Urządzenie do powlekania metodą magnetronowego rozpylania katodowego w układzie pionowym - maszyna do powlekania próżniowego PVD do powlekania szkła lub metali

Wprowadzenie
Urządzenie do napylania magnetronowego w pionie to urządzenie do fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) o konstrukcji pionowej, w której podłoże i materiał docelowy są rozmieszczone prostopadle.

 Wykorzystuje pole magnetyczne do ograniczenia plazmy, umożliwiając jonom efektywne bombardowanie pionowo zainstalowanego materiału docelowego. Po uwolnieniu atomów/cząsteczek materiału docelowego, są one osadzane pionowo na powierzchni pionowo umieszczonego podłoża, tworząc jednorodną warstwę. Urządzenie jest najczęściej wyposażone w wiele pozycji docelowych, komory próżniowe i systemy transmisyjne, które są odpowiednie dla wymagań produkcji seryjnej lub ciągłej.

Główne cechy
1. Układ konstrukcyjny jest kompaktowy, a pionowa konstrukcja znacznie oszczędza przestrzeń poziomą, co sprawia, że ​​nadaje się do scenariuszy z ograniczoną przestrzenią fabryczną.

2. Podłoże jest umieszczone pionowo. Podczas procesu powlekania cząsteczki rzadziej przylegają do powierzchni folii, co może zmniejszyć defekty warstwy folii.

3. Obsługuje konfigurację wielu stanowisk docelowych, umożliwiając ciągłe osadzanie wielowarstwowych folii i folii kompozytowych i jest odpowiednie dla wymagań złożonych systemów folii.

4. Metoda przenoszenia podłoża jest elastyczna. Może być mocowana za pomocą pionowych uchwytów lub transportowana w sposób ciągły i jest odpowiednia dla podłoży o różnych rozmiarach i kształtach.

Główne zalety
1. Jednorodność warstwy folii jest dobra. Pionowy układ sprawia, że ​​ścieżka rozpylonych cząstek z materiału docelowego do każdego obszaru podłoża jest bardziej jednorodna, co znacznie zmniejsza odchylenie grubości folii.

2. Wysoka wydajność produkcji, dzięki synchronicznej pracy wielu stanowisk docelowych lub ciągłej konstrukcji transmisji, może osiągnąć powlekanie wsadowe i zwiększyć wydajność na jednostkę czasu.

3. Obsługa i konserwacja są wygodne. Pionowa konstrukcja ułatwia wymianę materiału docelowego, czyszczenie komory i kontrolę sprzętu, zmniejszając koszty konserwacji.

4. Ma dużą kompatybilność i może nie tylko dostosować się do małych precyzyjnych części, ale także spełniać wymagania dotyczące powlekania podłoży o dużej powierzchni, takich jak szkło i płyty.

Typowe zastosowania
W dziedzinie wyświetlaczy płaskich:

Przygotowanie przezroczystych folii przewodzących i folii dotykowych do paneli ciekłokrystalicznych (LCD) i organicznych diod elektroluminescencyjnych (OLED).

W dziedzinie architektury i oszczędzania energii:

 Produkcja folii niskoemisyjnych i folii kontrolujących światło słoneczne do szkła izolacyjnego Low-E w celu zwiększenia izolacji cieplnej i wydajności oszczędzania energii szkła.

W dziedzinie dekoracji i sprzętu:

 Powlekanie dekoracyjnych folii metalowych (takich jak folie tytanowo-złote i chromowe) lub folii odpornych na zużycie do produktów takich jak okucia do drzwi i okien, armatura łazienkowa i ramki do telefonów komórkowych.

W dziedzinach optyki i elektroniki:

przygotowanie folii antyrefleksyjnych/refleksyjnych do soczewek optycznych, folii elektrodowych do urządzeń półprzewodnikowych i folii funkcjonalnych do arkuszy elektrodowych baterii litowych