Apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron verticale, macchina per rivestimento sottovuoto PVD per il rivestimento di vetri o metalli

Introduzione Principale
L'apparecchiatura di rivestimento a sputtering magnetron verticale è un dispositivo a deposizione fisica da vapore (PVD) con un design a struttura verticale, in cui il substrato e il materiale target sono disposti perpendicolarmente.

 Utilizza un campo magnetico per confinare il plasma, consentendo agli ioni di bombardare efficacemente il materiale target installato verticalmente. Dopo che gli atomi/molecole del materiale target sono sfuggiti, vengono depositati verticalmente sulla superficie del substrato posizionato verticalmente, formando un film uniforme. L'apparecchiatura è per lo più dotata di più posizioni target, camere a vuoto e sistemi di trasmissione, adatti per requisiti di produzione in batch o continua.

Caratteristiche principali
1. Il layout strutturale è compatto e il design verticale consente di risparmiare notevolmente spazio sul pavimento orizzontale, rendendolo adatto a scenari con spazio di fabbrica limitato.

2. Il substrato è posizionato verticalmente. Durante il processo di rivestimento, è meno probabile che le particelle aderiscano alla superficie del film, il che può ridurre i difetti dello strato di film.

3. Supporta la configurazione multi-target, consentendo la deposizione continua di film multistrato e film compositi ed è adatta per i requisiti di sistemi di film complessi.

4.La modalità di trasferimento della base è flessibile. Può essere fissata tramite dispositivi di fissaggio verticali o trasportata continuamente ed è adatta per basi di diverse dimensioni e forme.

Vantaggi principali
1.L'uniformità dello strato di film è buona. Il layout verticale rende il percorso delle particelle spruzzate dal materiale target a ciascuna area del substrato più uniforme, riducendo significativamente la deviazione dello spessore del film.

2.Elevata efficienza di produzione, con un design di lavoro sincrono multi-target o trasmissione continua, può ottenere il rivestimento in batch e aumentare la produzione per unità di tempo.

3.Il funzionamento e la manutenzione sono convenienti. La struttura verticale facilita la sostituzione del materiale target, la pulizia della cavità e l'ispezione dell'apparecchiatura, riducendo i costi di manutenzione.

4. Ha una forte compatibilità e può adattarsi non solo a piccole parti di precisione, ma anche soddisfare i requisiti di rivestimento di substrati di grandi dimensioni come vetro e lastre.

Applicazioni tipiche
Nel campo dei display a schermo piatto:

Preparazione di film conduttivi trasparenti e film touch per display a cristalli liquidi (LCD) e pannelli a diodi organici a emissione di luce (OLED).

Nel campo dell'architettura e del risparmio energetico:

 Produzione di film a bassa emissività e film di controllo della luce solare per vetri isolanti Low-E per migliorare l'isolamento termico e le prestazioni di risparmio energetico del vetro.

Nel campo della decorazione e dell'hardware:

 Rivestimento di film metallici decorativi (come film di titanio oro e cromo) o film resistenti all'usura per prodotti come ferramenta per porte e finestre, sanitari e telai di telefoni cellulari.

Nei campi dell'ottica e dell'elettronica:

preparazione di film antiriflesso/riflettenti per lenti ottiche, film elettrodici per dispositivi a semiconduttore e film funzionali per fogli elettrodici per batterie al litio