수직 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비, 유리 또는 금속 코팅용 PVD 진공 코팅기

핵심 소개
수직 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 수직 구조 설계를 가진 물리적 기상 증착(PVD) 장치로, 기판과 타겟 재료가 수직으로 배치됩니다.

 이 장비는 자기장을 사용하여 플라즈마를 가두어 이온이 수직으로 설치된 타겟 재료를 효율적으로 폭격할 수 있게 합니다. 타겟 재료의 원자/분자가 탈출한 후, 수직으로 배치된 기판 표면에 수직으로 증착되어 균일한 막을 형성합니다. 이 장비는 주로 여러 타겟 위치, 진공 챔버 및 전송 시스템을 갖추고 있어 배치 또는 연속 생산 요구 사항에 적합합니다.

주요 특징
1. 구조 레이아웃이 컴팩트하며, 수직 설계로 수평 바닥 공간을 크게 절약하여 공장 공간이 제한된 시나리오에 적합합니다.

2. 기판이 수직으로 배치됩니다. 코팅 과정에서 입자가 막 표면에 부착될 가능성이 적어 막 층 결함을 줄일 수 있습니다.3. 다중 타겟 사이트 구성을 지원하여 다층 막 및 복합 막의 연속 증착을 가능하게 하며, 복잡한 막 시스템의 요구 사항에 적합합니다.

4. 베이스 전송 모드가 유연합니다.

수직 고정 장치로 고정하거나 연속적으로 이송할 수 있으며, 다양한 크기와 모양의 베이스에 적합합니다.핵심 장점1. 막 층의 균일성이 좋습니다.

수직 레이아웃은 타겟 재료에서 기판의 각 영역까지 스퍼터링된 입자의 경로를 더 균일하게 만들어 막 두께 편차를 크게 줄입니다.
2. 높은 생산 효율, 다중 타겟 사이트 동시 작업 또는 연속 전송 설계를 통해 배치 코팅을 달성하고 단위 시간당 생산량을 늘릴 수 있습니다.3. 작동 및 유지 보수가 편리합니다.

수직 구조는 타겟 재료 교체, 챔버 청소 및 장비 검사를 용이하게 하여 유지 보수 비용을 줄입니다.4. 강력한 호환성을 가지며 작은 정밀 부품에 적응할 수 있을 뿐만 아니라 유리 및 판과 같은 대면적 기판의 코팅 요구 사항도 충족할 수 있습니다.일반적인 응용 분야

평판 디스플레이 분야:액정 디스플레이(LCD) 및 유기 발광 다이오드(OLED) 패널용 투명 전도성 막 및 터치 필름 준비.건축 및 에너지 절약 분야:

 Low-E 단열 유리를 위한 저방사율 막 및 햇빛 제어 막을 생산하여 유리의 단열 및 에너지 절약 성능을 향상시킵니다.

장식 및 하드웨어 분야:
 문 및 창 하드웨어, 욕실 설비, 휴대폰 프레임과 같은 제품에 장식용 금속 막(예: 티타늄 골드 및 크롬 막) 또는 내마모성 막 코팅.

광학 및 전자 분야:

광학 렌즈용 반사 방지/반사 막, 반도체 장치용 전극 막, 리튬 배터리 전극 시트용 기능성 막 준비