品質 PVD真空コーティングマシン AR/AF ガラスマグネットロンスプッターリングレンズコーティング光学 PLCとポンプコアコンポーネント工場

PVD真空コーティングマシン AR/AF ガラスマグネットロンスプッターリングレンズコーティング光学 PLCとポンプコアコンポーネント

原産地:広東省肇慶市

ブランド名:Zhongda

認証:CE

最低注文数量:1

納期:45~60 日

タグ:

マグネトロンスパッタ真空コーター

製品の詳細

Application: 光学的、装飾的、機能的

Coating Product: ガラス、金属、プラスチック、セラミックなど

Coating Color: 金、銀、黒、青、緑など。

Target Size: カスタマイズ可能

Target Material: 金属、合金、セラミック

Coating Technology: マグネトロンスパッタリング

Coatings: Tin、Tic、Ticn、Tialn、Crn、Cu、Au、DLC

Material: ステンレス鋼

Coating Colors: 黒/青/赤

Machine Size: カスタマイズ

Coating Thickness: 0.01-10ミクロン

Vacuum System: 高い真空

Coating Uniformity: ≤±5％

Coating Process: マグネトロンスパッタリング

Power Supply: DC/RF/AC

Substrate Material: ガラス、金属、セラミック、プラスチック

Substrate Size: カスタマイズ可能

Coating Structure: 単層、多層、勾配など。

Control System: PLC、タッチスクリーン、マニュアル

Coating Equipment Size: カスタマイズ可能

Coating Material: 金属、合金、セラミック、複合材料

Coating Method: マグネトロンスパッタリング

製品説明

詳細な仕様と特徴

マグネトロンスパッタリング

光学コーターの応用

光学コーターは、光学部品の表面にコーティングを施すことで光の特性を制御し、その応用には以下が含まれます。

- **光学機器**: カメラ/顕微鏡レンズの反射防止コーティング、ミラーの高反射コーティング、分光計フィルター。
- **光通信と太陽光発電**: 光ファイバーデバイスの反射防止コーティング、太陽電池の反射防止コーティング、波長分割多重化コンポーネントのコーティング。
- **ディスプレイと照明**: スクリーン防眩フィルム、プロジェクタービームスプリッティングフィルム、LEDランプ反射フィルム。
- **レーザー技術**: レーザー共振器高反射コーティング、レーザー加工ヘッド耐熱フィルム。
- **機能性ガラス**: 建築用Low-Eフィルム、車のサンシェードフィルム、光学フィルター。
- **その他の分野**: 航空宇宙リモートセンシングレンズ用防放射線フィルム、医療用内視鏡用防曇フィルムなど。
技術概要

マグネトロンスパッタリングは、さまざまな基板に高品質の薄膜を堆積させるために広く使用されている、用途の広い

物理蒸着（PVD）技術です。これは、高真空チャンバー（圧力< 10⁻³ Torr）内で希ガス（例：アルゴン）をイオン化し、プラズマを生成することによって機能します。プラズマからの高エネルギーイオンがターゲット材料を爆撃し、原子を放出します。これらの原子は基板に付着し、均一で付着性の高い膜を形成します。この方法は、金属、合金、セラミックス、複合材料に特に適しており、膜の組成と厚さを正確に制御できます。動作原理

プラズマ生成

: 高電圧電界がアルゴンガスをイオン化し、Ar⁺イオンと電子を生成します。磁気閉じ込め
: 磁場（電界に対して直交）がターゲット表面付近の電子を閉じ込め、イオン化効率とプラズマ密度を高めます。スパッタリングプロセス
: 加速されたAr⁺イオンがターゲットに衝突し、原子をはじき出し、それが基板に移動して薄膜を形成します。磁場は、基板への電子の爆撃を最小限に抑え、熱による損傷を軽減します。主な利点

均一性と密着性

: 高エネルギーイオン爆撃により、優れた膜厚均一性（±5％）と強力な基板密着性を実現します。材料の多様性
: 金属（例：Ti、Cu）、セラミックス（例：SiO₂、Al₂O₃）、半導体に対応しています。低温堆積
: プラスチックやポリマーなどの熱に弱い材料に適しています。プロセス制御
: プラズマパラメータを介して、膜特性（例：導電率、硬度）の正確な調整を可能にします。多成分コーティング
: 合金またはグラデーション層の製造のために、複数のターゲットの共スパッタリングをサポートします。適用産業

エレクトロニクス

: タッチスクリーン用の透明導電性酸化物（ITO）。光学
: 高反射ミラーと防眩コーティング。工具
: 切削工具や金型の耐摩耗性コーティング。自動車
: トリムやコンポーネントの装飾および耐食性仕上げ。医療
: インプラントや器具の生体適合性コーティング。コーティング効果と色

表面仕上げ

: 金属光沢、マットテクスチャ、またはテクスチャパターン。色の範囲
: 銀、金、黒、青、および反応性スパッタリングによるカスタム色合い（例：金のような仕上がりのTiN）。構造タイプ

平面マグネトロン

: 大面積堆積に最適（例：ガラスまたはパネル）。回転マグネトロン
: 円筒形または湾曲した基板のターゲット利用率と堆積速度を向上させます。アンバランスマグネトロン
: 高イオン密度のプラズマを生成し、高密度で付着性の高い膜を実現します。基板材料

プラスチック（ABS、PET、PC）、ガラス、セラミックス、金属、複合材料。

コーティング材料

金属：Ti、Cr、Ag、Al、Cu、Au。

セラミックス：SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、Si₃N₄。
合金：NiCr、TiAl、および超合金。
サポートする生産ライン

UV硬化やプラズマ処理などの

後処理プロセスと統合して、機能性を向上させます。消耗品

ターゲット材料（金属/セラミック）、アルゴンガス、およびスパッタリング電源。

アプリケーション

光学

: 高反射ミラーと防眩コーティング。エレクトロニクス
: タッチスクリーン用の透明導電性酸化物（ITO）。航空宇宙
: タービンブレードの熱障壁コーティング。建築用ガラス
: 省エネルギーのための低放射率（Low-E）コーティング。カスタマイズ

当社のシステムは、特定の堆積要件を満たすために、構成可能なマグネトロンアレイ、真空ポンプシステム、およびプロセス制御ソフトウェアを備えたモジュール設計を提供しています。

マグネトロンコーティング装置モデル（高さ≤1.3m）

モデル
Lion-0710	Lion	-1813Lion	-1813Lion	-1813Lion	-1813Lion	-1813真空チャンバー
Φ700×H1000mm	Φ1000×H1200mm	Φ1200×H1200mm	Φ1400×H1200mm	Φ1600×H1200mm	Φ1800×H1300mm	アプリケーション
時計業界、3C業界、衛生器具業界、ジュエリー業界	時計アクセサリー、携帯電話アクセサリー、メガネフレーム、衣類、装飾照明、衛生陶器、ハードウェアスーツケース、ガラス、セラミック、プラスチックなど。
時計業界、3C業界、衛生器具業界、ジュエリー業界	コーティング膜
Ti-Gold、Rose Gold、Champagne Gold、Japanese Gold、Bright Silver、Rainbow、Jewelry Blue、Rose Red、Blackなど。	真空
1セットのピラニ、1セットの冷陰極、1セットのダイヤフラムゲージ	真空システム
サステイニングポンプ+メカニカルポンプ+ルーツポンプ+拡散ポンプ	または分子ポンプ（お客様の要件に応じた特定のモデル）真空
1セットのピラニ、1セットの冷陰極、1セットのダイヤフラムゲージ	供給タイプ
DC電源、MF電源、パルス電源（バイアス電源、アーク電源）	究極
1.0〜6.0×10⁻⁴Pa、無負荷冷却	バイアス電源

20KW/1セット	30KW/1セット	30KW/1セット	30KW/1セット	40KW/1セット	60KW/1セット	マグネトロン電源
1〜2セット	2〜3セット	2〜3セット	3〜4セット	3〜4セット	回転	回転
周波数制御付きマルチアキシスプラネタリ（制御および調整可能）	ベーキング
温度常温	〜600℃制御および調整可能（PID温度制御）℃制御および調整可能（PID温度制御） 600℃制御および調整可能（PID温度制御）ガス
3つまたは4つの方法で動作するガス流量制御および表示システムは、自動ガス添加システムと一致します。	Ar、N
3つまたは4つの方法で動作するガス流量制御および表示システムは、自動ガス添加システムと一致します。	2冷却2冷却2H冷却など。冷却方法
水冷循環、工業用冷却塔または工業用チラー（冷凍機）を装備、または極低温システム。（お客様が提供）制御	手動、半自動、自動、タッチスクリーン操作、PLCまたはコンピューター制御
空気圧	0.5〜0.8MPa
水	≤25℃≥0.2MPa
警告	水不足、過電圧、回路の破損などの異常な状況が発生した場合、アラームシステムが作動し、関連する保護を実行します。
総電力	25〜65KW
45〜85KW	65〜105KW	85〜115KW	95〜125KW	100〜130KW	出力	電圧380V、周波数50Hz（お客様の国の電気規格に準拠）
占有	15〜50m²
15〜50m²	25〜55m²	25〜55m²	35〜55m²	35〜55m²	お客様の要件に応じて特殊な機械を設計および製造し、マグネトロンのスパッタリングターゲット、MFツインターゲットなどを追加できます。	お客様の要件に応じて特殊な機械を設計および製造し、マグネトロンのスパッタリングターゲット、MFツインターゲットなどを追加できます。

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