Lion King Vacuum Technology Co., Ltd
электронная почта: sales@lionpvd.com Телефон: 86--18207198662
Домой > продукты > Магнетроновая вакуумная вакуумная машина >
Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса
  • Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса
  • Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса
  • Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса
  • Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса
Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса

Вакуумная установка PVD для нанесения покрытий AR/AF на стекло, магнетронное распыление, покрытие линз, оптика с ПЛК и основными компонентами насоса

Место происхождения Гуандун
Фирменное наименование Lion King
Сертификация CE
Детали продукта
Приложение:
Оптический, декоративный, функциональный
Продукт покрытия:
Стекло, металл, пластик, керамика и т. Д.
Цвет покрытия:
Золото, серебро, черное, синий, зеленый и т. Д.
Целевой размер:
Настраиваемый
Целевой материал:
Металл, сплав, керамика
Технология покрытия:
Магнетрон распыляется
Покрытия:
Олово, тик, тикн, Тилн, Крн, CU, AU, DLC
Материал:
Нержавеющая сталь
Цвета покрытия:
Черный/синий/красный
Размер машины:
Настроить
Толщина покрытия:
0,01-10 микрон
Вакуумная система:
Высокий вакуум
Равномерность покрытия:
≤ ± 5%
Процесс покрытия:
Магнетрон распыляется
Источник питания:
DC/RF/AC
Материал подложки:
Стекло, металл, керамика, пластик
Размер субстрата:
Настраиваемый
Структура покрытия:
Одиночный слой, многослойный, градиент и т. Д.
Система управления:
Plc, сенсорный экран, ручное руководство
Размер оборудования для покрытия:
Настраиваемый
Материал покрытия:
Металл, сплав, керамический, композитный материал
Метод покрытия:
Магнетрон распыляется
Условия оплаты и доставки
Количество мин заказа
1
Время доставки
45 ~ 60 дней
Описание продукта

Магнетронное распыление

Применение оптических покрытий

Оптические покрытия контролируют характеристики света, покрывая поверхность оптических компонентов, и области применения включают:

- **Оптическое оборудование**: Антибликовое покрытие для линз камер/микроскопов, высокоотражающее покрытие для зеркал, фильтры для спектрометров.
- **Оптическая связь и фотовольтаика**: Антибликовое покрытие для устройств оптического волокна, антибликовое покрытие для солнечных
ячеек, покрытие для компонентов мультиплексирования с разделением по длине волны.
- **Дисплеи и освещение**: Антибликовая пленка для экранов, пленка для разделения луча проектора, отражающая пленка для светодиодных ламп.
- **Лазерные технологии**: Высокоотражающее покрытие для лазерных резонаторов, высокотемпературная пленка для лазерных обрабатывающих головок.
- **Функциональное стекло**: Архитектурная Low-E пленка, автомобильная солнцезащитная пленка, оптический фильтр.
- **Другие области**: антирадиационная пленка для аэрокосмических линз дистанционного зондирования, противотуманная пленка для медицинских эндоскопов и т. д.

Обзор технологии

Магнетронное распыление - это универсальный метод Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)метод, широко используемый для нанесения высококачественных тонких пленок на различные подложки. Он работает путем ионизации благородного газа (например, аргона) в камере высокого вакуума (давление < 10⁻³ Торр), создавая плазму. Энергичные ионы из плазмы бомбардируют материал мишени, выбивая атомы, которые затем осаждаются на подложку в виде однородной, адгезионной пленки. Этот метод особенно подходит для металлов, сплавов, керамики и композитных материалов, обеспечивая точный контроль над составом и толщиной пленки.

Принцип работы

  • Генерация плазмы: Высоковольтное электрическое поле ионизирует газ аргон, производя ионы Ar⁺ и электроны.
  • Магнитное удержание: Магнитное поле (ортогональное электрическому полю) удерживает электроны вблизи поверхности мишени, повышая эффективность ионизации и плотность плазмы.
  • Процесс распыления: Ускоренные ионы Ar⁺ ударяют по мишени, выбивая атомы, которые перемещаются к подложке и образуют тонкую пленку. Магнитное поле минимизирует бомбардировку подложки электронами, уменьшая тепловое повреждение.

Основные преимущества

  1. Однородность и адгезия: Производит пленки с исключительной однородностью толщины (±5%) и сильной адгезией к подложке благодаря высокоэнергетической ионной бомбардировке.
  2. Универсальность материалов: Совместим с металлами (например, Ti, Cu), керамикой (например, SiO₂, Al₂O₃) и полупроводниками.
  3. Низкотемпературное осаждение: Подходит для термочувствительных материалов, таких как пластмассы и полимеры.
  4. Контроль процесса: Обеспечивает точную настройку свойств пленки (например, проводимости, твердости) с помощью параметров плазмы.
  5. Многокомпонентные покрытия: Поддерживает совместное распыление нескольких мишеней для производства сплавов или градиентных слоев.

Применяемые отрасли

  • Электроника: Упаковка микросхем, дисплейные панели и фотоэлектрические элементы.
  • Оптика: Антибликовые покрытия, зеркала и оптические фильтры.
  • Инструменты: Износостойкие покрытия для режущих инструментов и пресс-форм.
  • Автомобилестроение: Декоративные и коррозионностойкие покрытия на отделке и компонентах.
  • Медицина: Биосовместимые покрытия для имплантатов и инструментов.

Эффекты и цвета покрытия

  • Поверхностная отделка: Металлический блеск, матовые текстуры или текстурированные узоры.
  • Диапазон цветов: Серебро, золото, черный, синий и пользовательские оттенки с помощью реактивного распыления (например, TiN для золотистых покрытий).

Типы структур

  • Плоский магнетрон: Идеально подходит для нанесения на большие площади (например, стекло или панели).
  • Роторный магнетрон: Улучшает использование мишени и скорость осаждения для цилиндрических или изогнутых подложек.
  • Несбалансированный магнетрон: Генерирует плазму с высокой плотностью ионов для плотных, адгезионных пленок.

Материалы подложек

  • Пластмассы (ABS, PET, PC), стекло, керамика, металлы и композиты.

Материалы покрытия

  • Металлы: Ti, Cr, Ag, Al, Cu, Au.
  • Керамика: SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, Si₃N₄.
  • Сплавы: NiCr, TiAl и суперсплавы.

Вспомогательные производственные линии

  • Интегрируется с последующими процессами покрытия , такими как УФ-отверждение или плазменная обработка для повышения функциональности.

Расходные материалы

  • Материалы мишеней (металлические/керамические), газ аргон и источники питания для распыления.

Применения

  • Оптика: Зеркала с высокой отражающей способностью и антибликовые покрытия.
  • Электроника: Прозрачные проводящие оксиды (ITO) для сенсорных экранов.
  • Аэрокосмическая промышленность: Теплозащитные покрытия на лопатках турбин.
  • Архитектурное стекло: Покрытия с низкой эмиссией (low-E) для повышения энергоэффективности.

Настройка

Наши системы предлагают модульные конструкции с настраиваемыми массивами магнетронов, системами вакуумной откачки и программным обеспечением для управления процессом для удовлетворения конкретных требований к осаждению.

 

 

Модель оборудования для магнетронного напыления (высота ≤ 1,3 м)
Модель
Lion-0710
Lion-1012
Lion-1212
Lion-1412
Lion-1612
Lion-1813
Вакуумная камера
Φ700×H1000 мм
Φ1000×H1200 мм
Φ1200×H1200 мм
Φ1400×H1200 мм
Φ1600×H1200 мм
Φ1800×H1300 мм
Применение
Часовая промышленность, промышленность 3C, санитарно-техническая промышленность, ювелирная промышленность
Аксессуары для часов, аксессуары для мобильных телефонов, оправы для очков, одежда, декоративное освещение, сантехника, фурнитура для чемоданов, стекло, керамика и пластик и т. д.
Покрытие пленкой
Ti-Gold, Rose Gold, Champagne Gold, Japanese Gold, Bright Silver, Rainbow, Jewelry Blue, Rose Red, Black и т. д.
Вакуум
Вертикальная дверная конструкция, оснащена системой воздушной откачки и системой водяного охлаждения
Вакуумная система
Поддерживающий насос + механический насос + насос Рутса + диффузионный насос
или молекулярный насос (конкретная модель в соответствии с требованиями заказчика)
Вакуум
1 комплект пирани, 1 комплект холодного катода, 1 комплект манометра
Тип питания
Питание постоянного тока, питание средней частоты, импульсное питание (питание смещения, дуговое питание)
Предельный
1,0-6,0×10-4 Па, без нагрузки охлаждения
           
Питание смещения
20 кВт/1 комплект
20 кВт/1 комплект
20 кВт/1 комплект
30 кВт/1 комплект
40 кВт/1 комплект
60 кВт/1 комплект
Источник питания магнетрона
1-2 комплекта
1-2 комплекта
2-3 комплекта
2-3 комплекта
3-4 комплекта
3-4 комплекта
Вращение
Многоосевая планетарная с регулировкой частоты (может управляться и регулироваться)
Выпечка
Температура
Нормальная температура~300℃до 450℃ ~600℃можно контролировать и регулировать (PID-регулирование температуры)
Газ
3 или 4 способа управления потоком рабочего газа и система отображения, соответствующая системе автоматического добавления газа
Ar, N2, O2,C2H2, и т. д.
Охлаждение
Метод
Циркуляция водяного охлаждения, оснащена промышленной градирней или промышленным чиллером (холодильной машиной) или криогенной системой (предоставляется заказчиками)
Контроль
Ручной, полуавтоматический, автоматический, сенсорный экран, управление ПЛК или компьютером
Давление воздуха
0,5-0,8 МПа
Вода
≤25℃ ≥0,2 МПа
Предупреждение
Система сигнализации сработает при гидропении, перенапряжении, обрыве цепи и других нештатных ситуациях и выполнит соответствующую защиту
Общая мощность
25~65 кВт
45~85 кВт
65~105 кВт
85~115 кВт
95~125 кВт
100~130 кВт
Выход
Напряжение 380 В, частота 50 Гц (оснащение в соответствии с национальным стандартом электроэнергии заказчика)
Занятость
15~50 м²
15~50 м²
25~55 м²
25~55 м²
35~55 м²
35~55 м²
Примечание
Разработка и производство специального оборудования в соответствии с требованиями заказчика, возможность добавления мишени для магнетронного распыления, мишени MF twins и т. д.

Теги:

Машина для нанесения магнетронного напыления,

Система вакуумного покрытия с магниторонным распыливанием,

Магнитронный вакуумный покрыватель для распыливания

Рекомендуемые товары

СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время

18207198662
Южная дорога Лантанг, район Дуаньчжоу, город Чжаоцин, провинция Гуандун 526060 Китай
8618207198662
sales@lionpvd.com
Отправьте свой запрос прямо нам