تجهیزات پوشش دهی اسپاترینگ مگنترون عمودی، دستگاه پوشش دهی خلاء PVD برای پوشش دادن شیشه یا فلزات

مقدمه اصلی
تجهیزات پوشش دهی اسپاترینگ مگنترون عمودی یک دستگاه رسوب فیزیکی بخار (PVD) با طراحی ساختار عمودی است که در آن زیرلایه و ماده هدف به صورت عمود بر هم چیده شده اند.

 این دستگاه از یک میدان مغناطیسی برای محدود کردن پلاسما استفاده می کند و به یون ها اجازه می دهد تا به طور موثر به ماده هدف نصب شده عمودی بمباران کنند. پس از فرار اتم ها/مولکول های ماده هدف، آنها به صورت عمودی روی سطح زیرلایه قرار داده شده عمودی رسوب می کنند و یک فیلم یکنواخت تشکیل می دهند. این تجهیزات بیشتر به موقعیت های چندگانه هدف، محفظه های خلاء و سیستم های انتقال مجهز هستند که برای الزامات تولید دسته ای یا پیوسته مناسب هستند.

ویژگی های اصلی
1. چیدمان ساختاری فشرده است و طراحی عمودی فضای کف افقی را به طور قابل توجهی صرفه جویی می کند و آن را برای سناریوهایی با فضای کارخانه محدود مناسب می کند.

2. زیرلایه به صورت عمودی قرار می گیرد. در طول فرآیند پوشش، احتمال چسبیدن ذرات به سطح فیلم کمتر است که می تواند نقص های لایه فیلم را کاهش دهد.3. از پیکربندی چند سایت هدف پشتیبانی می کند و امکان رسوب پیوسته فیلم های چند لایه و فیلم های کامپوزیت را فراهم می کند و برای الزامات سیستم های فیلم پیچیده مناسب است.

4. حالت انتقال پایه انعطاف پذیر است.

می تواند توسط فیکسچر های عمودی ثابت شود یا به طور مداوم منتقل شود و برای پایه های با اندازه ها و شکل های مختلف مناسب است.مزایای اصلی1. یکنواختی لایه فیلم خوب است.

چیدمان عمودی مسیر ذرات اسپاتر شده از ماده هدف به هر ناحیه از زیرلایه را یکنواخت تر می کند و انحراف ضخامت فیلم را به طور قابل توجهی کاهش می دهد.
2. راندمان تولید بالا, با طراحی کار همزمان چند سایت هدف یا انتقال پیوسته، می تواند پوشش دسته ای را انجام دهد و خروجی را در واحد زمان افزایش دهد.3. عملیات و نگهداری راحت است.

ساختار عمودی تعویض ماده هدف، تمیز کردن محفظه و بازرسی تجهیزات را آسان می کند و هزینه های نگهداری را کاهش می دهد.4. سازگاری قوی دارد و نه تنها می تواند با قطعات دقیق کوچک سازگار شود، بلکه نیازهای پوشش زیرلایه های با مساحت بزرگ مانند شیشه و صفحات را نیز برآورده می کند.کاربردهای معمولی

در زمینه نمایشگرهای صفحه تخت:تهیه فیلم های رسانای شفاف و فیلم های لمسی برای نمایشگرهای کریستال مایع (LCD) و پانل های دیود ساطع کننده نور ارگانیک (OLED).در زمینه معماری و صرفه جویی در انرژی:

 تولید فیلم های کم گسیل و فیلم های کنترل نور خورشید برای شیشه عایق Low-E برای افزایش عملکرد عایق حرارتی و صرفه جویی در انرژی شیشه.

در زمینه دکوراسیون و سخت افزار:
 پوشش فیلم های فلزی تزئینی (مانند فیلم های تیتانیوم طلا و کروم) یا فیلم های مقاوم در برابر سایش برای محصولاتی مانند سخت افزار درب و پنجره، وسایل حمام و قاب های تلفن همراه.

در زمینه های اپتیک و الکترونیک:

تهیه فیلم های ضد انعکاس/انعکاسی برای لنزهای نوری، فیلم های الکترودی برای دستگاه های نیمه هادی و فیلم های عملکردی برای ورق های الکترود باتری لیتیومی