垂直マグネトロンスパッタリングコーティング装置 PVD真空コーティング機 ガラスまたは金属用
垂直マグネトロンスパッタリングコーティング機
,ガラス用PVD真空コーティング装置
,金属用マグネトロンスパッタリング機
コア紹介
垂直マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、垂直構造設計の物理蒸着（PVD）装置であり、基板とターゲット材料が垂直に配置されています。
磁場を使用してプラズマを閉じ込め、イオンが垂直に設置されたターゲット材料に効率的に衝突できるようにします。ターゲット材料の原子/分子が放出された後、垂直に配置された基板の表面に垂直に堆積し、均一な膜を形成します。この装置は、主に複数のターゲット位置、真空チャンバー、および搬送システムを備えており、バッチまたは連続生産の要件に適しています。
主な特徴
1.構造レイアウトはコンパクトで、垂直設計により水平方向の床面積を大幅に節約し、工場のスペースが限られている場合に適しています。
2.T基板は垂直に配置されています。 コーティングプロセス中、粒子が膜表面に付着しにくく、膜層の欠陥を減らすことができます。
3.マルチターゲットサイト構成をサポートし、多層膜および複合膜の連続堆積を可能にし、複雑な膜システムの要件に適しています。
4.ベース転送モードは柔軟です。 垂直固定具で固定したり、連続的に搬送したりでき、さまざまなサイズと形状のベースに適しています。
コアの利点
1.膜層の均一性が良好です。 垂直レイアウトにより、スパッタリングされた粒子がターゲット材料から基板の各領域への経路がより均一になり、膜厚の偏差を大幅に削減します。
2.高い生産効率, マルチターゲットサイトの同期作業または連続搬送設計により、バッチコーティングを実現し、単位時間あたりの出力を増加させることができます。
3.操作とメンテナンスが便利です。 垂直構造により、ターゲット材料の交換、キャビティの清掃、および装置の検査が容易になり、メンテナンスコストが削減されます。
4.高い互換性があり、小さな精密部品だけでなく、ガラスやプレートなどの大面積基板のコーティング要件にも対応できます。
代表的な用途
フラットパネルディスプレイ分野:
液晶ディスプレイ（LCD）および有機発光ダイオード（OLED）パネル用の透明導電膜およびタッチフィルムの作製。
建築および省エネルギー分野:
Low-E断熱ガラス用の低放射率膜および太陽光制御膜を製造し、ガラスの断熱および省エネルギー性能を向上させます。
装飾およびハードウェア分野:
ドアや窓のハードウェア、バスルームの備品、携帯電話のフレームなどの製品に、装飾金属膜（チタンゴールドやクロム膜など）または耐摩耗膜をコーティングします。
光学および電子分野:
光学レンズ用の反射防止/反射膜、半導体デバイス用の電極膜、およびリチウム電池電極シート用の機能性膜の作製
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