প্লাজমা বোমাবর্ষণ বাড়াতে এবং বিভিন্ন স্তর উপাদান জুড়ে উচ্চতর ফিল্ম অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের সীমাবদ্ধতা ব্যবহার করে উন্নত লেপ সিস্টেম।
প্রযুক্তির সারসংক্ষেপ
আরএফ ম্যাগনেট্রন স্পটারিং লেপ সরঞ্জামগুলি আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই (সাধারণত 13.56MHz) সহ ম্যাগনেট্রন স্পটারিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে।সিস্টেমটি প্লাজমা উৎপন্ন করার জন্য রেডিও ফ্রিকোয়েন্সির বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের মাধ্যমে আর্গন মত নিষ্ক্রিয় গ্যাসগুলিকে আয়ন করেচৌম্বকীয় ক্ষেত্রের সীমাবদ্ধতার অধীনে, প্লাজমা লক্ষ্য উপাদান পৃষ্ঠের বোমা ফেলছে, যার ফলে পরমাণু বা অণুগুলি স্রোতের পৃষ্ঠের উপর অভিন্নভাবে অবতরণ করে।
মূল বৈশিষ্ট্য
ব্যতিক্রমী উপাদান অভিযোজনযোগ্যতা - চালক, অর্ধপরিবাহী এবং নিরোধকগুলির জন্য চালকীয় চিকিত্সার প্রয়োজন ছাড়াই স্পট করতে সক্ষম
নিম্ন স্তর তাপমাত্রা সহ নরম লেপ প্রক্রিয়া প্লাস্টিক এবং পলিমার সহ তাপ সংবেদনশীল স্তরগুলির ক্ষতিকে হ্রাস করে
সঠিক বেধ, রচনা এবং কাঠামো পরিচালনার জন্য শক্তি, চাপ এবং সময় সহ সামঞ্জস্যযোগ্য পরামিতিগুলির মাধ্যমে সুনির্দিষ্ট ফিল্ম নিয়ন্ত্রণ
পারফরম্যান্স সুবিধা
উচ্চ ঘনত্ব, কম ত্রুটি হার এবং চমৎকার স্তর সংযুক্তি সঙ্গে উচ্চতর ফিল্ম মানের
স্থিতিশীল স্পটারিং হার এবং উচ্চ উত্পাদন দক্ষতা শিল্প ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণের জন্য উপযুক্ত
পরিবেশ বান্ধব অপারেশন শুধুমাত্র রাসায়নিক reagents ছাড়া inert গ্যাস ব্যবহার করে, সবুজ উৎপাদন মান পূরণ
শিল্প অ্যাপ্লিকেশন
ইলেকট্রনিক্স ও সেমিকন্ডাক্টর
সেমিকন্ডাক্টর চিপ, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট এবং ডিসপ্লে প্যানেলের জন্য ইলেক্ট্রোড এবং বিচ্ছিন্নকারী ফিল্ম
অপটিক্যাল সিস্টেম
লেন্স, অপটিক্যাল যন্ত্রপাতি এবং ফোটোভোলটাইক মডিউলগুলির জন্য প্রতিফলন বিরোধী, প্রতিফলক এবং ফিল্টার ফিল্ম
শিল্প ও সজ্জা
কাটিয়া সরঞ্জাম, ছাঁচ, হার্ডওয়্যার উপাদান এবং স্থাপত্য কাচের জন্য পরিধান-প্রতিরোধী, জারা-প্রতিরোধী এবং আলংকারিক লেপ