Anpassbare PVD-Beschichtungsmaschine mit Zielgröße
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Produktbeschreibung
Maschine zur Vakuumbeschichtung mit Magnetronspritzer
Ein fortschrittliches Beschichtungssystem, das magnetische Feldbeschränkungen nutzt, um die Plasmabombardierung zu verbessern und eine überlegene Filmgleichheit in verschiedenen Substratmaterialien sicherzustellen.
Technologieübersicht
Die RF-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage verwendet eine Magnetron-Sputter-Technologie mit HF-Stromversorgung (normalerweise 13,56 MHz).Das System ionisiert inerte Gase wie Argon durch radiofrequente elektrische Felder, um Plasma zu erzeugenUnter Magnetfeldbeschränkungen bombardiert das Plasma die Zielmaterialoberfläche, wodurch Atome oder Moleküle entfliehen und sich gleichmäßig auf Substratoberflächen ablagern.
Wesentliche Merkmale
Außergewöhnliche Materialanpassungsfähigkeit - in der Lage, Leiter, Halbleiter und Isolatoren zu sprühen, ohne dass eine leitfähige Behandlung erforderlich ist
Ein sanfter Beschichtungsprozess mit niedriger Substrattemperatur minimiert Schäden an wärmeempfindlichen Substraten, einschließlich Kunststoffen und Polymeren
Präzise Filmkontrolle durch einstellbare Parameter einschließlich Leistung, Druck und Zeit für eine genaue Dicke, Zusammensetzung und Strukturmanagement
Leistungsvorteile
Überlegene Filmqualität mit hoher Dichte, geringer Defektquote und ausgezeichneter Substratadhäsion
Stabile Sputterraten und hohe Produktionseffizienz geeignet für die industrielle Chargenverarbeitung
Umweltschonender Betrieb mit ausschließlich inerten Gasen ohne chemische Reagenzien, der den Normen der grünen Produktion entspricht
Industrieanwendungen
Elektronik und Halbleiter
Elektroden und Isolierfolien für Halbleiterchips, integrierte Schaltungen und Display-Panels
Optische Systeme
Antireflexive, reflektierende und Filterfolien für Linsen, optische Instrumente und Photovoltaikmodule
Industrie und Dekoration
Verschleiß-, Korrosions- und Dekorationsbeschichtungen für Schneidwerkzeuge, Formen, Hardwarekomponenten und Architekturglas
Neue Energietechnologien
Lithiumbatterieelektrodenfolien, Katalysatorschichten für Brennstoffzellen und Beschichtungen für Solarzellen