Equipamento de revestimento por sputtering magnetron vertical, máquina de revestimento a vácuo PVD para revestimento de vidros ou metais

Introdução Básica
O equipamento de revestimento por sputtering de magnetron vertical é um dispositivo de deposição física de vapor (PVD) com um design de estrutura vertical, onde o substrato e o material alvo são dispostos perpendicularmente.

 Ele usa um campo magnético para confinar o plasma, permitindo que os íons bombardeiem eficientemente o material alvo instalado verticalmente. Após a fuga dos átomos/moléculas do material alvo, eles são depositados verticalmente na superfície do substrato colocado verticalmente, formando um filme uniforme. O equipamento é geralmente equipado com múltiplas posições de alvo, câmaras de vácuo e sistemas de transmissão, adequados para requisitos de produção em lote ou contínua.

Principais características
1. O layout estrutural é compacto, e o design vertical economiza significativamente espaço no chão horizontal, tornando-o adequado para cenários com espaço limitado na fábrica.

2. O substrato é colocado verticalmente. Durante o processo de revestimento, é menos provável que as partículas adiram à superfície do filme, o que pode reduzir os defeitos da camada de filme.3. Suporta configuração de múltiplos alvos, permitindo a deposição contínua de filmes multicamadas e filmes compostos, e é adequado para os requisitos de sistemas de filmes complexos.4. O modo de transferência da base é flexível. Pode ser fixado por dispositivos verticais ou transportado continuamente, e é adequado para bases de diferentes tamanhos e formatos.

Vantagens principais

1. A uniformidade da camada de filme é boa. O layout vertical torna o caminho das partículas pulverizadas do material alvo para cada área do substrato mais uniforme, reduzindo significativamente o desvio da espessura do filme.2. Alta eficiência de produção, com um design de trabalho síncrono de múltiplos alvos ou transmissão contínua, pode alcançar o revestimento em lote e aumentar a produção por unidade de tempo.3. A operação e manutenção são convenientes. A estrutura vertical facilita a substituição do material alvo, a limpeza da cavidade e a inspeção do equipamento, reduzindo os custos de manutenção.

4. Possui forte compatibilidade e pode não apenas se adaptar a pequenas peças de precisão, mas também atender aos requisitos de revestimento de substratos de grande área, como vidro e placas.
Aplicações típicasNo campo de telas planas:Preparação de filmes condutores transparentes e filmes sensíveis ao toque para painéis de cristal líquido (LCD) e diodos orgânicos emissores de luz (OLED).

No campo da arquitetura e conservação de energia: Produzir filmes de baixa emissividade e filmes de controle solar para vidro isolante Low-E para melhorar o isolamento térmico e o desempenho de economia de energia do vidro.No campo da decoração e hardware:

 Revestimento de filmes metálicos decorativos (como filmes de titânio dourado e cromo) ou filmes resistentes ao desgaste para produtos como ferragens de portas e janelas, acessórios de banheiro e molduras de telefones celulares.Nos campos de óptica e eletrônica:preparação de filmes antirreflexo/reflexivos para lentes ópticas, filmes de eletrodo para dispositivos semicondutores e filmes funcionais para folhas de eletrodo de bateria de lítio