magnetron sputtering vacuum coating machine
,multi-arc ion sputtering vacuum chamber
,deposition magnetron sputtering machine
- ایجاد محیط خلاء: از یک مجموعه پمپ خلاء برای کاهش فشار داخل محفظه پوشش به حالت خلاء بالا (معمولاً ≤10⁻³Pa) استفاده میشود تا از تداخل مولکولهای هوا با رسوب فیلم جلوگیری شود.
- تحریک پلاسما: یک گاز بیاثر (مانند آرگون) به داخل محفظه وارد میشود و یک میدان الکتریکی با ولتاژ بالا بین هدف (ماده پوشش، به عنوان مثال، آلومینیوم، تیتانیوم، ITO) و زیرلایه اعمال میشود تا گاز آرگون یونیزه شده و پلاسما تولید شود.
- رسوب اسپاترینگ مغناطیسی: از یک میدان مغناطیسی برای محدود کردن مسیر حرکت الکترونها استفاده میشود و راندمان برخورد بین الکترونها و مولکولهای آرگون را افزایش میدهد. این باعث میشود یونهای آرگون با سرعت بالا به سطح هدف برخورد کنند؛ اتمهای هدف "اسپاتر" شده، در یک خط مستقیم حرکت کرده و روی سطح زیرلایه رسوب میکنند تا یک فیلم یکنواخت تشکیل دهند.
- کیفیت بالای فیلم: فیلم دارای یکنواختی خوب (انحراف قابل کنترل در حدود ±5%) و چسبندگی قوی به زیرلایه است، که باعث میشود کمتر پوسته پوسته شود یا ترک بخورد.
- راندمان بالای پوشش: طراحی استفاده از میدان مغناطیسی برای محدود کردن الکترونها، سرعت اسپاترینگ را به طور قابل توجهی بهبود میبخشد. نرخ رسوب تک هدفی میتواند به 0.1-10 میکرومتر در دقیقه برسد که برای تولید انبوه مناسب است.
- سازگاری گسترده مواد: مواد پوشش قابل استفاده شامل فلزات (آلومینیوم، مس، نقره)، آلیاژها (فولاد ضد زنگ، آلیاژ تیتانیوم) و ترکیبات (ITO، SiO₂، Al₂O₃) است که نیازهای عملکردی مختلف را برآورده میکند.
- سازگاری با محیط زیست و عدم آلودگی: کل فرآیند فاقد تخلیه مایعات شیمیایی زائد یا گازهای مضر است و فقط از گازهای بیاثر و اهداف جامد استفاده میکند که با استانداردهای حفاظت از محیط زیست صنعتی مدرن مطابقت دارد.
| صنعت کاربرد | نمونههای استفاده خاص | الزامات اصلی |
|---|---|---|
| صنعت اطلاعات الکترونیکی | پوشش الکترود تراشه، فیلم رسانای ITO نمایشگر، فیلم هد مغناطیسی | رسانایی بالا، یکنواختی فیلم، کنترل دقیق |
| زمینه نوری | فیلم ضد انعکاس برای عینک، فیلم فیلتر برای لنز دوربین، لنز لیزر | انعکاس کم، انتقال نور بالا، مقاومت در برابر سایش |
| پوشش تزئینی و کاربردی | فیلمهای تزئینی برای سختافزار (مانند طلای تیتانیوم، طلای زیرکونیوم)، فیلمهای مقاوم در برابر سایش برای ابزارهای برش | زیباییشناسی، مقاومت در برابر خوردگی، سختی بالا |
| صنعت انرژی نو | پوشش قطعه قطب باتری لیتیومی، فیلم ضد انعکاس برای شیشه فتوولتائیک | چسبندگی بالا، راندمان تولید انبوه، هزینه کم |
- درجه خلاء: خلاء نهایی ≤5*10⁻⁵Pa، خلاء کاری 1*10⁻³ - 5*10⁻¹Pa
- پیکربندی هدف: تک هدفی، دو هدفی یا چند هدفی (پشتیبانی از اسپاترینگ DC، RF و فرکانس متوسط)، اندازه هدف Φ50-300mm
- اندازه زیرلایه: قابل سفارشیسازی؛ اندازههای معمول شامل مواد ورق (100*100mm - 1000*1000mm) و مواد کویل (عرض ≤1600mm) است.
- نرخ رسوب: 0.5-10 میکرومتر در دقیقه برای فیلمهای فلزی، 0.1-2 میکرومتر در دقیقه برای فیلمهای اکسیدی
- دمای گرمایش زیرلایه: دمای اتاق - 500℃ (کنترل دقیق دما موجود است، اختلاف دما ±2℃)
تجهیزات پوشش دهی اسپاترینگ مگنترون برای قطعات سخت افزاری تلفن همراه که برای نیازهای مشتری سفارشی شده است، دستگاه پوشش دهی PVD
I. Core Structure The magnetron sputtering coating equipment for mobile phone hardware parts is a dedicated device designed for small hardware parts such as mobile phone frames, keys, and camera decorative rings. Its core structure is divided into five major modules: vacuum system, sputtering system...
دستگاه کندوپاش مگنترون DC با دقت بالا با اندازه قابل تنظیم و پوشش چند لایه برای فلز و شیشه
DC Magnetron Sputtering Machine - Vacuum PVD Coating System This high-precision DC Magnetron Sputtering Machine is designed for superior vacuum PVD coating applications on metal and glass substrates. The equipment features rational structure design, uniform coating distribution, excellent quality ...
دستگاه پوشش خلاء کندوپاش مگنترون با فناوری یون چند قوس، اندازه محفظه سفارشی و چگالی پوشش بالا ≥99.9% برای کاربردهای تزئینی و کاربردی
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine Professional PVD vacuum coating magnetron sputtering machine specifically designed for cutlery and tableware applications, including knives. Working Principle Vacuum magnetron sputtering coating utilizes an orthogonal electromagnetic field where charged ...
دستگاه پوشش خلاء کندوپاش مگنترون درجه صنعتی با نرخ رسوب بالا و کیفیت فیلم برتر برای سازگاری با مواد گسترده
Industrial Grade Reaction Magnetron Sputtering Vacuum Coater Machine Professional PVD vacuum coating system designed for high-end hardware and stainless steel parts with advanced magnetron sputtering technology. Product Specifications Product Type PVD Vacuum Coating Machine Primary Applications High...
