เครื่องเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนแนวตั้ง อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ PVD สำหรับเคลือบแก้วหรือโลหะ

บทนำหลัก
อุปกรณ์เคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนแนวตั้งเป็นอุปกรณ์การสะสมไอระเหยทางกายภาพ (PVD) ที่มีการออกแบบโครงสร้างแนวตั้ง โดยที่พื้นผิวและวัสดุเป้าหมายถูกจัดเรียงในแนวตั้งฉาก

 ใช้อสนามแม่เหล็กเพื่อจำกัดพลาสมา ทำให้ไอออนสามารถระเบิดวัสดุเป้าหมายที่ติดตั้งในแนวตั้งได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลังจากอะตอม/โมเลกุลของวัสดุเป้าหมายหลุดออกไป จะถูกสะสมในแนวตั้งบนพื้นผิวของพื้นผิวที่วางในแนวตั้ง ทำให้เกิดฟิล์มที่สม่ำเสมอ อุปกรณ์ส่วนใหญ่ติดตั้งตำแหน่งเป้าหมายหลายตำแหน่ง ห้องสุญญากาศ และระบบส่งกำลัง ซึ่งเหมาะสำหรับความต้องการในการผลิตแบบเป็นชุดหรือต่อเนื่อง

คุณสมบัติหลัก
1.โครงสร้างมีขนาดกะทัดรัด และการออกแบบแนวตั้งช่วยประหยัดพื้นที่พื้นแนวนอนได้อย่างมาก ทำให้เหมาะสำหรับสถานการณ์ที่มีพื้นที่โรงงานจำกัด

2.พื้นผิวถูกวางในแนวตั้ง ในระหว่างกระบวนการเคลือบ อนุภาคมีโอกาสน้อยที่จะเกาะติดกับพื้นผิวฟิล์ม ซึ่งสามารถลดข้อบกพร่องของชั้นฟิล์มได้3.รองรับการกำหนดค่าหลายเป้าหมาย ทำให้สามารถสะสมฟิล์มหลายชั้นและฟิล์มคอมโพสิตได้อย่างต่อเนื่อง และเหมาะสำหรับความต้องการของระบบฟิล์มที่ซับซ้อน

4.

โหมดการถ่ายโอนฐานมีความยืดหยุ่น สามารถแก้ไขได้ด้วยอุปกรณ์ยึดแนวตั้งหรือลำเลียงอย่างต่อเนื่อง และเหมาะสำหรับฐานที่มีขนาดและรูปร่างแตกต่างกันข้อได้เปรียบหลัก

1.
ความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์มดี การจัดวางแนวตั้งทำให้เส้นทางของอนุภาคที่ถูกสปัตเตอร์จากวัสดุเป้าหมายไปยังแต่ละพื้นที่ของพื้นผิวมีความสม่ำเสมอมากขึ้น ลดการเบี่ยงเบนความหนาของฟิล์มได้อย่างมาก2

.ประสิทธิภาพการผลิตสูง ด้วยการออกแบบการทำงานพร้อมกันหลายเป้าหมายหรือการส่งผ่านอย่างต่อเนื่อง สามารถทำการเคลือบแบบเป็นชุดและเพิ่มผลผลิตต่อหน่วยเวลาได้3.

การใช้งานและการบำรุงรักษาสะดวก โครงสร้างแนวตั้งทำให้ง่ายต่อการเปลี่ยนวัสดุเป้าหมาย ทำความสะอาดช่อง และตรวจสอบอุปกรณ์ ลดต้นทุนการบำรุงรักษา4.มีความเข้ากันได้สูงและไม่เพียงแต่สามารถปรับให้เข้ากับชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำขนาดเล็กเท่านั้น แต่ยังตอบสนองความต้องการในการเคลือบของพื้นผิวขนาดใหญ่ เช่น กระจกและแผ่น

การใช้งานทั่วไป

ในด้านจอแสดงผลแบบแบนราบ:
การเตรียมฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใสและฟิล์มสัมผัสสำหรับจอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCD) และแผงไดโอดเปล่งแสงอินทรีย์ (OLED)

ในด้านสถาปัตยกรรมและการอนุรักษ์พลังงาน:

 ผลิตฟิล์มปล่อยพลังงานต่ำและฟิล์มควบคุมแสงแดดสำหรับกระจกฉนวน Low-E เพื่อเพิ่มฉนวนกันความร้อนและประสิทธิภาพการประหยัดพลังงานของกระจก

ในด้านการตกแต่งและฮาร์ดแวร์:

 เคลือบฟิล์มโลหะตกแต่ง (เช่น ฟิล์มไทเทเนียมทองและโครเมียม) หรือฟิล์มทนต่อการสึกหรอสำหรับผลิตภัณฑ์เช่นฮาร์ดแวร์ประตูและหน้าต่าง อุปกรณ์ในห้องน้ำ และกรอบโทรศัพท์มือถือ

ในด้านออปติกและอิเล็กทรอนิกส์:

การเตรียมฟิล์มป้องกันการสะท้อน/สะท้อนแสงสำหรับเลนส์ออปติคัล ฟิล์มอิเล็กโทรดสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และฟิล์มฟังก์ชันสำหรับแผ่นอิเล็กโทรดแบตเตอรี่ลิเธียม