Оборудование для вертикального магнетронного напыления покрытий - вакуумная установка PVD для нанесения покрытий на стекла или металлы

Введение
Оборудование для нанесения покрытий методом вертикального магнетронного распыления - это устройство физического осаждения из паровой фазы (PVD) с вертикальной конструкцией, в которой подложка и материал мишени расположены перпендикулярно.

 Оно использует магнитное поле для удержания плазмы, позволяя ионам эффективно бомбардировать вертикально установленный материал мишени. После того, как атомы/молекулы материала мишени покидают ее, они вертикально осаждаются на поверхность вертикально расположенной подложки, образуя однородную пленку. Оборудование в основном оснащено несколькими позициями мишеней, вакуумными камерами и системами передачи, что подходит для требований серийного или непрерывного производства.

Основные характеристики
1. Конструктивная компоновка компактна, а вертикальная конструкция значительно экономит горизонтальное пространство, что делает ее подходящей для сценариев с ограниченным пространством на заводе.

2. Подложка расположена вертикально. Во время процесса нанесения покрытия частицы с меньшей вероятностью прилипают к поверхности пленки, что может уменьшить дефекты пленочного слоя.

3. Поддерживает конфигурацию нескольких мишеней, обеспечивая непрерывное осаждение многослойных пленок и композитных пленок, и подходит для требований сложных пленочных систем.

4.Режим переноса основы гибкий. Он может быть зафиксирован вертикальными приспособлениями или непрерывно транспортироваться и подходит для основ разных размеров и форм.

Основные преимущества
1. Однородность пленочного слоя хорошая. Вертикальная компоновка делает путь распыленных частиц от материала мишени к каждой области подложки более однородным, значительно уменьшая отклонение толщины пленки.2. Высокая эффективность производства

, благодаря синхронной работе нескольких мишеней или конструкции непрерывной передачи, она может обеспечить серийное нанесение покрытий и увеличить производительность за единицу времени.3. Эксплуатация и техническое обслуживание удобны. Вертикальная конструкция облегчает замену материала мишени, очистку полости и осмотр оборудования, снижая затраты на техническое обслуживание.

4. Обладает высокой совместимостью и может адаптироваться не только к небольшим прецизионным деталям, но и соответствовать требованиям к нанесению покрытий на крупногабаритные подложки, такие как стекло и пластины.Типичные области примененияВ области плоскопанельных дисплеев:

Подготовка прозрачных проводящих пленок и сенсорных пленок для жидкокристаллических дисплеев (LCD) и органических светодиодных (OLED) панелей.

В области архитектуры и энергосбережения:
 Производство низкоэмиссионных пленок и пленок для контроля солнечного света для низкоэмиссионного изоляционного стекла для повышения теплоизоляции и энергосберегающих характеристик стекла.

В области декора и фурнитуры:

 Нанесение декоративных металлических пленок (таких как титановое золото и хромовые пленки) или износостойких пленок для таких изделий, как дверная и оконная фурнитура, сантехника и рамки для мобильных телефонов.

В области оптики и электроники:

подготовка антибликовых/отражающих пленок для оптических линз, электродных пленок для полупроводниковых приборов и функциональных пленок для литиевых электродных листов