Équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron vertical - machine de revêtement sous vide PVD pour le revêtement de verres ou de métaux

Introduction principale
L'équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron verticale est un dispositif de dépôt physique en phase vapeur (PVD) avec une conception à structure verticale, où le substrat et le matériau cible sont disposés perpendiculairement.

 Il utilise un champ magnétique pour confiner le plasma, permettant aux ions de bombarder efficacement le matériau cible installé verticalement. Après que les atomes/molécules du matériau cible s'échappent, ils sont déposés verticalement sur la surface du substrat placé verticalement, formant un film uniforme. L'équipement est principalement équipé de plusieurs positions cibles, de chambres à vide et de systèmes de transmission, ce qui convient aux exigences de production en série ou en continu.

Principales caractéristiques
1. La disposition structurelle est compacte, et la conception verticale permet d'économiser considérablement l'espace au sol horizontal, ce qui la rend adaptée aux scénarios avec un espace d'usine limité.

2. Le substrat est placé verticalement. Pendant le processus de revêtement, les particules sont moins susceptibles d'adhérer à la surface du film, ce qui peut réduire les défauts de la couche de film.

3. Prend en charge la configuration multi-cibles, permettant le dépôt continu de films multicouches et de films composites, et convient aux exigences des systèmes de films complexes.

4.Le mode de transfert de la base est flexible. Il peut être fixé par des fixations verticales ou transporté en continu, et convient aux bases de différentes tailles et formes.

Avantages principaux
1. L'uniformité de la couche de film est bonne. La disposition verticale rend le trajet des particules pulvérisées du matériau cible vers chaque zone du substrat plus uniforme, réduisant considérablement l'écart d'épaisseur du film.

2. Haute efficacité de production, avec une conception de fonctionnement synchrone multi-cibles ou de transmission continue, il peut réaliser un revêtement en série et augmenter le rendement par unité de temps.

3.L'opération et la maintenance sont pratiques. La structure verticale facilite le remplacement du matériau cible, le nettoyage de la cavité et l'inspection de l'équipement, réduisant ainsi les coûts de maintenance.

4. Il a une forte compatibilité et peut non seulement s'adapter aux petites pièces de précision, mais également répondre aux exigences de revêtement des substrats de grande surface tels que le verre et les plaques.

Applications typiques
Dans le domaine des écrans plats :

Préparation de films conducteurs transparents et de films tactiles pour les écrans à cristaux liquides (LCD) et les panneaux à diodes électroluminescentes organiques (OLED).

Dans le domaine de l'architecture et des économies d'énergie :

 Produire des films à faible émissivité et des films de contrôle solaire pour le verre isolant Low-E afin d'améliorer les performances d'isolation thermique et d'économie d'énergie du verre.

Dans le domaine de la décoration et de la quincaillerie :

 Revêtement de films métalliques décoratifs (tels que des films de titane doré et de chrome) ou de films résistants à l'usure pour des produits tels que la quincaillerie de portes et fenêtres, les accessoires de salle de bain et les cadres de téléphones portables.

Dans les domaines de l'optique et de l'électronique :

préparation de films antireflet/réfléchissants pour lentilles optiques, de films d'électrodes pour dispositifs à semi-conducteurs et de films fonctionnels pour feuilles d'électrodes de batteries au lithium