dikey manyetik alan püskürtme kaplama ekipmanı, PVD vakum kaplama makinesi, cam veya metallerin kaplanması için

Temel Tanıtım
Dikey manyetron püskürtme kaplama ekipmanı, alt tabaka ve hedef malzemenin dik açıyla düzenlendiği, dikey yapı tasarımına sahip bir fiziksel buhar biriktirme (PVD) cihazıdır.

 Plazmayı hapsetmek için bir manyetik alan kullanır ve iyonların dikey olarak monte edilmiş hedef malzemeye verimli bir şekilde çarpmasını sağlar. Hedef malzeme atomları/molekülleri kaçtıktan sonra, dikey olarak yerleştirilmiş alt tabakanın yüzeyine dikey olarak biriktirilir ve böylece düzgün bir film oluşturulur. Ekipman çoğunlukla çoklu hedef konumları, vakum odaları ve iletim sistemleri ile donatılmıştır ve toplu veya sürekli üretim gereksinimleri için uygundur.

Ana Özellikler
1. Yapısal düzen kompakt olup, dikey tasarım yatay zemin alanından önemli ölçüde tasarruf sağlar ve bu da sınırlı fabrika alanına sahip senaryolar için uygundur.

2. Alt tabaka dikey olarak yerleştirilir. Kaplama işlemi sırasında, parçacıkların film yüzeyine yapışma olasılığı daha düşüktür, bu da film tabakası kusurlarını azaltabilir.

3. Çoklu hedef konumu yapılandırmasını destekler, çok katmanlı filmlerin ve kompozit filmlerin sürekli biriktirilmesini sağlar ve karmaşık film sistemlerinin gereksinimleri için uygundur.

4.Taban transfer modu esnektir. Dikey fikstürlerle sabitlenebilir veya sürekli olarak taşınabilir ve farklı boyut ve şekillerdeki tabanlar için uygundur.

Temel Avantajlar
1.Film tabakasının homojenliği iyidir. Dikey düzen, püskürtülen parçacıkların hedef malzemeden alt tabakanın her alanına giden yolunu daha homojen hale getirerek film kalınlığı sapmasını önemli ölçüde azaltır.

2.Yüksek üretim verimliliği, çoklu hedef konumu senkron çalışma veya sürekli iletim tasarımı ile toplu kaplama sağlayabilir ve birim zaman başına çıktıyı artırabilir.

3.Çalıştırma ve bakım kolaydır. Dikey yapı, hedef malzemenin değiştirilmesini, boşluğun temizlenmesini ve ekipmanın incelenmesini kolaylaştırarak bakım maliyetlerini düşürür.

4. Güçlü bir uyumluluğa sahiptir ve sadece küçük hassas parçalara uyum sağlamakla kalmaz, aynı zamanda cam ve plakalar gibi geniş alanlı alt tabakaların kaplama gereksinimlerini de karşılayabilir.

Tipik Uygulamalar
Düz panel ekran alanında:

Sıvı kristal ekran (LCD) ve organik ışık yayan diyot (OLED) paneller için şeffaf iletken filmlerin ve dokunmatik filmlerin hazırlanması.

Mimarlık ve enerji tasarrufu alanında:

 Camın ısı yalıtımını ve enerji tasarrufu performansını artırmak için Low-E yalıtım camı için düşük emisyonlu filmler ve güneş ışığı kontrol filmleri üretin.

Dekorasyon ve donanım alanında:

 Kapı ve pencere donanımı, banyo armatürleri ve cep telefonu çerçeveleri gibi ürünler için dekoratif metal filmler (titanyum altın ve krom filmler gibi) veya aşınmaya dayanıklı filmler kaplama.

Optik ve elektronik alanlarında:

optik lensler için yansıma önleyici/yansıtıcı filmlerin, yarı iletken cihazlar için elektrot filmlerinin ve lityum pil elektrot levhaları için fonksiyonel filmlerin hazırlanması