Machine de revêtement sous vide PVD pour le revêtement AR/AF de lentilles optiques par pulvérisation cathodique magnétron sur verre avec PLC et composants principaux de pompe

Sputtering par magnétron

Applications des revêtements optiques

Vue d'ensemble de la technologie

Principe de fonctionnement

• Génération de plasma: Un champ électrique à haute tension ionise le gaz argon, produisant des ions et des électrons Ar+.
• Réservoir magnétique: Un champ magnétique (orthogonal au champ électrique) emprisonne des électrons près de la surface cible, améliorant l'efficacité d'ionisation et la densité du plasma.
• Processus de pulvérisation: les ions Ar+ accélérés frappent la cible, délogant les atomes qui se déplacent vers le substrat et forment un film mince. Le champ magnétique minimise le bombardement électronique du substrat, réduisant les dommages thermiques .

Principaux avantages

1. Uniformité et adhésion: Produit des films d' une épaisseur d' uniformité exceptionnelle (± 5%) et d' une forte adhérence au substrat due au bombardement ionique à haute énergie.
2. La polyvalence matérielle: Compatible avec les métaux (par exemple, Ti, Cu), la céramique (par exemple, SiO2, Al2O3) et les semi-conducteurs.
3. Dépôt à basse température: Convient pour les matériaux sensibles à la chaleur tels que les plastiques et les polymères.
4. Contrôle des processus: permet de régler avec précision les propriétés du film (par exemple, conductivité, dureté) par l'intermédiaire de paramètres de plasma.
5. Couches multicomposantes: Prend en charge le co-poussage de plusieurs cibles pour la production d' alliages ou de couches de gradient.

Industries appliquées

• Électronique: emballage des circuits intégrés, panneaux d'affichage et cellules photovoltaïques.
• Optique: revêtements antireflet, miroirs et filtres optiques.
• Outils: revêtements résistants à l'usure pour outils de coupe et moules.
• Automobiles: Finitions décoratives et résistantes à la corrosion sur les garnitures et les composants.
• Médical: revêtements biocompatibles pour implants et instruments.

Effets de revêtement et couleurs

• Finitions de surface: lustre métallique, textures mates ou motifs texturés.
• Variété de couleur: argent, or, noir, bleu et teintes personnalisées par pulvérisation réactive (par exemple, TiN pour les finitions dorées).

Types de structure

• Magnétron plané: Idéal pour les dépôts sur de grandes surfaces (par exemple, verre ou panneaux).
• Magnétron rotatif: améliore l'utilisation et le taux de dépôt visés pour les substrats cylindriques ou courbes.
• Magnétron déséquilibréGénère un plasma à haute densité ionique pour des films denses et adhésifs.

Matériaux de substrat

• Plastiques (ABS, PET, PC), verre, céramique, métaux et composites.

Matériaux de revêtement

• Les métaux: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
• Les céramiques: SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4.
• Les alliages: NiCr, TiAl et superalliages.

Lignes de production de soutien

• Intégrer avecprocédés de post-couchagecomme le durcissement UV ou le traitement au plasma pour améliorer la fonctionnalité.

Produits de consommation

• Matériaux cibles (métalliques/céramiques), gaz argon et alimentation par pulvérisation.

Applications

• Optique: Miroirs à haute réflectivité et revêtements anti-éblouissement.
• Électronique: Oxydes conducteurs transparents (ITO) pour les écrans tactiles.
• Aérospatiale: revêtements de barrière thermique sur les pales des turbines.
• Verres architecturaux: revêtements à faible émission (E) pour l'efficacité énergétique.

Personnalisation