magnetron sputtering vacuum coating machine
,multi-arc ion sputtering vacuum chamber
,deposition magnetron sputtering machine
- Vaststellen van een vacuümomgeving: Een vacuümpomp wordt gebruikt om de druk in de coatingkamer te verlagen tot een hoog vacuüm (meestal ≤10⁻³Pa), waardoor wordt voorkomen dat luchtmoleculen de filmafzetting verstoren.
- Plasma-excitatie: Een inert gas (zoals argon) wordt in de kamer geïntroduceerd en een hoogspanningsveld wordt aangelegd tussen het doel (coatingmateriaal, bijv. aluminium, titanium, ITO) en het substraat om het argongas te ioniseren en plasma te genereren.
- Magnetron Sputterdepositie: Een magnetisch veld wordt gebruikt om de bewegingstrajecten van elektronen te beperken, waardoor de botsingsefficiëntie tussen elektronen en argonmoleculen wordt verhoogd. Dit zorgt ervoor dat argonionen met hoge snelheid op het doeloppervlak bombarderen; de doelatomen worden "gesputterd", bewegen in een rechte lijn en worden op het substraatoppervlak afgezet om een uniforme film te vormen.
- Hoge filmkwaliteit: De film heeft een goede uniformiteit (afwijking kan worden gecontroleerd binnen ±5%) en een sterke hechting aan het substraat, waardoor deze minder snel loslaat of barst.
- Hoge coatingefficiëntie: Het ontwerp met een magnetisch veld om elektronen te beperken verbetert de sputteringsnelheid aanzienlijk. De depositie-snelheid van een enkel doel kan 0,1-10 µm/min bereiken, geschikt voor massaproductie.
- Brede materiaaladaptatie: De toepasbare coatingmaterialen omvatten metalen (aluminium, koper, zilver), legeringen (roestvrij staal, titaniumlegering) en verbindingen (ITO, SiO₂, Al₂O₃), die voldoen aan verschillende functionele vereisten.
- Milieuvriendelijk en vervuilingsvrij: Het hele proces produceert geen chemisch afvalwater of schadelijke gassen, en maakt alleen gebruik van inerte gassen en vaste doelen, in overeenstemming met de moderne industriële milieunormen.
| Toepassingsindustrie | Voorbeelden van specifiek gebruik | Kernvereisten |
|---|---|---|
| Elektronische Informatie-industrie | Coating van chip-elektroden, display ITO geleidende film, magnetische kop film | Hoge geleidbaarheid, filmuniformiteit, precieze controle |
| Optisch veld | Anti-reflectiefilm voor brillen, filterfilm voor cameralenzen, laserlenzen | Lage reflectiviteit, hoge lichtdoorlatendheid, slijtvastheid |
| Decoratieve en Functionele Coating | Decoratieve films voor hardware (bijv. titaniumgoud, zirkoongoud), slijtvaste films voor snijgereedschappen | Esthetiek, corrosiebestendigheid, hoge hardheid |
| Nieuwe Energie-industrie | Coating van lithiumbatterij-poolstukken, anti-reflectiefilm voor fotovoltaïsch glas | Hoge hechting, efficiëntie van massaproductie, lage kosten |
- Vacuümgraad: Ultiem vacuüm ≤5*10⁻⁵Pa, werk vacuüm 1*10⁻³ - 5*10⁻¹Pa
- Doelconfiguratie: Enkel doel, dubbel doel of meerdere doelen (ondersteunt DC, RF en middenfrequentie sputtering), doelgrootte Φ50-300mm
- Substraatgrootte: Aanpasbaar; conventionele maten omvatten plaatmaterialen (100*100mm - 1000*1000mm) en rolmaterialen (breedte ≤1600mm)
- Depositie-snelheid: 0,5-10 µm/min voor metaalfilms, 0,1-2 µm/min voor oxidefilms
- Substraatverwarmingstemperatuur: Kamertemperatuur - 500℃ (precieze temperatuurregeling beschikbaar, temperatuurverschil ±2℃)
Magnetron sputtercoating apparatuur voor mobiele telefoon hardware onderdelen, aangepast aan de behoeften van de klant, PVD coating machine
I. Core Structure The magnetron sputtering coating equipment for mobile phone hardware parts is a dedicated device designed for small hardware parts such as mobile phone frames, keys, and camera decorative rings. Its core structure is divided into five major modules: vacuum system, sputtering system...
Hoge Precisie DC Magnetron Sputter Machine met Aanpasbare Afmetingen en Meerlaagse Coating voor Metaal en Glas
DC Magnetron Sputtering Machine - Vacuum PVD Coating System This high-precision DC Magnetron Sputtering Machine is designed for superior vacuum PVD coating applications on metal and glass substrates. The equipment features rational structure design, uniform coating distribution, excellent quality ...
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine met Multi Arc Ion Technology, aangepaste kamergrootte en hoge coatingdensiteit ≥ 99,9% voor decoratieve en functionele toepassingen
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine Professional PVD vacuum coating magnetron sputtering machine specifically designed for cutlery and tableware applications, including knives. Working Principle Vacuum magnetron sputtering coating utilizes an orthogonal electromagnetic field where charged ...
Magnetron-sputtering vacuümcoatingsmachine van industriële kwaliteit met een hoge afzetting en een superieure filmkwaliteit voor brede materiaalcompatibiliteit
Industrial Grade Reaction Magnetron Sputtering Vacuum Coater Machine Professional PVD vacuum coating system designed for high-end hardware and stainless steel parts with advanced magnetron sputtering technology. Product Specifications Product Type PVD Vacuum Coating Machine Primary Applications High...
