Thiết bị phủ bằng phương pháp phun từ catốt dọc máy phủ chân không PVD để phủ kính hoặc kim loại

Giới thiệu cốt lõi
Thiết bị phủ bằng phương pháp phun từ magnetron thẳng đứng là một thiết bị lắng đọng hơi vật lý (PVD) với thiết kế cấu trúc thẳng đứng, trong đó đế và vật liệu đích được bố trí vuông góc.

 Nó sử dụng từ trường để giới hạn plasma, cho phép các ion bắn phá hiệu quả vật liệu đích được lắp đặt theo chiều dọc. Sau khi các nguyên tử/phân tử vật liệu đích thoát ra, chúng được lắng đọng theo chiều dọc trên bề mặt của đế được đặt theo chiều dọc, tạo thành một lớp màng đồng đều. Thiết bị này chủ yếu được trang bị nhiều vị trí đích, buồng chân không và hệ thống truyền động, phù hợp với các yêu cầu sản xuất hàng loạt hoặc liên tục.

Các tính năng chính
1. Bố cục cấu trúc nhỏ gọn và thiết kế thẳng đứng giúp tiết kiệm đáng kể không gian sàn ngang, phù hợp với các tình huống có không gian nhà máy hạn chế.

2. Đế được đặt theo chiều dọc. Trong quá trình phủ, các hạt ít có khả năng bám vào bề mặt màng, có thể làm giảm các khuyết tật của lớp màng.3. Hỗ trợ cấu hình nhiều vị trí đích, cho phép lắng đọng liên tục các lớp màng nhiều lớp và màng composite, đồng thời phù hợp với các yêu cầu của các hệ thống màng phức tạp.

4.

Chế độ truyền đế linh hoạt. Nó có thể được cố định bằng các đồ gá thẳng đứng hoặc được truyền liên tục và phù hợp với các đế có kích thước và hình dạng khác nhau.Ưu điểm cốt lõi

1.
Độ đồng đều của lớp màng tốt. Bố cục thẳng đứng làm cho đường đi của các hạt phun từ vật liệu đích đến mọi khu vực của đế đồng đều hơn, giảm đáng kể độ lệch độ dày màng.2

. Hiệu quả sản xuất cao, với thiết kế làm việc đồng bộ nhiều vị trí đích hoặc truyền liên tục, nó có thể đạt được lớp phủ hàng loạt và tăng sản lượng trên một đơn vị thời gian.3.

Vận hành và bảo trì thuận tiện. Cấu trúc thẳng đứng giúp dễ dàng thay thế vật liệu đích, làm sạch khoang và kiểm tra thiết bị, giảm chi phí bảo trì.4. Nó có khả năng tương thích mạnh mẽ và không chỉ có thể thích ứng với các bộ phận chính xác nhỏ mà còn đáp ứng các yêu cầu phủ của các đế diện tích lớn như kính và tấm.

Các ứng dụng tiêu biểu

Trong lĩnh vực màn hình phẳng:
Chuẩn bị các lớp màng dẫn điện trong suốt và màng cảm ứng cho màn hình tinh thể lỏng (LCD) và điốt phát quang hữu cơ (OLED).

Trong lĩnh vực kiến trúc và tiết kiệm năng lượng:

 Sản xuất các lớp màng phát xạ thấp và màng kiểm soát ánh sáng mặt trời cho kính cách nhiệt Low-E để tăng cường hiệu suất cách nhiệt và tiết kiệm năng lượng của kính.

Trong lĩnh vực trang trí và phần cứng:

 Phủ các lớp màng kim loại trang trí (chẳng hạn như màng titan vàng và crom) hoặc màng chống mài mòn cho các sản phẩm như phần cứng cửa và cửa sổ, đồ đạc phòng tắm và khung điện thoại di động.

Trong lĩnh vực quang học và điện tử:

chuẩn bị các lớp màng chống phản xạ/phản xạ cho thấu kính quang học, lớp màng điện cực cho các thiết bị bán dẫn và lớp màng chức năng cho tấm điện cực pin lithium