्रणाली प्लाज्मा उत्पन्न करने के लिए रेडियो आवृत्ति विद्युत क्षेत्रों के माध्यम से आर्गन जैसे निष्क्रिय गैसों को आयनित करती हैचुंबकीय क्षेत्र की बाधाओं के तहत, प्लाज्मा लक्ष्य सामग्री की सतह पर बमबारी करता है, जिससे परमाणु या अणु भाग जाते हैं और सब्सट्रेट सतहों पर समान रूप से जमा होते हैं।
प्रमुख विशेषताएं
असाधारण सामग्री अनुकूलनशीलता - प्रवाहकीय उपचार की आवश्यकता के बिना कंडक्टरों, अर्धचालकों और इन्सुलेटर्स को स्पटर करने में सक्षम
कम सब्सट्रेट तापमान के साथ कोमल कोटिंग प्रक्रिया प्लास्टिक और पॉलिमर सहित गर्मी संवेदनशील सब्सट्रेट को नुकसान को कम करती है
सटीक मोटाई, संरचना और संरचना प्रबंधन के लिए शक्ति, दबाव और समय सहित समायोज्य मापदंडों के माध्यम से सटीक फिल्म नियंत्रण
प्रदर्शन लाभ
उच्च घनत्व, कम दोष दर और उत्कृष्ट सब्सट्रेट आसंजन के साथ बेहतर फिल्म गुणवत्ता
औद्योगिक बैच प्रसंस्करण के लिए उपयुक्त स्थिर स्पटरिंग दर और उच्च उत्पादन दक्षता
पर्यावरण के अनुकूल संचालन, केवल निष्क्रिय गैसों का उपयोग करते हुए, रसायनिक अभिकर्मकों के बिना, हरित उत्पादन मानकों को पूरा करते हुए
औद्योगिक अनुप्रयोग
इलेक्ट्रॉनिक्स और अर्धचालक
अर्धचालक चिप्स, एकीकृत सर्किट और डिस्प्ले पैनलों के लिए इलेक्ट्रोड और इन्सुलेटिंग फिल्म
ऑप्टिकल सिस्टम
लेंस, ऑप्टिकल उपकरण और फोटोवोल्टिक मॉड्यूल के लिए प्रतिबिंब विरोधी, प्रतिबिंबित और फ़िल्टर फिल्म
औद्योगिक एवं सजावटी
काटने के औजारों, मोल्ड, हार्डवेयर घटकों और वास्तुशिल्प कांच के लिए पहनने के प्रतिरोधी, संक्षारण प्रतिरोधी और सजावटी कोटिंग