Máquina de recubrimiento al vacío PVD para vidrio AR/AF, pulverización catódica por magnetrón, revestimiento de lentes ópticas con PLC y componentes principales de la bomba

Dispersión por pulverización magnética

Aplicaciones de revestimientos ópticos

Descripción general de la tecnología

Principio de trabajo

• Generación de plasma: Un campo eléctrico de alto voltaje ioniza el gas argón, produciendo iones y electrones Ar+.
• Confinamiento magnético: Un campo magnético (ortogonal al campo eléctrico) atrapa electrones cerca de la superficie objetivo, mejorando la eficiencia de ionización y la densidad de plasma.
• Proceso de pulverizaciónEl campo magnético minimiza el bombardeo de electrones del sustrato, reduciendo el daño térmico..

Ventajas clave

1. Uniformidad y adhesión: Produce películas con una uniformidad de espesor excepcional (± 5%) y una fuerte adhesión del sustrato debido al bombardeo iónico de alta energía.
2. La versatilidad material: Compatible con metales (por ejemplo, Ti, Cu), cerámicas (por ejemplo, SiO2, Al2O3) y semiconductores.
3. Deposición a baja temperatura: Adecuado para materiales sensibles al calor como plásticos y polímeros.
4. Control de procesos: Permite ajustar con precisión las propiedades de la película (por ejemplo, conductividad, dureza) mediante parámetros de plasma.
5. Revestimientos multicomponentesApoya el co-pulverizado de múltiples objetivos para la producción de aleaciones o capas de gradiente.

Industrias aplicadas

• Electrónica: Envases de circuitos integrados, paneles de visualización y células fotovoltaicas.
• Optica: Revestimientos antirreflectores, espejos y filtros ópticos.
• Las herramientas: Revestimientos resistentes al desgaste para herramientas de corte y moldes.
• Automóvil: acabados decorativos y resistentes a la corrosión de los acabados y componentes.
• El médicoRevestimientos biocompatibles para implantes e instrumentos.

Efectos de revestimiento y colores

• Finalización de la superficie: Brillo metálico, texturas opacas o patrones texturizados.
• Rango de colores: Plata, oro, negro, azul y tonos personalizados mediante pulverización reactiva (por ejemplo, TiN para acabados similares al oro).

Tipos de estructura

• Magnetrón plano: Ideal para la deposición de grandes superficies (por ejemplo, vidrio o paneles).
• Magnetrón giratorio: mejora la utilización y la tasa de deposición de los sustratos cilíndricos o curvos.
• Magnetrón desequilibrado: Genera plasma con alta densidad iónica para películas densas y adherentes.

Materiales de sustrato

• Los materiales de construcción incluyen: plásticos (ABS, PET, PC), vidrio, cerámica, metales y compuestos.

Materiales de revestimiento

• Los metales: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
• Cerámica: SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4.
• Las aleaciones: NiCr, TiAl y super aleaciones.

Líneas de producción de apoyo

• Se integra conProcesos posteriores al recubrimientocomo el curado UV o el tratamiento con plasma para mejorar la funcionalidad.

Productos de consumo

• Materiales objetivo (metálico/cerámico), gas argón y fuentes de alimentación de pulverización.

Aplicaciones

• Optica: Espejos de alta reflectividad y recubrimientos antirreflectores.
• Electrónica: Óxidos conductores transparentes para pantallas táctiles.
• Aeronautica y aeroespacial: Revestimientos de barrera térmica en las palas de las turbinas.
• Vidrio arquitectónico: Revestimientos de baja emisividad (E) para la eficiencia energética.

Personalización