Anpassbare PVD-Beschichtungsmaschine mit Zielgröße
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Produktbeschreibung
Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschine
Fortschrittliches Beschichtungssystem, das Magnetfeldbeschränkungen nutzt, um den Plasmabeschuss zu verbessern und eine hervorragende Gleichmäßigkeit des Films auf verschiedenen Substratmaterialien sicherzustellen.
Technologieübersicht
HF-Magnetron-Sputter-Beschichtungsgeräte nutzen die Magnetron-Sputtertechnologie mit HF-Stromversorgung (typischerweise 13,56 MHz). Das System ionisiert Inertgase wie Argon durch elektrische Hochfrequenzfelder, um Plasma zu erzeugen. Unter den Bedingungen des Magnetfelds bombardiert das Plasma die Oberfläche des Zielmaterials, wodurch Atome oder Moleküle entweichen und sich gleichmäßig auf den Substratoberflächen ablagern.
Hauptmerkmale
Außergewöhnliche Materialanpassungsfähigkeit – ermöglicht das Sputtern von Leitern, Halbleitern und Isolatoren, ohne dass eine leitfähige Behandlung erforderlich ist
Der schonende Beschichtungsprozess mit niedriger Substrattemperatur minimiert Schäden an wärmeempfindlichen Substraten, einschließlich Kunststoffen und Polymeren
Präzise Filmsteuerung durch einstellbare Parameter wie Leistung, Druck und Zeit für genaue Dicke, Zusammensetzung und Strukturverwaltung
Leistungsvorteile
Überlegene Filmqualität mit hoher Dichte, geringer Fehlerrate und ausgezeichneter Substrathaftung
Stabile Sputterraten und hohe Produktionseffizienz, geeignet für die industrielle Chargenverarbeitung
Umweltfreundlicher Betrieb, bei dem ausschließlich Inertgase ohne chemische Reagenzien verwendet werden und die Standards einer umweltfreundlichen Produktion eingehalten werden
Industrielle Anwendungen
Elektronik und Halbleiter
Elektroden- und Isolierfolien für Halbleiterchips, integrierte Schaltkreise und Anzeigetafeln
Optische Systeme
Antireflexions-, Reflexions- und Filterfolien für Linsen, optische Instrumente und Photovoltaikmodule
Industriell und dekorativ
Verschleißfeste, korrosionsbeständige und dekorative Beschichtungen für Schneidwerkzeuge, Formen, Hardwarekomponenten und Architekturglas
Neue Energietechnologien
Elektrodenfolien für Lithiumbatterien, Katalysatorschichten für Brennstoffzellen und Beschichtungen für Solarzellen