เครื่องเคลือบ PVD สําหรับ AR / AF กระจก Magnetron Sputtering Lens การเคลือบออทติกส์ด้วย PLC และส่วนประกอบแกนปั๊ม

การกระจายแม็กเนตรอน

การใช้งานของเครื่องเคลือบแสง

ภาพรวมเทคโนโลยี

หลักการทํางาน

• การผลิตพลาสมา: สาขาไฟฟ้าความดันสูงทําให้แก๊สอาร์กอนเป็นไอออน สร้างไอออนและอิเล็กตรอน Ar+
• การปิดตัวด้วยแม่เหล็ก: สนามแม่เหล็ก (ตรงข้ามกับสนามไฟฟ้า) จับอิเล็กตรอนอยู่ใกล้ผิวเป้าหมาย เพิ่มประสิทธิภาพการเชื่อมต่อและความหนาแน่นของพลาสมา
• กระบวนการกระจาย: อิออน Ar+ ที่เร่งกระแทกกับเป้าหมาย ทําให้อะตอมเคลื่อนย้ายไปยังพื้นฐานและสร้างแผ่นบาง สนามแม่เหล็กลดการระเบิดอิเล็กตรอนของพื้นฐานให้น้อยที่สุด ลดความเสียหายจากความร้อน.

ข้อดีสําคัญ

1. ความเหมือนกันและการติดตาม: ผลิตฟิล์มที่มีความหนาแบบเดียวกันอย่างพิเศษ (± 5%) และการติดตามสับสราทที่แข็งแรงเนื่องจากการระเบิดไอออนพลังงานสูง
2. การ ใช้ วัสดุ ได้ อย่าง หลากหลาย: เหมาะกับโลหะ (เช่น Ti, Cu), เซรามิก (เช่น SiO2, Al2O3) และครึ่งประสาท
3. การละลายในอุณหภูมิต่ํา: เหมาะสําหรับวัสดุที่มีความรู้สึกต่อความร้อน เช่น พลาสติกและพอลิมเมอร์
4. การควบคุมกระบวนการ: สามารถปรับสภาพของฟิล์มได้อย่างแม่นยํา (ตัวอย่างเช่น การนําไฟ, ความแข็ง) ผ่านปารามิเตอร์พลาสมา
5. ผิวเคลือบหลายส่วน: สนับสนุน co-sputtering ของเป้าหมายหลายสําหรับเหล็กเหล็กหรือการผลิตชั้น gradient.

สาขาอุตสาหกรรมที่ใช้

• อิเล็กทรอนิกส์: แพคเกจ IC แผ่นจอและเซลล์ไฟฟ้าไฟฟ้า
• ออตติก: การเคลือบกันการสะท้อนแสง กระจกและกรองแสง
• เครื่องมือ: การเคลือบที่ทนทานต่อการสวมใส่สําหรับเครื่องมือตัดและหมู
• อุตสาหกรรมรถยนต์: การตกแต่งและทนทานต่อการกัดกร่อนบนเครื่องปรับและส่วนประกอบ
• การแพทย์: การเคลือบที่เข้ากันได้ด้วยชีวภาพ สําหรับเครื่องมือและเครื่องประกอบ

ผลการเคลือบ & สี

• ผิวเคลือบ: แสงสว่างโลหะ, เนื้อผิวแมท, หรือรูปแบบเนื้อผิว.
• ระยะสี: เงิน, ทอง, สีดํา, สีฟ้า, และสีที่กําหนดเองผ่านการกระจายกระจาย (เช่น TiN สําหรับการเสร็จเหมือนทอง)

ประเภทโครงสร้าง

• แม็กเนตรอนแบบเรียบ: เหมาะสําหรับการฝากพื้นที่ขนาดใหญ่ (เช่น กระจกหรือแผ่น)
• แม็กเนตรอนหมุน: เพิ่มอัตราการใช้งานเป้าหมายและอัตราการฝังสําหรับสับสราตแบบกระบอกหรือโค้ง
• แม็กเนตรอนที่ไม่สมดุล: สร้างพลาสมาที่มีความหนาแน่นของไอออนสูงสําหรับฟิล์มที่หนาแน่น

วัสดุพื้นฐาน

• พลาสติก (ABS, PET, PC), แก้ว, เซรามิค, โลหะ, และคอมพอสิต

วัสดุเคลือบ

• โลหะ: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au
• เซรามิก: SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4
• สารสกัด: NiCr, TiAl และสารสกัดสูง

การสนับสนุนสายการผลิต

• ติดต่อกับกระบวนการหลังการเคลือบเช่น การรักษาด้วยแสง UV หรือการรักษาด้วยพลาสมา เพื่อการทํางานที่ดีขึ้น

สินค้าใช้

• วัสดุเป้าหมาย (โลหะ / เซรามิก) ก๊าซอาร์กอน และเครื่องพลังงานพ่น

การใช้งาน

• ออตติก: กระจกสะท้อนแสงสูง และเคลือบกันแสงสว่าง
• อิเล็กทรอนิกส์: โอไซด์นําแสงโปร่ง (ITO) สําหรับจอสัมผัส
• สายการบินและอวกาศ: การเคลือบกันความร้อนบนใบของทูไบน์
• กระจกสถาปัตยกรรม: การเคลือบที่มีระดับการปล่อยไฟฟ้าต่ํา (low-E) เพื่อประสิทธิภาพด้านพลังงาน

การปรับแต่ง