मुख्य परिचय
वर्टिकल मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण एक फिजिकल वेपर डिपोजिशन (PVD) डिवाइस है जिसमें एक वर्टिकल संरचना डिज़ाइन है, जहाँ सब्सट्रेट और लक्ष्य सामग्री को लंबवत रूप से व्यवस्थित किया जाता है।
यह प्लाज्मा को सीमित करने के लिए एक चुंबकीय क्षेत्र का उपयोग करता है, जिससे आयन लंबवत रूप से स्थापित लक्ष्य सामग्री पर कुशलता से बमबारी कर सकते हैं। लक्ष्य सामग्री के परमाणु/अणु के निकलने के बाद, उन्हें लंबवत रूप से रखे गए सब्सट्रेट की सतह पर लंबवत रूप से जमा किया जाता है, जिससे एक समान फिल्म बनती है। उपकरण ज्यादातर कई लक्ष्य स्थितियों, वैक्यूम चैंबर और ट्रांसमिशन सिस्टम से लैस होता है, जो बैच या निरंतर उत्पादन आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त हैं।
मुख्य विशेषताएं
1. संरचनात्मक लेआउट कॉम्पैक्ट है, और वर्टिकल डिज़ाइन क्षैतिज फर्श स्थान को काफी बचाता है, जिससे यह सीमित फैक्ट्री स्थान वाले परिदृश्यों के लिए उपयुक्त है।
2. सब्सट्रेट को लंबवत रखा गया है। कोटिंग प्रक्रिया के दौरान, कणों के फिल्म की सतह पर चिपकने की संभावना कम होती है, जो फिल्म परत दोषों को कम कर सकती है।3. मल्टी-टारगेट साइट कॉन्फ़िगरेशन का समर्थन करता है, जो मल्टी-लेयर फिल्मों और कंपोजिट फिल्मों की निरंतर जमावट को सक्षम बनाता है, और जटिल फिल्म सिस्टम की आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त है।4. बेस ट्रांसफर मोड लचीला है। इसे वर्टिकल फिक्स्चर द्वारा तय किया जा सकता है या लगातार पहुंचाया जा सकता है, और यह विभिन्न आकारों और आकारों के बेस के लिए उपयुक्त है।
मुख्य लाभ
1. फिल्म परत की एकरूपता अच्छी है। वर्टिकल लेआउट लक्ष्य सामग्री से सब्सट्रेट के प्रत्येक क्षेत्र तक स्पटर किए गए कणों का मार्ग अधिक समान बनाता है, जिससे फिल्म की मोटाई का विचलन काफी कम हो जाता है।2. उच्च उत्पादन क्षमता, एक मल्टी-टारगेट साइट सिंक्रोनस वर्किंग या निरंतर ट्रांसमिशन डिज़ाइन के साथ, यह बैच कोटिंग प्राप्त कर सकता है और प्रति यूनिट समय आउटपुट बढ़ा सकता है।3. संचालन और रखरखाव सुविधाजनक है। वर्टिकल संरचना लक्ष्य सामग्री को बदलना, गुहा को साफ करना और उपकरण का निरीक्षण करना आसान बनाती है, जिससे रखरखाव लागत कम होती है।
4. इसमें मजबूत संगतता है और यह न केवल छोटे सटीक भागों के अनुकूल हो सकता है, बल्कि कांच और प्लेटों जैसे बड़े क्षेत्र के सब्सट्रेट की कोटिंग आवश्यकताओं को भी पूरा कर सकता है।
विशिष्ट अनुप्रयोगफ्लैट पैनल डिस्प्ले के क्षेत्र में: लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (LCD) और ऑर्गेनिक लाइट-एमिटिंग डायोड (OLED) पैनल के लिए पारदर्शी प्रवाहकीय फिल्मों और टच फिल्मों की तैयारी।
वास्तुकला और ऊर्जा संरक्षण के क्षेत्र में: लो-ई इंसुलेटिंग ग्लास के लिए कम-उत्सर्जन वाली फिल्में और सनलाइट कंट्रोल फिल्में बनाएं ताकि कांच के गर्मी इन्सुलेशन और ऊर्जा-बचत प्रदर्शन को बढ़ाया जा सके।सजावट और हार्डवेयर के क्षेत्र में:
डोर और विंडो हार्डवेयर, बाथरूम फिक्स्चर और मोबाइल फोन फ्रेम जैसे उत्पादों के लिए सजावटी धातु फिल्में (जैसे टाइटेनियम गोल्ड और क्रोमियम फिल्में) या पहनने के लिए प्रतिरोधी फिल्में कोटिंग करना।ऑप्टिक्स और इलेक्ट्रॉनिक्स के क्षेत्र में: ऑप्टिकल लेंस के लिए एंटी-रिफ्लेक्शन/रिफ्लेक्टिव फिल्में, सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए इलेक्ट्रोड फिल्में, और लिथियम बैटरी इलेक्ट्रोड शीट के लिए कार्यात्मक फिल्मों की तैयारी
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