Peralatan pelapisan sputtering magnetron vertikal mesin pelapis vakum PVD untuk melapisi kaca atau logam

Pendahuluan Inti
Peralatan pelapisan sputtering magnetron vertikal adalah perangkat deposisi uap fisik (PVD) dengan desain struktur vertikal, di mana substrat dan bahan target diatur secara tegak lurus.

 Ia menggunakan medan magnet untuk membatasi plasma, memungkinkan ion untuk secara efisien membombardir bahan target yang dipasang secara vertikal. Setelah atom/molekul bahan target keluar, mereka disimpan secara vertikal pada permukaan substrat yang ditempatkan secara vertikal, membentuk film yang seragam. Peralatan ini sebagian besar dilengkapi dengan beberapa posisi target, ruang vakum, dan sistem transmisi, yang cocok untuk persyaratan produksi batch atau berkelanjutan.

Fitur utama
1. Tata letak strukturalnya ringkas, dan desain vertikal secara signifikan menghemat ruang lantai horizontal, sehingga cocok untuk skenario dengan ruang pabrik terbatas.

2.Substrat ditempatkan secara vertikal. Selama proses pelapisan, partikel cenderung kurang menempel pada permukaan film, yang dapat mengurangi cacat lapisan film.

3. Mendukung konfigurasi multi-target site, memungkinkan deposisi berkelanjutan dari film multi-lapis dan film komposit, dan cocok untuk persyaratan sistem film yang kompleks.

4.Mode transfer dasar fleksibel. Dapat diperbaiki dengan perlengkapan vertikal atau terus menerus dipindahkan, dan cocok untuk dasar dengan berbagai ukuran dan bentuk.

Keunggulan inti
1.Kesamaan lapisan film baik. Tata letak vertikal membuat jalur partikel yang disemprotkan dari bahan target ke setiap area substrat lebih seragam, secara signifikan mengurangi penyimpangan ketebalan film.

2.Efisiensi produksi tinggi, dengan desain kerja sinkron multi-target site atau transmisi berkelanjutan, dapat mencapai pelapisan batch dan meningkatkan output per satuan waktu.

3.Pengoperasian dan pemeliharaan mudah. Struktur vertikal memudahkan penggantian bahan target, membersihkan rongga, dan memeriksa peralatan, mengurangi biaya perawatan.

4. Ia memiliki kompatibilitas yang kuat dan tidak hanya dapat beradaptasi dengan bagian presisi kecil tetapi juga memenuhi persyaratan pelapisan substrat area luas seperti kaca dan pelat.

Aplikasi khas
Di bidang tampilan panel datar:

Persiapan film konduktif transparan dan film sentuh untuk panel liquid crystal display (LCD) dan organic light-emitting diode (OLED).

Di bidang arsitektur dan penghematan energi:

 Menghasilkan film emisi rendah dan film kontrol sinar matahari untuk kaca isolasi Low-E untuk meningkatkan kinerja insulasi panas dan penghematan energi kaca.

Di bidang dekorasi dan perangkat keras:

 Pelapisan film logam dekoratif (seperti film titanium emas dan kromium) atau film tahan aus untuk produk seperti perangkat keras pintu dan jendela, perlengkapan kamar mandi, dan bingkai ponsel.

Di bidang optik dan elektronik:

persiapan film anti-refleksi/reflektif untuk lensa optik, film elektroda untuk perangkat semikonduktor, dan film fungsional untuk lembaran elektroda baterai lithium