verticale magnetronsputtercoatingapparatuur pvd vacuümbekledingsmachine voor het coaten van glas of metalen

Kernintroductie
Verticale magnetron sputter coating apparatuur is een physical vapor deposition (PVD) apparaat met een verticaal structuurontwerp, waarbij het substraat en het targetmateriaal loodrecht op elkaar zijn geplaatst.

 Het gebruikt een magnetisch veld om het plasma te beperken, waardoor ionen efficiënt het verticaal geïnstalleerde targetmateriaal kunnen bombarderen. Nadat de atomen/moleculen van het targetmateriaal ontsnappen, worden ze verticaal afgezet op het oppervlak van het verticaal geplaatste substraat, waardoor een uniforme film ontstaat. De apparatuur is meestal uitgerust met meerdere targetposities, vacuümkamers en transmissiesystemen, die geschikt zijn voor batch- of continue productie-eisen.

Belangrijkste kenmerken
1. De structurele lay-out is compact en het verticale ontwerp bespaart aanzienlijk horizontale vloerruimte, waardoor het geschikt is voor scenario's met beperkte fabrieksruimte.

2. Het substraat wordt verticaal geplaatst. Tijdens het coatingproces is de kans kleiner dat deeltjes zich aan het filmoppervlak hechten, wat defecten in de filmlaag kan verminderen.

3. Ondersteunt configuratie met meerdere targetlocaties, waardoor continue afzetting van meerlaagse films en composietfilms mogelijk is, en is geschikt voor de eisen van complexe filmsystemen.

4.De basisoverdrachtsmodus is flexibel. Het kan worden bevestigd met verticale armaturen of continu worden getransporteerd en is geschikt voor basissen van verschillende afmetingen en vormen.

Kernvoordelen
1. De uniformiteit van de filmlaag is goed. De verticale lay-out maakt het pad van de gesputterde deeltjes van het targetmateriaal naar elk gebied van het substraat uniformer, waardoor de afwijking in de filmdikte aanzienlijk wordt verminderd.

2.Hoge productie-efficiëntie, met een synchrone werking met meerdere targetlocaties of een continu transmissieontwerp, kan het batchcoating bereiken en de output per tijdseenheid verhogen.

3.De bediening en het onderhoud zijn gemakkelijk. De verticale structuur maakt het gemakkelijk om het targetmateriaal te vervangen, de holte schoon te maken en de apparatuur te inspecteren, waardoor de onderhoudskosten worden verlaagd.

4. Het heeft een sterke compatibiliteit en kan zich niet alleen aanpassen aan kleine precisieonderdelen, maar ook voldoen aan de coatingeisen van grootschalige substraten zoals glas en platen.

Typische toepassingen
Op het gebied van flat panel displays:

Bereiding van transparante geleidende films en aanraakfilms voor liquid crystal display (LCD) en organic light-emitting diode (OLED) panelen.

Op het gebied van architectuur en energiebesparing:

 Productie van low-emissivity films en zonlichtregelingsfilms voor Low-E isolatieglas om de warmte-isolatie en energiebesparende prestaties van het glas te verbeteren.

Op het gebied van decoratie en hardware:

 Coating van decoratieve metaalfilms (zoals titaniumgoud en chroomfilms) of slijtvaste films voor producten zoals deur- en raambeslag, badkamerarmaturen en telefoonframes.

Op het gebied van optica en elektronica:

bereiding van anti-reflectie/reflecterende films voor optische lenzen, elektrodefilms voor halfgeleiderapparaten en functionele films voor lithium-accu-elektroden