magnetron sputtering vacuum coating machine
,multi-arc ion sputtering vacuum chamber
,deposition magnetron sputtering machine
- Thiết lập môi trường chân không: Một bộ bơm chân không được sử dụng để giảm áp suất bên trong buồng phủ xuống trạng thái chân không cao (thường ≤10⁻³Pa), ngăn chặn các phân tử không khí gây nhiễu quá trình lắng đọng màng.
- Kích thích Plasma: Một khí trơ (như argon) được đưa vào buồng, và một điện trường cao áp được áp dụng giữa đích (vật liệu phủ, ví dụ: nhôm, titan, ITO) và đế để ion hóa khí argon và tạo ra plasma.
- Lắng đọng Phun tia từ tính (Magnetron Sputtering): Một từ trường được sử dụng để giới hạn quỹ đạo chuyển động của electron, tăng hiệu quả va chạm giữa electron và phân tử argon. Điều này khiến các ion argon bắn phá bề mặt đích với tốc độ cao; các nguyên tử đích bị "bắn ra", di chuyển theo đường thẳng và lắng đọng trên bề mặt đế để tạo thành một màng đồng nhất.
- Chất lượng màng cao: Màng có độ đồng đều tốt (độ lệch có thể kiểm soát trong khoảng ±5%) và độ bám dính mạnh với đế, giúp giảm khả năng bong tróc hoặc nứt vỡ.
- Hiệu quả phủ cao: Thiết kế sử dụng từ trường để giới hạn electron giúp cải thiện đáng kể tốc độ phun. Tốc độ lắng đọng của đích đơn có thể đạt 0.1-10μm/phút, phù hợp cho sản xuất hàng loạt.
- Khả năng thích ứng vật liệu rộng: Các vật liệu phủ áp dụng bao gồm kim loại (nhôm, đồng, bạc), hợp kim (thép không gỉ, hợp kim titan) và hợp chất (ITO, SiO₂, Al₂O₃), đáp ứng các yêu cầu chức năng khác nhau.
- Thân thiện với môi trường và không gây ô nhiễm: Toàn bộ quy trình không thải chất lỏng hóa học hoặc khí độc hại, chỉ sử dụng khí trơ và đích rắn, tuân thủ các tiêu chuẩn bảo vệ môi trường công nghiệp hiện đại.
| Ngành ứng dụng | Ví dụ sử dụng cụ thể | Yêu cầu cốt lõi |
|---|---|---|
| Ngành Thông tin Điện tử | Phủ điện cực chip, màng dẫn điện ITO cho màn hình, màng đầu từ | Độ dẫn điện cao, độ đồng đều màng, kiểm soát chính xác |
| Lĩnh vực Quang học | Màng chống phản xạ cho kính mắt, màng lọc cho ống kính máy ảnh, thấu kính laser | Phản xạ thấp, truyền sáng cao, chống mài mòn |
| Phủ Trang trí và Chức năng | Màng trang trí cho phần cứng (ví dụ: vàng titan, vàng zirconi), màng chống mài mòn cho dụng cụ cắt | Thẩm mỹ, chống ăn mòn, độ cứng cao |
| Ngành Năng lượng Mới | Phủ cực pin lithium, màng chống phản xạ cho kính quang điện | Độ bám dính cao, hiệu quả sản xuất hàng loạt, chi phí thấp |
- Độ chân không: Chân không cuối cùng ≤5*10⁻⁵Pa, chân không làm việc 1*10⁻³ - 5*10⁻¹Pa
- Cấu hình đích: Đích đơn, đích đôi hoặc đa đích (hỗ trợ phun DC, RF và tần số trung bình), kích thước đích Φ50-300mm
- Kích thước đế: Tùy chỉnh; kích thước thông thường bao gồm vật liệu tấm (100*100mm - 1000*1000mm) và vật liệu cuộn (chiều rộng ≤1600mm)
- Tốc độ lắng đọng: 0.5-10μm/phút cho màng kim loại, 0.1-2μm/phút cho màng oxit
- Nhiệt độ gia nhiệt đế: Nhiệt độ phòng - 500℃ (có khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác, chênh lệch nhiệt độ ±2℃)
Thiết bị phủ phun magnetron cho các bộ phận phần cứng điện thoại di động được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng, máy phủ PVD
I. Core Structure The magnetron sputtering coating equipment for mobile phone hardware parts is a dedicated device designed for small hardware parts such as mobile phone frames, keys, and camera decorative rings. Its core structure is divided into five major modules: vacuum system, sputtering system...
Máy phun Magnetron DC chính xác cao với kích thước tùy chỉnh và lớp phủ đa lớp cho kim loại và thủy tinh
DC Magnetron Sputtering Machine - Vacuum PVD Coating System This high-precision DC Magnetron Sputtering Machine is designed for superior vacuum PVD coating applications on metal and glass substrates. The equipment features rational structure design, uniform coating distribution, excellent quality ...
Máy Phủ Màng Chân Không Phun Sputtering Magnetron với Công Nghệ Ion Đa Vòm, Kích Thước Buồng Tùy Chỉnh và Mật Độ Phủ Cao ≥99.9% cho Ứng Dụng Trang Trí và Chức Năng
Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine Professional PVD vacuum coating magnetron sputtering machine specifically designed for cutlery and tableware applications, including knives. Working Principle Vacuum magnetron sputtering coating utilizes an orthogonal electromagnetic field where charged ...
Máy Phủ Màng Chân Không Phun Sputter Magnetron Cấp Công Nghiệp với Tốc Độ Bồi Đắp Cao và Chất Lượng Màng Vượt Trội cho Khả Năng Tương Thích Vật Liệu Rộng Rãi
Industrial Grade Reaction Magnetron Sputtering Vacuum Coater Machine Professional PVD vacuum coating system designed for high-end hardware and stainless steel parts with advanced magnetron sputtering technology. Product Specifications Product Type PVD Vacuum Coating Machine Primary Applications High...
